公开(公告)号：CN101238582A

公开(公告)日：2008-08-06

申请号：CN200680029245.0

申请日：2006-07-21

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成

IPC: H01L27/10 ,  H01L49/00 ,  H01L45/00

CPC classification number: H01L45/04 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/0026 ,  G11C2213/52 ,  G11C2213/79 ,  H01L27/2436 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/145 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1675 ,  Y10T29/49082

Abstract: 可变电阻元件具备第1电极、第2电极和可变电阻体，该可变电阻体存在于被第1电极和第2电极所夹持的区域中，通过对两电极之间施加电压脉冲从而使电阻变化，在该可变电阻元件中，存在作为电极材料必须使用贵金属电极的制约，有与以往的CMOS工艺的匹配性差的问题。在将过渡金属元素的氧氮化物作为可变电阻体而应用的可变电阻元件中，显示了稳定的转换动作，数据的保持特性良好，写入电流也小。此外，因为作为电极材料并不一定需要贵金属，所以与现有的CMOS工艺的匹配性高且能够容易制造。此外，能够通过氧化由导电性氮化物构成的下部电极表面使可变电阻体材料成膜的简便的工序形成可变电阻元件。

公开(公告)号：CN101432879B

公开(公告)日：2011-03-09

申请号：CN200780015451.0

申请日：2007-02-16

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  石原数也 ,  涉谷隆广 ,  大西哲也 ,  中野贵司

IPC: H01L27/10

CPC classification number: H01L27/101 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/124 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1691 ,  Y10T29/49082

Abstract: 本发明提供一种可变电阻体的在电气上作出贡献的区域的面积是比由上部电极或下部电极等规定的面积更微细的面积的结构的可变电阻元件及其制造方法。在两个电极间施加电压脉冲时，在两个电极间经由可变电阻体而流过电流的电路路径的剖面形状，以比两个电极的任一个的线宽细的线宽形成，并以比制造工艺中的最小加工尺寸更小的线宽形成，所以，与以往的可变电阻元件中的在电气上作出贡献的区域相比，其面积被缩小。

公开(公告)号：CN101432879A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780015451.0

申请日：2007-02-16

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  石原数也 ,  涉谷隆广 ,  大西哲也 ,  中野贵司

IPC: H01L27/10

CPC classification number: H01L27/101 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/124 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1691 ,  Y10T29/49082

Abstract: 本发明提供一种可变电阻体的在电气上作出贡献的区域的面积是比由上部电极或下部电极等规定的面积更微细的面积的结构的可变电阻元件及其制造方法。在两个电极间施加电压脉冲时，在两个电极间经由可变电阻体而流过电流的电路路径的剖面形状，以比两个电极的任一个的线宽细的线宽形成，并以比制造工艺中的最小加工尺寸更小的线宽形成，所以，与以往的可变电阻元件中的在电气上作出贡献的区域相比，其面积被缩小。

公开(公告)号：CN101432878A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780015413.5

申请日：2007-02-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  石原数也 ,  瑟谷隆广 ,  大西哲也 ,  中野贵司

IPC: H01L27/10 ,  H01L45/00 ,  H01L49/00 ,  H01L49/02

CPC classification number: H01L45/1253 ,  H01L27/101 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1226 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/124 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/16 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1691

Abstract: 本发明提供一种可变电阻体的在电气上作出贡献的区域的面积是比由上部电极或下部电极等规定的面积更微细的面积的结构的可变电阻元件及其制造方法。在配置于基底衬底(5)上的下部电极(1)的上部形成突起电极物(2)。突起电极物(2)在与下部电极(1)的接触面不同的面与可变电阻体(3)接触，该可变电阻体(3)在与突起电极物(2)的接触面不同的面上与上部电极(4)接触。由此，突起电极物(2)(可变电阻体(3))和上部电极(4)的交叉点部分成为可变电阻体的在电气上作出贡献的区域，因而与以往的可变电阻元件中的区域相比，其面积被缩小。

公开(公告)号：CN1767049A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200510103804.5

申请日：2005-06-30

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  玉井幸夫 ,  石原数也 ,  小林慎司 ,  粟屋信义

IPC: G11C7/00 ,  G11C11/15 ,  G11C16/00 ,  H01L27/10

CPC classification number: G11C29/50 ,  G11C13/0007 ,  G11C13/0069 ,  G11C29/50008 ,  G11C2013/009 ,  G11C2213/31

Abstract: 可变电阻元件在第一电极(1)和第二电极(3)之间设置钙钛矿型氧化物(2)而形成，通过在第一电极(1)和第二电极(3)之间施加一定极性的电压脉冲使第一电极(1)和第二电极(3)之间的电阻变化，进而，具有相对于电压脉冲施加中的累积脉冲施加时间的增加、电阻值的变化率从正到负变化的电阻滞后特性。以累积脉冲施加时间不超过电阻滞后特性中相对于累积脉冲施加时间的增加、电阻值的变化率从正到负变化的特定累积脉冲施加时间的方式，在可变电阻元件上施加电压脉冲。