公开(公告)号：CN101432878B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200780015413.5

申请日：2007-02-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  石原数也 ,  瑟谷隆广 ,  大西哲也 ,  中野贵司

IPC: H01L27/10 ,  H01L45/00 ,  H01L49/00 ,  H01L49/02

CPC classification number: H01L45/1253 ,  H01L27/101 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1226 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/124 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/16 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1691

Abstract: 本发明提供一种可变电阻体的在电气上作出贡献的区域的面积是比由上部电极或下部电极等规定的面积更微细的面积的结构的可变电阻元件及其制造方法。在配置于基底衬底(5)上的下部电极(1)的上部形成突起电极物(2)。突起电极物(2)在与下部电极(1)的接触面不同的面与可变电阻体(3)接触，该可变电阻体(3)在与突起电极物(2)的接触面不同的面上与上部电极(4)接触。由此，突起电极物(2)(可变电阻体(3))和上部电极(4)的交叉点部分成为可变电阻体的在电气上作出贡献的区域，因而与以往的可变电阻元件中的区域相比，其面积被缩小。

公开(公告)号：CN101432878A

公开(公告)日：2009-05-13

申请号：CN200780015413.5

申请日：2007-02-23

Applicant: 夏普株式会社

Inventor： 细井康成 ,  石原数也 ,  瑟谷隆广 ,  大西哲也 ,  中野贵司

IPC: H01L27/10 ,  H01L45/00 ,  H01L49/00 ,  H01L49/02

CPC classification number: H01L45/1253 ,  H01L27/101 ,  H01L27/2436 ,  H01L27/2463 ,  H01L45/04 ,  H01L45/1226 ,  H01L45/1233 ,  H01L45/124 ,  H01L45/1273 ,  H01L45/145 ,  H01L45/146 ,  H01L45/16 ,  H01L45/1616 ,  H01L45/1625 ,  H01L45/1633 ,  H01L45/1691

Abstract: 本发明提供一种可变电阻体的在电气上作出贡献的区域的面积是比由上部电极或下部电极等规定的面积更微细的面积的结构的可变电阻元件及其制造方法。在配置于基底衬底(5)上的下部电极(1)的上部形成突起电极物(2)。突起电极物(2)在与下部电极(1)的接触面不同的面与可变电阻体(3)接触，该可变电阻体(3)在与突起电极物(2)的接触面不同的面上与上部电极(4)接触。由此，突起电极物(2)(可变电阻体(3))和上部电极(4)的交叉点部分成为可变电阻体的在电气上作出贡献的区域，因而与以往的可变电阻元件中的区域相比，其面积被缩小。