公开(公告)号：CN204228832U

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201420736087.4

申请日：2014-12-01

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 孟瑞丽 ,  陆倩倩 ,  刘恒 ,  张宏群 ,  倪波 ,  李敏

IPC: G01R29/12

Abstract: 本实用新型公开了一种力平衡式微机械电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一支撑基座、第二支撑基座、质量块、第一至第四折叠梁，所述金电极层包括第一长方形电极、第二长方形电极和多边形电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单，传感器性能对制造误差依赖小；接口电路可以直接与专用集成电路连接，避免了微弱电容检测电路的设计困难；本实用新型的传感器不需要时刻振动，电能消耗减小。

公开(公告)号：CN204256053U

公开(公告)日：2015-04-08

申请号：CN201420804567.X

申请日：2014-12-18

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 孟瑞丽 ,  陆倩倩 ,  刘恒 ,  张宏群 ,  孙冬娇

IPC: G01R29/12

Abstract: 本实用新型公开了一种微机械振动式电场传感器，包括玻璃基座、键合在玻璃基座上的结构层、溅射在玻璃基座上的金电极层；所述结构层包括第一至第十锚点区、第一至第四支撑梁、质量块、第一至第四固定驱动电容极板、第一力放大杠杆、第二力放大杠杆，所述金电极层包括第一至第八电极。本实用新型对应的微机械电场传感器结构简单，通过一级微机械杠杆对静电驱动力进行放大，通过两级回型梁取代典型直梁，交叉耦合小，提高微机械振动式电场传感器的灵敏度。