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公开(公告)号：CN101107537B
公开(公告)日：2010-06-23
申请号：CN200680002741.7
申请日：2006-01-19
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/2806
Abstract: 本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。
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公开(公告)号：CN1720458A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200380104631.8
申请日：2003-11-28
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2805
Abstract: 本发明的目的在于，提供可确实且容易检测电路基板的不良的电路检查装置。作为解决问题的手段，本发明是在检查至少端部配设为行状的检查对象图案时，在检查对象图案(15)的两端部边保持与图案离开指定距离的状态边以横过图案的方式使检查信号供给电极(35)与检查信号检测感测电极(25)移动，以同样与检查对象图案电容耦合的感测电极来检测从供给电极(35)通过电容耦合而供给检查对象图案(15)的检查信号，在检测信号值较指定范围小的情况，则判定为图案断线，而在检测信号值较指定范围大的情况，则判定为图案短路。
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公开(公告)号：CN103913667B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410056938.5
申请日：2014-01-08
Applicant: OHT株式会社
Inventor： 羽森宽
IPC: G01R31/02
Abstract: 在电路布图检查装置中，按照邻接或接近于检查部的供电电极的两侧的方式，排列有多个消弧电极，将相对于施加于检查对象的导电体布图的检查信号而发生相移的交流的消弧信号施加于各消弧电极，形成与检查信号的电场方向相反方向的电场分布，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布，有选择地对检查对象的导电体布图供电，根据已获得的检测信号，实施导电体布图的良好缺陷的适当的判断。
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公开(公告)号：CN101107535A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002731.3
申请日：2006-01-18
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/025
Abstract: 本发明提供可以检测衬底上的导电图案的断路状态的电路图案检查装置及其方法。在导电图案的一方端部配置供电部12，以非接触的方式提供检查信号，在该导电图案的另外一方端部配置断路传感器13，用来以非接触的方式检测检查信号。另外，在离开该导电图案多个图案的距离的导电图案，在配置有断路传感器13的同一侧的端，以非接触状态配置噪声传感器19。将断路传感器13检测到的检查信号和噪声混合的信号，和噪声传感器检测到的未与检查信号混合的噪声的信号输入到差动放大器20，用来除去同相成分的信号的噪声，藉以排除噪声的影响，可以以非接触的方式准确检查被配置在衬底上行状的导电图案是否良好。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107567199B
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201710521158.7
申请日：2017-06-30
IPC: H05K3/22 , H05K3/00 , G01N21/956 , G01R31/28
Abstract: 本发明提供非接触型电路图案检查修复装置，向形成于检查对象的基板上的导电体图案以非接触方式通过电容耦合供给交流的检查信号，将通过的检查信号作为检测信号接收，进行缺陷判定，将缺陷部位的信息和基板上的位置信息进行关联并作为坐标信息存储于存储器部，在修复缺陷部位时，维持将基板固定于检查位置的状态，读出坐标信息，确定基板上的缺陷部位的位置，通过切除修复部或沉积修复部进行修复。
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公开(公告)号：CN107567199A
公开(公告)日：2018-01-09
申请号：CN201710521158.7
申请日：2017-06-30
IPC: H05K3/22 , H05K3/00 , G01N21/956 , G01R31/28
Abstract: 本发明提供非接触型电路图案检查修复装置，向形成于检查对象的基板上的导电体图案以非接触方式通过电容耦合供给交流的检查信号，将通过的检查信号作为检测信号接收，进行缺陷判定，将缺陷部位的信息和基板上的位置信息进行关联并作为坐标信息存储于存储器部，在修复缺陷部位时，维持将基板固定于检查位置的状态，读出坐标信息，确定基板上的缺陷部位的位置，通过切除修复部或沉积修复部进行修复。
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公开(公告)号：CN101995545A
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN201010243928.4
申请日：2010-08-02
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/302 , G01R31/28
Abstract: 本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。
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公开(公告)号：CN101107537A
公开(公告)日：2008-01-16
申请号：CN200680002741.7
申请日：2006-01-19
Applicant: OHT株式会社
IPC: G01R31/02
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/2806
Abstract: 本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。
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