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公开(公告)号：CN103789750A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410057811.5
申请日：2014-02-20
Applicant: 厦门大学
IPC: C23C16/513
Abstract: 等离子增强化学气相沉积装置，涉及化学气相沉积装置。设有沉积薄膜的PECVD装置和为沉积薄膜提供超高频振动能量的超高频激振装置；所述沉积薄膜的PECVD装置设有气体输送控制装置、射频电源、上盖、喷射支持部、气体分配板、夹具、收集板、加热器、控制阀、机械泵、分子泵、排气管路、测温传感器、密封圈、激振梁、反应室、测压传感器、进气管路、压力控制器和温度控制器；所述气体输送控制装置设有气体存储室、安装开关、流量阀、气体混合室、开关、流量阀和气体输出管路；超高频激振装置安装于激振梁的端部，输出杆与连接环焊接在一起，连接环与激振梁螺栓连接。实现薄膜应力在线消除和低应力薄膜的快速沉积制造。
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公开(公告)号：CN103831211B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201410105898.9
申请日：2014-03-21
Applicant: 厦门大学
Abstract: 利用气流溶液流涎制备薄膜的装置，涉及制备薄膜的装置。设有压缩机、气体过滤器、调压阀、输气管、封口塞、导气管、制备室、节流头、加热器、载物台、抽气管、节流阀、真空泵；压缩机出气口接气体过滤器入气口，气体过滤器出气口接调压阀入口；调压阀的出口通过输气管接导气管，导气管进口设封口塞，导气管出口上安装节流头，节流头上设有圆孔；载物台用于放置要在其表面制备薄膜的基底，可上下移动来调整基底到节流头的距离；加热器用于对形成的薄膜干燥；真空泵连接节流阀，用于抽取制备室里的气流，节流阀用于调节抽气速度；制备室依次经抽气管和节流阀接真空泵，加热器和载物台设在制备室内，加热器设在载物台上。制备工艺简便、薄膜面积大。
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公开(公告)号：CN104195528A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410449665.0
申请日：2014-09-05
Applicant: 厦门大学
IPC: C23C16/505
Abstract: 本发明涉及化学气相沉积技术领域，本发明提供了一种耦合高频振动的微型等离子增强化学气相沉积装置，包括供气系统、排气系统、真空反应室、支架、喷气系统、激振器、沉积台和电控装置。本发明采用排气系统可对真空腔抽真空，在连接射频电源RF正极的喷射板、连接负极的载物板之间形成射频电场，供气系统提供惰性气体和反应气体，喷气系统喷出的反应气体在射频电场作用下辉光放电产生大量电子，经一系列化学反应在收集片表面沉积出薄膜，调节加热片加热功率、激振器振动频率、射频电源RF功率、喷射板与载物板间距，通过调整参数沉积出更优质量的薄膜。
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公开(公告)号：CN103696024A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201310652250.9
申请日：2013-12-05
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种图案化纳米纤维制备装置，涉及一种静电纺丝喷射装置。设有直流高压电源、喷头、XY移动平台、供液软管、注射泵、控制器、低压控制电源、微型继电器组、阵列弹性针尖组、阵列绝缘盒体；注射泵通过软管与喷头相连通；喷头设在XY移动平台上，XY移动平台控制线路与控制器相连；阵列弹性针尖组位于阵列绝缘盒体下方且与绝缘盒体接触；微型继电器组输出端接阵列弹性针尖组，微型继电器组的常闭端接低压控制电源的正电源，常开端接低压控制电源的负电源，继电器控制线路与控制器相连；直流高压电源正极通过导线与喷头相连。可通过改变各个绝缘盒体的高度以引导纳米纤维进行图案化沉积；可控制纳米纤维的沉积位置和引导纳米纤维均匀沉积分布。
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公开(公告)号：CN204251706U
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201420654602.4
申请日：2014-11-05
Applicant: 厦门大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本实用新型涉及一种低压化学气相沉积装置，本实用新型的一种附加振动低压化学气相沉积装置，上端盖、进气法兰、筒体、排气法兰密封连接，排气法兰、下端盖密封成真空腔体，筒体周围套设有加热架，加热架内设有加热丝，上端盖上通过进气管路与一供气装置连通，排气法兰通过抽气管与一机械泵连通，机械泵上还设有排气管，真空腔体内竖直设有多根固定杆，固定杆上水平设有一弹簧板，弹簧板上设有一工作台，工作台上设有一收集板，工作台底部连接设有一连接孔，下端盖下方设有一激振器，激振器输出端连接配合以传输杆，传输杆穿透下端盖后伸入工作台底部的连接孔内，并分别与下端盖和工作台固定连接。本实用新型能够达到低能耗、低耗时、低应力的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN204514510U
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201520060445.9
申请日：2015-01-29
Applicant: 厦门大学
IPC: G01L1/00
Abstract: 本实用新型涉及功能薄膜应力测量结构。本实用新型的一种二级微位移放大结构，包括：固定梁、旋转梁、指针梁、刻度尺、固定梁连接颈、旋转梁连接颈、指针梁连接颈和固定端。薄膜应力测量结构在薄膜上采用刻蚀技术制备，固定梁的一端连接在固定端，在薄膜下方的牺牲层去除之后，由于薄膜内部的残余应力作用，固定梁产生的伸缩位移通过固定梁连接颈传递给旋转梁，旋转梁将位移进行一级放大，放大后的位移然后经指针梁连接颈传递给指针梁，在对称布置的两个指针梁连接颈的作用下对位移二次放大，二次放大后的位移转变为指针梁的左右摆动，指针梁尖端摆动的值通过刻度尺上的刻度读出。结构简单、位移放大倍数高。
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公开(公告)号：CN204119081U
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201420073679.2
申请日：2014-02-20
Applicant: 厦门大学
IPC: H02M9/04
Abstract: 一种电脉冲时效装置，涉及电脉冲处理设备。设有提供电源的能源模块、储存电能的电容器储能组模块、控制电容器储能组充放电的充放电主控单元模块、将高能电脉冲引入工件的负载连接模块；所述能源模块设有升压变压器和全桥整流电路，升压变压器的输入端外接工频电源，全桥整流电路正极输出端与充放电主控单元模块的充电开关相连接，充放电主控单元模块的充电开关与电容器储能组模块的正极输入端相连接，能源模块的全桥整流电路负极输出端与电容器储能组模块负极输入端相连接，电容器储能组模块的正极输出接口与充放电主控单元模块的放电开关相连接，放电开关与负载连接模块铜电极相连接，电容器储能组模块的负极输出接口与可调电感相连接。
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公开(公告)号：CN204514280U
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201520066018.1
申请日：2015-01-30
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型涉及非接触式测试技术领域，具体涉及一种非接触式样品表面轮廓测试装置。一种非接触式样品表面轮廓测试装置，激光位移传感器数据采集装置，三维精密平移台，X向精密平移台，Y向精密平移台，X向步进电机，Y向步进电机，平移台控制机，数据采集计算机，电机控制线路和数据传输线路,精密平移台在平面方向移动时激光位移传感器对样品表面的轮廓进行测试并将测试结果经数据传输线传输给数据采集计算机，数据采集计算机对数据进行存储及显示，表面数据用来表征样品表面轮廓形貌，进而作为下一步对样品表面进行分析数据。整个结构具有精度高、测量重复性好、经济性好，装置搭建简单等优点。
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公开(公告)号：CN203803762U
公开(公告)日：2014-09-03
申请号：CN201420043592.0
申请日：2014-01-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 本实用新型涉及一种激振装置，包括上盖板、冷却管、线圈、下盖板、两磁致伸缩棒、垫块和输出杆，所述两磁致伸缩棒包括上磁致伸缩棒和下磁致伸缩棒，依次上下排列嵌设于冷却管中心孔内，所述上盖板与冷却管的上端固定连接，所述下盖板与冷却管下端固定连接，且所述上盖板与下盖板夹紧所述两磁致伸缩棒使其产生预压力，所述垫块夹设于两磁致伸缩棒之间，且该垫块上开设有输出杆过孔，所述冷却管两侧开设有与输出杆过孔相对应的振动输出孔，输出杆穿过所述输出杆过孔和振动输出孔并伸出冷却管两侧，所述线圈包括上线圈和下线圈，所述上/下线圈分别绕设在冷却管外表面且分别与上/下磁致伸缩棒位置相对应。本实用新型结构简单合理，输出效率高，冷却效果好。
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公开(公告)号：CN203641420U
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201320730181.4
申请日：2013-11-19
Applicant: 厦门大学
IPC: F16H25/20
Abstract: 本实用新型涉及一种微调机构。一种具有螺旋调节的微调机构，包括基座和调节机构，调节机构设置在基座上，基座包括底板、两边缘支撑架和中间支撑架，两边缘支撑架和中间支撑架设置在底板上，调节机构包括两丝杆、滑动杆和滑动块，两丝杆设置在中间支撑架和两边缘支撑架之间，丝杆主轴体表面设有螺纹，滑动块上开设有与该螺纹配合的螺纹孔，丝杆主轴体穿过滑动块上的螺纹孔，与滑动块螺纹配合连接，该滑动块可在丝杆上左右滑动，滑动杆上设置有螺槽，该滑动块上设有与该螺槽匹配的螺孔，滑动块通过螺钉固定在滑动杆螺槽的某一位置。本实用新型所提供了一种结构简单对称，调节误差小，调节精度高，安装拆卸方便，并能够实现小进给量的对称调节功能的微调机构。
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