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公开(公告)号：CN103091013B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201310012946.5
申请日：2013-01-15
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了制作该传感器的方法，主要步骤为：在经过表面处理过的硅晶圆正面通过两次对准光刻形成所需结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅晶圆的背面，达到所需的膜厚；再次通过光刻在另一片硅晶圆上塑造压力传感器的上盖结构，通过环氧树脂胶进行粘合封装。本发明结构新颖，灵敏度高，可靠性好，线性测量范围大，成本低廉，可应用于工业中的微压检测。
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公开(公告)号：CN103308717B
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201310197174.7
申请日：2013-05-23
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿，得到悬空“卍”字型结构；采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合，并粘合到插有光纤的法兰盘上；从被腐蚀的硅片端注入硅油至满，在硅片顶端平插入玻璃片，并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖，尺寸小，低频响应较为突出，抗电磁干扰，可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。
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公开(公告)号：CN103308717A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310197174.7
申请日：2013-05-23
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种基于SU-8光刻胶的光纤法布里-珀罗加速度传感器及其制作方法。该传感器在硅基底上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个“卍”字型悬臂梁-质量块结构，质量块的下表面与光纤的端面形成法布里-珀罗腔。制作方法为：在经过表面处理过的硅片正面通过两次对准光刻形成所需SU-8光刻胶结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅片的背面直至蚀穿，得到悬空“卍”字型结构；采用低温阳极键合技术将硅片与玻璃环紧密键合，并粘合到插有光纤的法兰盘上；从被腐蚀的硅片端注入硅油至满，在硅片顶端平插入玻璃片，并用环氧树脂胶粘合。本发明结构新颖，尺寸小，低频响应较为突出，抗电磁干扰，可用于发电机组的振动监测和故障诊断、机床的运动精度测量等应用中。
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公开(公告)号：CN103091013A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310012946.5
申请日：2013-01-15
Applicant: 南京师范大学
Abstract: 本发明公开了一种微型SU-8光纤法布里-珀罗压力传感器，是通过传统的MEMS微细加工与近紫外光刻技术相结合形成的：在硅敏感膜上利用近紫外光刻SU-8光刻胶层形成一个位移柱以及光纤的定位槽，位移柱的端面以及光纤的端面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了制作该传感器的方法，主要步骤为：在经过表面处理过的硅晶圆正面通过两次对准光刻形成所需结构；通过湿法腐蚀法腐蚀硅晶圆的背面，达到所需的膜厚；再次通过光刻在另一片硅晶圆上塑造压力传感器的上盖结构，通过环氧树脂胶进行粘合封装。本发明结构新颖，灵敏度高，可靠性好，线性测量范围大，成本低廉，可应用于工业中的微压检测。
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