一种离子注入机用高性能低温泵
    11.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110925164A

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201911171819.3

    申请日:2019-11-24

    Abstract: 本发明公开了一种离子注入机用高性能低温泵,包括壳体、制冷机、辐射冷屏、障板,还包括被所述辐射冷屏和所述障板包围的吸附阵和转接板,所述吸附阵包括冷头帽、传热板和低温板,所述低温板表面设有吸附材料,所述冷头帽固定安装于所述传热板的上端且正对低温泵的吸气口,所述二级冷却台通过所述传热板的侧壁开口伸入所述传热板内腔并与所述转接板安装连接,所述转接板同时与所述冷头帽安装连接。上述结构的离子注入机用高性能低温泵有效地提高了整个低温泵的吸附速度和吸附容量,具有结构简易、安装方便的特点。

    一种低温泵再生控制器
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104806500A

    公开(公告)日:2015-07-29

    申请号:CN201510198523.6

    申请日:2015-04-23

    Abstract: 本发明公开了一种低温泵再生控制器,包括有主处理器、电源转换模块、温度采集模块、压力变送器、DC-DC电源模块、通讯模块、人机交互系统和无线控制器,所述的电源转换模块、温度采集模块和压力变送器分别与主处理器电连接,所述的主处理器还分别与DC-DC电源模块、通讯模块、人机交互系统和无线控制器连接,电源转换模块还与DC-DC电源模块电连接。本发明精确测量低温泵两级冷头的温度与真空度,通过加热两级冷头实现低温泵的完全再生,实现再生控制器的无线接入及多泵组控制,控制方便,测量精确。

    低温泵的控制装置及控制方法

    公开(公告)号:CN116066342B

    公开(公告)日:2024-08-23

    申请号:CN202310028913.3

    申请日:2023-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法,控制装置包括:输入部,输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数;传感器接入部,接入采集低温泵的运行参数的内置传感器;数据采集部,将内置传感器采集的模拟信号数字化,并存入数据库;工艺流程模型部,建立工艺流程模型;工作状态分析部,根据数据采集部采集的运行数据,分析低温泵的工作状态,并实时监测低温泵的运行参数的变化,根据数据库中的历史数据,利用工艺流程模型,给出低温泵的性能和工作时长的曲线,以及再生的推荐间隔周期;输出部,输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据,给出低温泵的性能和工作时长的曲线,再生的推荐间隔周期。

    低温泵的控制装置及控制方法
    15.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116066342A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202310028913.3

    申请日:2023-01-09

    Abstract: 本发明公开了一种低温泵的控制装置及控制方法,控制装置包括:输入部,输入低温泵所应用的工艺过程中的工艺参数;传感器接入部,接入采集低温泵的运行参数的内置传感器;数据采集部,将内置传感器采集的模拟信号数字化,并存入数据库;工艺流程模型部,建立工艺流程模型;工作状态分析部,根据数据采集部采集的运行数据,分析低温泵的工作状态,并实时监测低温泵的运行参数的变化,根据数据库中的历史数据,利用工艺流程模型,给出低温泵的性能和工作时长的曲线,以及再生的推荐间隔周期;输出部,输出监测数据和工作状态分析部的分析数据。本发明能为生产系统的良性运行提供参考数据,给出低温泵的性能和工作时长的曲线,再生的推荐间隔周期。

    一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法

    公开(公告)号:CN113566469B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202110875057.6

    申请日:2021-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种液氮辅助降温的大冷量制冷机及制冷方法,包括压缩机、管道、配气腔、液氮储罐、预冷腔,所述压缩机通过管道与配气腔相连通,所述配气腔的内腔安装有阀组,所述阀组通过管道与液氮储罐相连通,所述阀组通过管道与预冷腔相连通,所述预冷腔的下端通过管道贯通连接有膨胀腔,当阀组打开时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相通,当阀组关闭时,液氮储罐与配气腔均与预冷腔相隔断,通过引入液氮,对制冷工质先进行辅助降温,使得进入到膨胀腔的气体温度降低,可以提高制冷量效率,提升有效制冷量,并且通过一个配气阀门,同时控制氦气和液氮进入及排出,有效的提供了工作效率,同时能够有效降低液氮的消耗量,有效的提高了装置的实用性。

    抽水汽低温泵及水汽抽速测试方法

    公开(公告)号:CN115324868A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202211145493.9

    申请日:2022-09-20

    Abstract: 本发明公开抽水汽低温泵,包括制冷机、壳体、障板、辐射冷屏、低温板、排水组件;所述壳体连接所述制冷机,所述辐射冷屏连接所述制冷机的一级冷却台,所述低温板连接所述制冷机的二级冷却台,所述障板连接所述辐射冷屏的顶部,所述辐射冷屏位于所述壳体的内部,所述辐射冷屏与所述壳体同轴布置,所述壳体与所述辐射冷屏的底部为倾斜面,所述壳体与所述辐射冷屏的倾斜面设有出水口,所述壳体的出水口与所述排水组件连接。本发明还公开水汽抽速测试方法。本发明的有益效果:缩短低温泵再生时间,提高再生效果,避免对前级泵造成不利影响,提高镀膜设备的运行效率;低温泵水汽测试方法,能够优化理论计算参数,提高计算精度。

    一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法

    公开(公告)号:CN114739030A

    公开(公告)日:2022-07-12

    申请号:CN202210224520.5

    申请日:2022-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法,包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐,所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通,换热器的气路出口与滤油器连通,换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通,滤油器与吸附器通过气路连通,吸附器与进气连接管通过气路连通,进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通,平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通,吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀;本发明的优点在于:有效降低系统振幅,避免对整机寿命及可靠性造成不利影响。

    应用于低温泵的变容积制冷系统、变容积方法、系统

    公开(公告)号:CN111637654A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010528407.7

    申请日:2020-06-11

    Abstract: 本发明公开了应用于低温泵的变容积制冷系统、变容积方法、系统,包括容积调控单元;所述容积调控单元包括第一压力传感器、第二压力传感器、容积补充单元、控制器;所述第一传感器采集滤油器出气端的压力,第二压力传感器采集平衡罐进气端的压力;所述容积补充单元的出气端通过电动阀接入回气管路,并位于平衡罐的下游,所述平衡罐和容积补充单元与通过回气管路与压缩机连接;所述控制器根据与控制电动阀的启闭。通过在原有的制冷系统中,安装两个压力传感器,实时掌握排气管路和回气管路的压力,并根据采集压力与预设压力的比对,通过控制电动阀的启闭使储气罐接入回气管路,从而改变系统压差和排气管路压力,提高系统压力的稳定性,节能降耗。

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