公开(公告)号：CN105116843B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105137873A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510517576.X

申请日：2015-08-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  王一光 ,  宋法质 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  张常江 ,  宋跃

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421

Abstract: 多板卡同步顺序读取多路传感器数据的方法。它属于半导体制造装备的信号采集与数据通信的技术领域。其方法步骤一：将数据赋予不同的地址编码后存储在RAM内；二：DSP模块每隔200us发出一次读数请求；三：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序将VME总线上的数据锁存信号置高；四：光栅数据地址编码发送模块子程序或激光干涉仪数据地址编码发送模块子程序发送要读取数据的地址编码；五：将数据读写到RAM中；六：重复执行步骤四和五，将所有路数据依次读完；七：RAM内的数据传送到DSP模块内。本发明地址线和信号线的更改权仅由主卡拥有，不会发生多卡之间的总线竞争；各卡以地址线发生变化触发读数，保证了读数的同步性。

公开(公告)号：CN105137855A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510454666.9

申请日：2015-07-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  宋法质 ,  王一光 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  张常江 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421 ,  G05B2219/1208

Abstract: 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。

公开(公告)号：CN104965394A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201510471721.5

申请日：2015-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  王一光 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  董岳 ,  宋跃

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。

公开(公告)号：CN214740969U

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202120375035.9

申请日：2021-02-18

Applicant: 哈尔滨工业大学建筑设计研究院

Inventor： 梅洪元 ,  费腾 ,  毕冰实 ,  叶洋 ,  刘鹏跃 ,  刘益清 ,  张正蔚 ,  王博鸿 ,  宋跃

IPC: E06B9/00 ,  E06B9/40 ,  E06B9/42 ,  E06B9/68 ,  E06B9/80 ,  E05C19/16

Abstract: 一种应用于窗框外侧的保温智能覆盖窗，它涉及门窗结构技术领域。本实用新型为解决现有寒冷地区冬季窗户的保温性能差，且保温性能不可控，导致室内温度不适宜的问题。本实用新型包括电磁铁框、两个温度传感器、多个收纳盒和多个保温层，电磁铁框固接在窗框的外侧，窗框的内外两侧分别各固接有一个温度传感器，电磁铁框上侧框体的下端面上沿宽度方向由内至外依次设有多个收纳盒，每个收纳盒内分别收纳有一个保温层，保温层的两侧与电磁铁框的竖直框体滑动连接，保温层的下端和两侧均固接有磁铁，收纳盒的下端面设有外盖，外盖上设有电磁开关，电磁铁框、两个温度传感器和多个电磁开关分别与控制器连接。本实用新型用于窗体保温。