公开(公告)号：CN215357784U

公开(公告)日：2021-12-31

申请号：CN202023287245.7

申请日：2020-12-30

Applicant: 华侨大学

Inventor： 陆静 ,  温海浪 ,  罗求发 ,  李晨 ,  艾腾峰

IPC: B24B27/00 ,  B24B41/02 ,  B24B41/06 ,  B24B47/20

Abstract: 本实用新型公开了一种金刚石磨抛一体化的加工设备，包括机架、基座装置和磨抛装置；该基座装置包括能沿Y轴进给的滑座和能绕Z轴转接在滑座上的基座，该基座上装设有能夹紧金刚石的夹具；该磨抛装置包括沿Z轴布置的主轴，该主轴上套装有内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮，该外圈抛光砂轮包围内圈磨削砂轮，通过主轴转动带动内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮一起转动，能调节内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮沿Z轴上下位置关系；通过内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮的转动、滑座的进给及基座的转动以磨抛夹具上的金刚石。它具有如下优点：将金刚石磨削抛光整合到一道工序中加工，金刚石表面划痕损伤少、表面质量均匀。

公开(公告)号：CN214923387U

公开(公告)日：2021-11-30

申请号：CN202120717085.0

申请日：2021-04-08

Applicant: 华侨大学

Inventor： 罗求发 ,  陆静 ,  徐西鹏 ,  薛志萍 ,  姜峰 ,  温海浪

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B49/00 ,  B24B49/16 ,  H01L21/67 ,  H01L21/687 ,  F16N15/04

Abstract: 本实用新型公开了磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置，包括主轴模块、液池模块及装夹模块；该主轴模块包括主轴、转接盘、供晶圆衬底固设其上的样品台和加热器；该液池模块包括液池、盖板、固定环及进液管，该液池包括设有安装通孔的池底、池内壳、池外壳和设有样品口的池盖；该装夹模块包括加载装置、样品夹杆和硬质磨料压头。它具有如下优点：通过硬质磨料压头与晶圆衬底的划擦实验，还原加工过程中划擦速度、载荷、温度和润滑状态，进而研究硬质磨粒与晶圆之间的界面作用关系，有助于揭示硬质磨料与晶圆衬底界面摩擦化学反应的作用机制，在半导体晶圆衬底的高效超精密加工领域具有良好的应用前景，且装置简单、操作方便。