公开(公告)号：CN105043243A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510287943.1

申请日：2015-05-29

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 王鸣 ,  祝宏彬 ,  陈俊雹 ,  郝辉 ,  郭冬梅 ,  刘强 ,  张佳欢

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/02

Abstract: 本发明公开了一种正交型零差激光干涉仪及其测量方法，其干涉仪结构简单可靠，包括氦氖激光器、分光棱镜、λ/8波片、立方角锥棱镜、测量立方角锥棱镜、精密导轨、光电探测器、小信号放大模块、带通滤波器模块、模数转换单元和计算机数据处理单元。激光器发出的激光经分光棱镜后分为参考光和测量光，测量光首先通过λ/8波片，然后经测量立方角锥棱镜反射得到的光束，再次经过λ/8波片后，与经参考立方角锥棱镜反射回的参考光束发生干涉，最后经偏振分光棱镜后得到两路正交的偏振光；光电探测器接收光信号并转成电信号后，由放大和滤波模块进行信号调理；调理后的电信号由计算机单元控制模数转换单元采集并解调出相位，得到测量立方角锥棱镜的实时位移并显示。