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公开(公告)号：CN203825034U
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201420151300.5
申请日：2014-04-01
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型公开了一种Z轴电容式微机械加速度计，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层以及设置于玻璃基座上的金电极层，所述结构层包括由一个质量块、附着在所述质量块上的梳齿、设置于所述质量块上且用于支撑质量块悬空的折叠梁、与所述折叠梁相连的锚点区、一端通过键合固定在玻璃基座上的固定检测梳齿，其中当加速度计受到Z轴方向的加速度时，所述质量块、梳齿及折叠梁形成可动结构，且所述固定检测梳齿和可动结构中梳齿形成检测电容。所述梳齿、折叠梁、锚点区、固定检测梳齿均为四组且分别布置于质量块四周。本加速度计具有灵敏度高、结构对称性好，能大大减小后续接口电路对微弱变化电容提取的困难。
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公开(公告)号：CN203216497U
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：CN201320149299.8
申请日：2013-03-28
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01C19/5621 , G01C19/5628
Abstract: 本实用新型涉及一种扭转谐振式微加速度计。所述扭转谐振式微加速度计包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层。机械结构层包括：分别与Y轴支撑梁连接的第一质量块、第二质量块。第一质量块、第二质量块上开有均匀分布且尺寸一致的阻尼孔。金电极层中，驱动电极与检测电极之间设有接地电极。本实用新型具有扭转谐振阻尼小、同频干扰小的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN204256053U
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201420804567.X
申请日：2014-12-18
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01R29/12
Abstract: 本实用新型公开了一种微机械振动式电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一至第十锚点区、第一至第四支撑梁、质量块、第一至第四固定驱动电容极板、第一力放大杠杆、第二力放大杠杆，所述金电极层包括第一至第八电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单，通过一级微机械杠杆对静电驱动力进行放大，通过两级回型梁取代典型直梁，交叉耦合小，提高微机械振动式电场传感器的灵敏度。
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公开(公告)号：CN203759053U
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201320802344.5
申请日：2013-12-09
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型公开了Z轴电容式微机械加速度计，属于微机械电子系统中的惯性传感器的技术领域，包括：玻璃基座，键合在玻璃基座上的扭转结构层，溅射在玻璃基座上的金电极层，扭转结构层包括结构相同四个子单元，任意三个子单元相当于另一个子单元按照顺时针方向或者逆时针方向分别旋转九十度、一百八十度、二百七十度得到。本实用新型通过减小检测电容极板正对面积与极板间距的比值来增大微机械加速度计的灵敏度，完全对称的扭转结构层使得结构共模抑制比大，减小了输出信号的零点偏移。
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公开(公告)号：CN204228832U
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201420736087.4
申请日：2014-12-01
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01R29/12
Abstract: 本实用新型公开了一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长方形电极和多边形电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单，传感器性能对制造误差依赖小；接口电路可以直接与专用集成电路连接，避免了微弱电容检测电路的设计困难；本实用新型的传感器不需要时刻振动，电能消耗减小。
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公开(公告)号：CN204008697U
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201420437371.1
申请日：2014-08-04
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本实用新型公开了电容式微机械加速度计，属于微机械传感器的技术领域。加速度计包括：硅片基座，形成在硅片基座上的绝缘层，沉积在绝缘层上的检测电容层，以及多晶硅活动结构屏蔽层，多晶硅活动结构层通过检测电容层的支撑悬空，多晶硅活动结构屏蔽层中的质量块在加速度作用下带动支撑梁发生位移，检测电容极板之间的电场线会发生变化，由电场线变化得到的电容变化值即为测量的加速度信息。利用边缘电场效应设计的电容式微机械加速度计，在大量程下具有大灵敏度，在激励电容和外加激励电压作用下,检测电容使其具有自检功能且不会发生吸附失效。
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公开(公告)号：CN203340028U
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201320408026.0
申请日：2013-07-10
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H03H9/24
Abstract: 本实用新型涉及一种微机械谐振器，尤其是一种频率和品质因数可调的微机械谐振器。所述微机械谐振器包括玻璃基座，键合在玻璃基座上的机械结构层，与溅射在玻璃基座上作为信号引线的金电极层，机械结构层包括：矩形框架结构的质量块、沿垂直方向对称分布在所述质量块两边的两个驱动梳齿、两个驱动信号检测梳齿、两个品质因数调谐梳齿，沿水平方向对称分布在所述质量块两边的两个谐振频率调节梳齿。本实用新型采用矩形框架结构的质量块，降低了质量块的质量，提高了谐振频率，降低了阻尼值，提高了品质因数。
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