公开(公告)号：CN105420816B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201510990151.0

申请日：2015-12-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 申健 ,  张丹 ,  甘阳

IPC: C30B33/10 ,  C30B29/20 ,  H01L33/22

Abstract: 对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作具备多种晶面的图形化蓝宝石衬底的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得对称六角星形图形化蓝宝石。本发明的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为对称六角星形图形化蓝宝石，且生成的对称六角星形图形化蓝宝石规则有序，重复性好。采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。

公开(公告)号：CN105619185A

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201511027840.8

申请日：2015-12-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 朱玉蓉 ,  张丹 ,  申健 ,  张飞虎 ,  甘阳

IPC: B24B1/00

CPC classification number: B24B1/00

Abstract: 采用青蒿素晶体对陶瓷材料局部抛光的方法，它涉及一种对SiC单晶进行抛光的方法。本发明是为了解决采用金刚石加工SiC，会造成表面损伤，很难达到亚纳米表面粗糙度的技术问题。本方法如下：一、将青蒿素晶体均匀分散在解理的云母表面，将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟后装针，进针直到无针尖的原子力显微镜探针接触青蒿素晶体，再次将无针尖的原子力显微镜探针在紫外固化灯下辐照30分钟；二、预处理；三、刻划；四、观察刻划区域深度。本发明是一种微区模拟的方法，能直观地观察青蒿素晶体对SiC材料的去除情况，且刻划区域明显，重复性好。本发明属于对陶瓷材料局部抛光的领域。

公开(公告)号：CN105552177A

公开(公告)日：2016-05-04

申请号：CN201510990029.3

申请日：2015-12-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 申健 ,  张丹 ,  甘阳

IPC: H01L33/00

CPC classification number: H01L33/005

Abstract: 无间距三角锥图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作超高占位比三角锥的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得超高占位比三角锥图形化蓝宝石。本发明的超高占位比三角锥图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为超高占位比三角锥图形化蓝宝石，且生成的超高占位比三角锥图形化蓝宝石规则有序，重复性好。采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。

公开(公告)号：CN105177718A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510354323.5

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 申健 ,  张丹 ,  庞春玲 ,  张飞虎 ,  甘阳

IPC: C30B33/10 ,  C30B29/20 ,  H01L33/22

Abstract: 六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作六边角锥体的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得六边角锥体图形化蓝宝石。本发明的六边角锥体图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为六边角锥体图形化蓝宝石，且生成的六边角锥体图形化蓝宝石规则有序，重复性好。且采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。

公开(公告)号：CN105420816A

公开(公告)日：2016-03-23

申请号：CN201510990151.0

申请日：2015-12-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 申健 ,  张丹 ,  甘阳

IPC: C30B33/10 ,  C30B29/20 ,  H01L33/22

CPC classification number: C30B33/10 ,  C30B29/20 ,  H01L33/22

Abstract: 对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法，它涉及一种蓝宝石的制备方法。本发明是为了解决干法刻蚀在蓝宝石表面难以制作具备多种晶面的图形化蓝宝石衬底的问题。本方法如下：将预处理后的圆锥形图形化蓝宝石片置于石英花篮中，将石英烧杯中混合溶液A高温湿法刻蚀，然后用去离子水冲洗圆锥形图形化蓝宝石片，再氮气吹干，即得对称六角星形图形化蓝宝石。本发明的对称六角星形图形化蓝宝石的制备方法能有效地将圆锥形图形化蓝宝石转化为对称六角星形图形化蓝宝石，且生成的对称六角星形图形化蓝宝石规则有序，重复性好。采用的设备简单，操作方便，易于掌握，过程安全、无污染。本发明属于蓝宝石的制备领域。