公开(公告)号：CN101034028B

公开(公告)日：2010-05-19

申请号：CN200710020040.2

申请日：2007-02-09

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 贲玉红 ,  戴霞娟 ,  王鸣

IPC: G01L11/02 ,  G01L1/24

Abstract: 本发明公开了一种法布里-珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里-珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。本发明传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。

公开(公告)号：CN101034028A

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN200710020040.2

申请日：2007-02-09

Applicant: 南京师范大学

Inventor： 贲玉红 ,  戴霞娟 ,  王鸣

IPC: G01L11/02 ,  G01L1/24

Abstract: 本发明公开了一种法布里－珀罗型光纤压力传感器，由硅片(1)、玻璃管(2)、光纤法兰盘(3)和光纤插头(4)构成，其特征是：玻璃管的一端与硅片键合，玻璃管固定于光纤法兰盘的凹槽内，光纤插头的陶瓷插针通过白色瓷管(5)固定在玻璃管内，光纤插头的陶瓷插针与硅片的下表面形成法布里－珀罗腔。同时还公开了该传感器的制作方法。本发明传感器制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。