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公开(公告)号：CN103308717B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310197174.7
申请日：2013-05-23
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿，得到悬空“卍”字型结构；采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合，并粘合到插有光纤的法兰盘上；从被腐蚀的硅片端注入硅油至满，在硅片顶端平插入玻璃片，并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖，尺寸小，低频响应较为突出，抗电磁干扰，可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。
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公开(公告)号：CN104330170A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410561766.7
申请日：2014-10-21
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于比色法的光纤辐射测温仪，属于高温测量领域的。该仪器包括光学系统和电路系统，光学系统由透镜组镜头连接大功率Y型传能光纤组成；电路系统采用信号双通道处理，包括光电探测器、预处理模块、前置放大器、AD采样模块、信号处理模块、显示模块、键盘输入模块及信息交互模块。通过Y型传能光纤将信号分为两路传递到相应的光电探测器上把光信号转成电流信号，经过预处理与前置放大模块转换为电压信号，通过电信号由AD采样，信号处理模块采用曲线拟合算法分析得到的采样信号，通过标定计算出相应的温度值，通过交互模块进一步改进差数设置。本发明的基于比色法的光纤辐射测温仪结构很适用于晶体炉热场的测量。
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公开(公告)号：CN103616080A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310593874.8
申请日：2013-11-21
Applicant: 南京师范大学
IPC: G01J5/20
Abstract: 本发明公开了一种便携式光纤辐射测温仪及其测量方法，属于高温测量领域。测温仪包括大功率光纤耦合器、传能光纤、光电探测器、前置放大模块、AD采样模块、信号处理模块、显示模块、键盘输入、数模转换和4-20mA电流环。大功率光纤耦合器耦合宽波段的热辐射能量，通过传能光纤传递到光电探测器上把光信号转成电信号，电信号由AD采样，信号处理模块采用曲线拟合算法分析得到的采样信号，最后通过标定可以计算出相应的温度值。本发明的便携式光纤辐射测温仪结构很适用于晶体炉热场的测量，简单方便非常实用化。
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公开(公告)号：CN103308717A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310197174.7
申请日：2013-05-23
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿，得到悬空“卍”字型结构；采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合，并粘合到插有光纤的法兰盘上；从被腐蚀的硅片端注入硅油至满，在硅片顶端平插入玻璃片，并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖，尺寸小，低频响应较为突出，抗电磁干扰，可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。
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公开(公告)号：CN103048269A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210554733.0
申请日：2012-12-19
Applicant: 南京师范大学
IPC: G01N21/17
Abstract: 本发明公开了一种反蛋白石薄膜修饰光纤束的相对湿度传感器及其制备方法。其主要结构包括一束一端自由，一端由金属套管箍紧的光纤束，以及在箍住的光纤束端面沉积的反蛋白石薄膜。其主要制作步骤为:选择光纤，按使用需求制作相应尺寸的光纤束，光纤束箍住的一端端面研磨抛光平整，用垂直沉积溶胶凝胶协同自组装法在光纤束端面制作一层复合薄膜，高温烧结后转变成反蛋白石薄膜，并用塑料帽保护，光纤束的自由端制作成通用光纤连接头。本发明形成的相对湿度传感器是全光工作器件，沿用标准的光纤连接头，可以与现有的光纤通信网络连接，实现全光传感网络。针对不同的应用背景，工作波段可以选择，适用性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102053302B
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201010585646.2
申请日：2010-12-14
Applicant: 南京师范大学
IPC: G02B6/02
Abstract: 本发明公开了一种由胶体晶体修饰的光纤-毛细管微结构器件。主要制作步骤为：将普通标准单模光纤除去涂覆层，插入毛细管中，并用胶水将光纤固定，然后将毛细管-光纤端面磨平；配置不同材料的(如:PS,PMMA和Silica)胶体微球溶液；用垂直沉积法在毛细管-光纤端面生长胶体晶体,用烧结炉烧结固化形成胶体晶体毛细管-光纤微结构；用热塑套管、塑料盒封装固定。本发明形成的胶体晶体修饰的毛细管-光纤微结构可以形成多孔结构，进一步发展可成为光纤滤波器和生物、环境传感器；由于利用的是普通光纤制备，因此制作简便、成本低。
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公开(公告)号：CN101942700B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010512106.1
申请日：2010-10-20
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于光纤的圆柱环状胶体晶体的制备方法及其晶体。主要工艺步骤为：剥除光纤涂覆层,去油去污后清洗干燥，插入HF酸缓冲溶液中，包层被HF酸腐蚀粗化，增强亲水性利于微球涂覆；配置不同材料(如PS,PMMA和Silica)不同浓度的胶体微球溶液；将腐蚀粗化后的光纤竖直插入盛有胶体溶液的玻璃瓶中,在一定的温度和压强的条件下，采用垂直沉积法在光纤包层外表面涂覆胶体晶体；用烧结炉烧结固化圆柱环状胶体晶体。本发明形成的圆柱环状胶体晶体可以作为三维光子晶体滤波器，并可以形成空气芯和多孔结构，进一步发展成为光纤和生物、环境传感器，而且由于是在普通的单模光纤上制备，因此制作简便、成本低。
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公开(公告)号：CN101949685A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010275001.9
申请日：2010-09-08
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种光纤型激光自混合干涉仪及其测量方法，属于位移精密测量领域。干涉仪包括分布反馈半导体激光器、保偏光纤耦合器、线内起偏器、单模光纤、电光调制器、光纤光栅、梯度折射率透镜，试件、光电探测器、数据采集与处理系统、光纤夹持器、一维导轨、二维精密平移台、显微镜、底座、支架和信号发生器。光纤光栅和试件分别与激光器的出射端面构成参考外腔和测量外腔，产生两重外腔自混合干涉现象，数据采集与处理系统采用正交解调技术分析得到的自混合信号，最后可以计算得出试件的位移量。本发明的光纤干涉仪结构很适用于微机械和MEMS器件的纳米级位移和振动的测量，更接近实用化。
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公开(公告)号：CN101403693B
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：CN200810195040.0
申请日：2008-11-04
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种在线测量MEMS薄膜应力梯度的方法，其步骤为：在结构层薄膜上制作成一个中心固定的圆形薄膜。当圆膜被释放后，会在其内部的应力梯度作用下发生形变。用非接触相移型米劳干涉仪测量出圆膜边缘竖直方向的位移，进而算出圆膜的曲率半径。由薄膜的杨氏模量、泊松比和圆膜的曲率半径就可以求得薄膜的应力梯度。该测量方法的特征是：采用中心对称的中心固定圆膜作为测试结构，锚区近似理想固支，提高了模型的精度；用非接触的光学干涉方法测量，不会影响测试结构，重复性好。同时适用于导电材料和非导电材料应力梯度的测量。此外，该测量方法还具有操作简便，测量精度高，占用芯片面积小等优点。
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公开(公告)号：CN101034028B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200710020040.2
申请日：2007-02-09
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种法布里-珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。本发明传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。
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