公开(公告)号：CN109786494B

公开(公告)日：2020-08-11

申请号：CN201711119912.0

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈洪宇 ,  苏龙兴 ,  胡平安 ,  李炳生

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/036 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种微腔结构紫外探测器及其制备方法，其中紫外探测器的制备过程包括衬底清洗、籽晶层生长、微米线生长、单根宽禁带半导体微/纳米线上下两侧金属薄膜、金属纳米粒子的制备以及探测器金属电极层的制备工艺。本发明的特点是新开发了一种特殊结构的高性能、小体积的紫外探测器，其探测截止波长小于380nm，解决了紫外探测器尺寸的减小和光电转的提高难以同时实现的矛盾问题。此外，此种微腔结构紫外探测器结构简单、易于耦合焦平面读出电路，有益于下一代高密度集成光电回路的开发。

公开(公告)号：CN111072057A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201811231209.3

申请日：2018-10-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 李炳生 ,  王贺彬 ,  王月飞 ,  李丽 ,  陈洪宇

IPC: C01G15/00

Abstract: 本发明公开了一种氧化镓微米线的制备方法，涉及化学材料制备技术领域，包括：一、将氧化镓和碳粉混合，研磨，得到混合粉末；二、取步骤一得到的混合粉末放入刚玉舟中，将衬底置于刚玉舟正上方，然后放入洁净的石英管中，将石英管放入水平管式炉的生长区；向石英管中通入保护气，在常压下以恒定的升温速率加热升温到反应温度；保温一定时间，然后自然冷却至室温；在衬底上得到氧化镓微米线。本发明通过化学气相沉积的方法生长超长氧化镓微米线。氧化镓微米线形貌均一，长度可达1cm，可在肉眼下进行手工操作，方便了电极的引入和器件的制备。

公开(公告)号：CN109786494A

公开(公告)日：2019-05-21

申请号：CN201711119912.0

申请日：2017-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈洪宇 ,  苏龙兴 ,  胡平安 ,  李炳生

IPC: H01L31/09 ,  H01L31/036 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种新型微腔结构紫外探测器及其制备方法，其中紫外探测器的制备过程包括衬底清洗、籽晶层生长、微米线生长、单根微米线上下两侧金属薄膜、金属纳米结构的制备以及探测器金属电极的制备工艺。本发明的特点是新开发了一种新结构的高性能、小体积的紫外探测器，其探测截止波长小于380nm，解决了紫外探测器尺寸的减小和光电转的提高难以同时实现的矛盾问题。此外，此种新型微腔结构紫外探测器结构简单、易于耦合焦平面读出电路，有益于下一代高密度集成光电回路的开发。