二维模块式椭圆放大机构大位移微动工作台

    公开(公告)号:CN2726829Y

    公开(公告)日:2005-09-21

    申请号:CN200420063398.5

    申请日:2004-09-10

    Abstract: 二维模块式椭圆放大机构大位移微动工作台,它涉及一种二维椭圆放大机构微动工作台的改进。本实用新型从下往上依次由Y向工作台(3)、连接板(1)和X向工作台(2)连固而成,X向工作台(2)的中部与连接板(1)固定连接,Y向工作台(3)的四边与连接板(1)固定连接。本实用新型具有位移量大、位移放大倍数大、结构紧凑、便于安装和调试、频响高、位移方向刚度大、承载能力高的优点,不仅消除了两个方向位移时的相互干扰和工作台偏转,完全实现了工作台平动,而且在闭环控制时,消除了传感器和其固定机构对工作台位移产生的阻力,便于传感器本身的安装和调试。

    三自由度精密定位工作台

    公开(公告)号:CN2629926Y

    公开(公告)日:2004-08-04

    申请号:CN03260236.7

    申请日:2003-07-08

    Abstract: 三自由度精密定位工作台,它涉及一种具有较高分辨率的工作台。普通工作台当偏转角度非常小时(微弧度级),角度分辨率要求更高时,往往通过现有调整手段不能达到所需调整角度。本实用新型包括运动输出平台(1)、基础台体(4),在基础台体(4)上连接有微位移放大机构(3),微位移放大机构(3)通过柔性铰链(2)与运动输出平台(1)连接。本实用新型可以解决各种条件下运动部件的角度和位移调节,增大承载能力,增大转角和位移量,减小外形体积,安装调节方便,而且角度分辨率低于转角的万分之一,位移重复定位精度为低于轴向位移的千分之一,固有频率相对同类产品提高2倍以上。

    三自由度超精密定位平台

    公开(公告)号:CN2580470Y

    公开(公告)日:2003-10-15

    申请号:CN02281264.4

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 三自由度超精密定位平台,它涉及超精密定位平台的改进。在光学调整中,经常需要将入射光线偏转一个角度射出,以达到各种试验的要求。在现有技术情况下,一般是通过螺纹或顶丝调整镜架机构,以达到偏转入射光的目的,其角度分辨率最高只能达到0.1°≈1.75mrad。本实用新型的圆形平台(1-1)的下端是圆筒(1-2),圆筒(1-2)分为上下两截,圆筒(1-2)的上截圆筒(1-21)与下截圆筒(1-22)之间固定有平板(1-3),基础台体(5)内呈等边三角形固定有三组各自独立的压电陶瓷预紧机构(10),三组压电陶瓷预紧机构(10)设置在基础台体(5)与圆形平台(1-1)之间。本实用新型转角范围可达到±0.4~±1mrad,角度分辨率可达到0.1μrad,位移重复定位精度可达到2nm。

    一维椭圆放大机构微动工作台

    公开(公告)号:CN2628237Y

    公开(公告)日:2004-07-28

    申请号:CN03260177.8

    申请日:2003-06-30

    Abstract: 一维椭圆放大机构微动工作台,它涉及一种放大位移机构结构的改进。本实用新型由框体(5)、平行板机构(1)、椭圆放大机构(2)组成;平行板机构(1)固定在框体(5)内的上部并与框体(5)连固为一体,椭圆放大机构(2)固定在框体(5)内平行板机构(1)的下端。本实用新型具有用较小位移的压电陶瓷实现工作台大位移要求,并且体积小,结构紧凑,工作台位移无偏转,整体指标优于单个平行板放大机构,位移分辨率低于工作台位移的千分之0.2,椭圆机构放大倍数为3~4倍,重复定位精度低于工作台位移的千分之一,固有频率约为单个平行板放大机构的两倍,运动方向刚度大,承载能力高,整体出力大,并能抵抗一定扭矩的优点。

    垂直方向微位移驱动装置

    公开(公告)号:CN2586290Y

    公开(公告)日:2003-11-12

    申请号:CN02281261.X

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 垂直方向微位移驱动装置,它涉及一种产生垂直方向微移动的装置。它由顶紧装置(5)、压电陶瓷(3)、驱动器组成;驱动器由底座、设置在底座正上方中间位置的平台、以及分别位于平台和底座两侧并相对平台和底座的中心线左右对称设置的两条小臂和两条大臂组成,底座、平台、大臂、小臂为一体结构,平台与左右小臂、左右小臂与左右大臂、左右大臂与底座之间各设有一对柔性铰链,而且每对柔性铰链相互左右对称设置;压电陶瓷设置在底座上,左右对称设置的顶紧装置分别安装在两条大臂上,两个顶紧装置与压电陶瓷的两侧紧密接触。它解决了现有的能放大的微移动装置在位移时存在偏转的问题。

    六自由度精密并联机器人

    公开(公告)号:CN2576434Y

    公开(公告)日:2003-10-01

    申请号:CN02281262.8

    申请日:2002-11-18

    Abstract: 六自由度精密并联机器人,它涉及一种多自由度运动及定位装置,特别是一种实现亚微米级至纳米级的定位装置。它由工作台(1)、底座(12)、倾斜设置在工作台(1)和底座(12)之间的六条支链(13)组成,每条支链(13)由上部斜块(4)、上部球面副柔性铰链(5)、压电陶瓷致动器(6)、下部球面副柔性铰链(7)和下部斜块(10)依次相连接而成,上部斜块(4)和下部斜块(10)分别与工作台(1)和底座(12)相连接。它解决了现有的串联结构的六自由度运动及定位装置存在刚度差、误差产生累积等问题。

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