公开(公告)号：CN117783244B

公开(公告)日：2024-12-10

申请号：CN202311689032.2

申请日：2023-12-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张甲 ,  贺欣欣 ,  郭平 ,  安煦阳 ,  梁帅

IPC: G01N27/414

Abstract: 传感器敏感模块、钌岛增强氨气传感器和氨气中氨分子检测方法，涉及气体传感技术领域。为解决现有技术中存在的，现今氨气传感器的研究中，对于提高灵敏度遇到了新的瓶颈，因为金属氧化物纳米颗粒的活性位点有限，不能充分催化氨气分子的分解的技术问题，本发明提供的技术方案为：传感器敏感模块，所述模块包括：底栅极材料层、起隔绝作用的介电层2、沟道材料层、连接所述沟道材料层的漏极材料、起隔绝用作的介电层1和设置在所述介电层表面的敏感材料层。所述底栅极材料层、起隔绝作用的介电层2、沟道材料层、起隔绝用作的介电层1和设置在所述介电层表面的敏感材料层依次紧密层叠。可以应用于医疗诊断、空气质量检测、化工厂安全预警等领域。

公开(公告)号：CN115948798A

公开(公告)日：2023-04-11

申请号：CN202211424792.6

申请日：2022-11-14

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 张甲 ,  胡平安 ,  张欣 ,  李松霖 ,  梁帅 ,  吴博轩 ,  李洋

IPC: C30B29/02 ,  C30B25/16 ,  C30B25/18 ,  C30B25/20

Abstract: 本发明公开了一种晶圆级单晶石墨烯异质结及其直接生长方法，属于二维材料异质结制备技术领域。本发明解决了现有晶圆级单晶石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结薄膜制备困难的问题。本发明采用化学气相沉积法，在单晶金属催化剂表面，先生长六方氮化硼，然后在其上表面和下表面分别生长石墨烯，形成单晶石墨烯/六方氮化硼/石墨烯异质结薄膜，且生长的六方氮化硼和石墨烯均为单晶结构，且层数从单层到多层均可以控制，石墨烯异质结尺寸由金属催化剂的尺寸决定，可达晶圆级。