公开(公告)号：CN103115585A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310033302.4

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/25

Abstract: 基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置属于表面形貌测量技术领域；该方法首先在被测件和参考镜表面镀膜，再经单色探测激光激发，最后解算探测面上的干涉条纹；该装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜、分光棱镜、参考聚焦物镜、参考镜和位移驱动器；配置在分光棱镜反射光路上的探测聚焦物镜和被测件；配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器；被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

公开(公告)号：CN103105142A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201310033367.9

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/24

Abstract: 基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、反射式物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器；所述的探测器中含有窄带滤光片；所述的被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

公开(公告)号：CN105424220B

公开(公告)日：2018-03-16

申请号：CN201610049206.2

申请日：2016-01-25

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 掌蕴东 ,  李慧 ,  吴泳锋 ,  于长秋 ,  张拓 ,  袁萍

IPC: G01K11/32

Abstract: 一种基于表面等离激元的温度传感器，属于温度传感领域。它解决了现有的温度传感器灵敏度低、难集成的问题。它包括白光光源、一号单模光纤、光栅、金属‑介质‑金属谐振结构、二号单模光纤和光谱仪；从白光光源射出的白光依次被一号单模光纤和光栅耦合后射入金属‑介质‑金属谐振结构，并在其中发生谐振和干涉，形成法诺线型的光波并射出，由金属‑介质‑金属谐振结构射出的法诺线型光波被二号单模光纤耦合后进入光谱仪的入射狭缝。法诺线型的光波的波形随外界温度的变化而变化，通过光谱仪能够得知其波形变化的详细数据。本发明所述的一种基于表面等离激元特别适用于温度传感。

公开(公告)号：CN103115585B

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：CN201310033302.4

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/25

Abstract: 基于受激辐射的荧光干涉显微测量方法与装置属于表面形貌测量技术领域；该方法首先在被测件和参考镜表面镀膜，再经单色探测激光激发，最后解算探测面上的干涉条纹；该装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜、分光棱镜、参考聚焦物镜、参考镜和位移驱动器；配置在分光棱镜反射光路上的探测聚焦物镜和被测件；配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器；被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

公开(公告)号：CN103115583A

公开(公告)日：2013-05-22

申请号：CN201310033336.3

申请日：2013-01-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘俭 ,  谭久彬 ,  王伟波 ,  张拓

IPC: G01B11/24

Abstract: 基于受激辐射的Mirau荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光镜；配置在分光镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件；配置在分光镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔和探测器；所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。