一种二维复合胶体晶体光子器件的制备方法

    公开(公告)号:CN113089102B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN202110230880.1

    申请日:2021-03-02

    Abstract: 本申请公开了一种二维复合胶体晶体光子器件的制备方法,该方法涉及光电子技术及材料制备,分为微流注射法制备单层膜及反应离子刻蚀两部分;首先利用微流注射法制备六角密排的单层膜;通过缓慢竖直提升事先放置烧杯中衬底的办法,将单层胶体晶体转移到玻璃基片上,获得周期性微纳结构;然后通过应离子刻蚀使得微球粒径减小,微球间隙增大;同样利用微流注射法制备第二种材料的密排单层膜;最后用离子刻蚀处理过的玻璃基片作衬底,制备成功二维复合光子晶体;由白光源、1×2光纤耦合器、光谱仪组成测量系统,光源垂直入射到二维复合光子晶体表面,测得其反射光谱图,通过刻蚀工艺控制粒子间的匹配关系和形成的二维复合胶体晶体的结构的占空比。

    一种反蛋白石修饰纤芯的微结构光纤及其制备方法

    公开(公告)号:CN102226847A

    公开(公告)日:2011-10-26

    申请号:CN201110156571.0

    申请日:2011-06-13

    Abstract: 本发明公开了一种纤芯由反蛋白石(3DOM三维有序大孔材料)修饰的微结构光纤。其主要制作步骤为:配置PS或PMMA胶体微球溶液,并添加一定比例的前驱物溶液(TEOS或TiBALDH);用Sol-gel协同自组装法在毛细管内生长一段胶体晶体,胶体晶体的间隙中水分减少时形成前驱物凝胶,用箱式炉高温烧结去除胶体晶体形成反蛋白石结构;将两根普通标准光纤除去涂覆层,垂直切割,分别从两端插入毛细管中至反蛋白石结构处,并用胶水将光纤固定,然后用热塑套管固定封装毛细管和光纤。本发明制备的微结构光纤可作为光纤滤波器和生物医疗传感器件;由于利用的是普通标准光纤制备,可以与现有的光纤通信网络连接,便于实现全光传感网络;其制作简便、可靠、通用性强。

    法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN100588928C

    公开(公告)日:2010-02-10

    申请号:CN200610096596.5

    申请日:2006-10-09

    Abstract: 本发明公开了一种法布里-珀罗型光纤压力传感器,由单晶硅片、玻璃圆管、光纤法兰盘和光纤插头构成,其特征是:单晶硅片与玻璃圆管的一个端口通过阳极键合工艺结合;玻璃圆管另一端的侧壁与光纤法兰盘的凹槽粘结。光纤插头连接到光纤法兰盘上,光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了制作该传感器的方法,主要步骤为:将切割后的玻璃管与硅片放在键合炉上使其键合;在玻璃管的外壁涂上环氧树脂后将其粘接到光纤法兰盘的凹槽内;将光纤插头旋接于光纤法兰盘;光纤插头上的陶瓷插针与单晶硅片上的下表面形成法布里-珀罗腔。本发明制作简便,精度高,灵敏度高,可靠性好。

    半导体激光自混合干涉测振仪

    公开(公告)号:CN101539454A

    公开(公告)日:2009-09-23

    申请号:CN200910030093.1

    申请日:2009-04-01

    Abstract: 本发明公开了一种半导体激光自混合干涉测振仪,包括光学系统和电学系统;光学系统由同光轴地依次设置的光电探测器、半导体激光器、准直透镜和靶镜构成;电学系统由信号源电路、信号预处理电路,A/D转换电路,DSP数据处理单元和输出终端构成;三角波信号源产生三角波信号,经过电流调制电路后对半导体激光器进行电流调制;半导体激光器发出的激光经过准直透镜后变为平行光,入射到靶镜上,部分光返回激光腔内,与激光腔内的光产生自混合;自混合光强由光电探测器检测出且转换为对应的电流信号,经过信号预处理电路首先转换为电压信号,再微分为以方波为基波,叠加突变的信号;该信号转换为数字信号,最后由DSP数据处理单元处理,由输出终端输出。

    一种纤芯型的胶体晶体微结构光纤及其制备方法

    公开(公告)号:CN101349779A

    公开(公告)日:2009-01-21

    申请号:CN200810196302.5

    申请日:2008-09-04

    Abstract: 本发明公开了一种纤芯型的胶体晶体微结构光纤,由单模光纤A、单模光纤B、胶体晶体(3-4)和毛细玻璃封装管(3-1)构成,其特征是:所述单模光纤A、单模光纤B为单模裸光纤,在单模光纤A、单模光纤B的端部除去一段涂覆层,在单模光纤A与单模光纤B除去涂覆层的端面间设胶体晶体,将单模光纤A和单模光纤B除去涂覆层的部分用两端带有V型槽的毛细玻璃管套装对接起来,用热塑套管封装为一体。同时公开了其制备方法。

    一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用

    公开(公告)号:CN112760707A

    公开(公告)日:2021-05-07

    申请号:CN202011524207.0

    申请日:2020-12-22

    Abstract: 本发明公开了一种TiO2/PS胶体光子晶体及其制备方法和在湿度传感器中的应用,TiO2/PS胶体光子晶体包括PS单层微球膜和沉积于其上表面的TiO2薄膜,所述PS单层微球膜中微球直径为610~690nm,所述TiO2/PS胶体光子晶体呈周期性六角球壳阵列排布;通过微流注射法、反应离子刻蚀、磁控溅射相结合,在单层PS微球膜上沉积TiO2薄膜,形成尺寸可控的TiO2/PS胶体光子晶体;TiO2/PS胶体光子晶体结合TiO2的湿敏特性以及TiO2/PS胶体光子晶体的光学特征和周期性球壳阵列结构特性,将其应用于光学湿度传感器,将反射峰位置偏移与相对湿度相关联进行湿度检测。

    一种激光MEMS麦克风
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110602617A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910836984.X

    申请日:2019-09-05

    Abstract: 本发明公开了一种激光MEMS麦克风,包括光源和麦克风结构,麦克风结构包含衬底、背板、振动音膜、由衬底与振动音膜构成的前腔、由振动音膜和背板构成的后腔;光源为VCSEL,背板和振动音膜上均设有通过MEMS技术制作的多个声孔;VCSEL朝振动音膜出射激光束;振动音膜反射部分激光束到VCSEL谐振腔;反射的激光束携带振动音膜振动的声音信息,部分反射的激光束与VCSEL谐振腔内的激光相混合,产生激光自混合干涉效应;VCSEL的输出功率和频率发生变化,提取VCSEL上的结电压;放大解调之后转换成音频波形,实现由声音信号到电信号的转换。本发明的激光MEMS麦克风拾音信噪比高、体积小、抗电磁干扰能力强。

    斜抛光纤折射率传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN106442410B

    公开(公告)日:2019-02-19

    申请号:CN201610997567.X

    申请日:2016-11-11

    Abstract: 本发明公开了一种斜抛光纤折射率传感器及其制作方法。该传感器包括单模光纤、V型光纤槽以及胶体晶体膜,单模光纤的端面为45度的斜面,V型光纤槽位于胶体晶体膜的上方;单模光纤位于V型光纤槽内,其45度的斜面朝上;单模光纤的轴线与胶体晶体膜的平面平行。制作方法的主要步骤为:湿法腐蚀法在硅晶圆上制作V型光纤槽阵列,垂直沉积的方法制作一定厚度的胶体晶体膜阵列,再将胶体晶体膜基底和V型光纤槽粘贴固定,随后固定单模光纤将其压紧在V型光纤槽内,最后划片并封装。本发明的结构新颖、灵敏度高、可靠性好、线性测量范围大、成本低廉、可批量生产,能广泛应用于工业中的折射率检测。

    正交型零差激光干涉仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN105043243A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510287943.1

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 本发明公开了一种正交型零差激光干涉仪及其测量方法,其干涉仪结构简单可靠,包括氦氖激光器、分光棱镜、λ/8波片、立方角锥棱镜、测量立方角锥棱镜、精密导轨、光电探测器、小信号放大模块、带通滤波器模块、模数转换单元和计算机数据处理单元。激光器发出的激光经分光棱镜后分为参考光和测量光,测量光首先通过λ/8波片,然后经测量立方角锥棱镜反射得到的光束,再次经过λ/8波片后,与经参考立方角锥棱镜反射回的参考光束发生干涉,最后经偏振分光棱镜后得到两路正交的偏振光;光电探测器接收光信号并转成电信号后,由放大和滤波模块进行信号调理;调理后的电信号由计算机单元控制模数转换单元采集并解调出相位,得到测量立方角锥棱镜的实时位移并显示。

    激光自混合光栅干涉仪及其测量方法

    公开(公告)号:CN104713473A

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201510116258.2

    申请日:2015-03-17

    Abstract: 本发明公开了一种激光自混合光栅干涉仪及其测量方法。该干涉仪包括激光器、衍射光栅、平面反射镜、光电探测器、电信号处理系统和数据采集分析系统;衍射光栅置于激光器的输出光路上,其位移方向垂直于激光器的输出光路;激光器发出的激光垂直入射至衍射光栅,在入射光路两侧形成对称分布的各级次衍射光,平面反射镜设置在某m级次衍射光的光路上,使第m(m≠0)级衍射光垂直入射至平面反射镜并沿原光路返回,并再次入射至衍射光栅发生二次衍射,二次衍射光携带光栅位移信息沿激光器出射光的相反方向返回到激光器腔内与腔内光发生自混合干涉。本发明具有结构简单紧凑,成本低、抗干扰能力强、无需控制光反馈水平、自动识别位移方向等优点。

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