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公开(公告)号：CN109001207B
公开(公告)日：2021-04-13
申请号：CN201810426578.1
申请日：2018-05-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，检测系统包括：光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光，将其输出到光学分析系统；光学分析系统，用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光；彩色共焦数据处理程序，用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。
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公开(公告)号：CN117761068A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202410172472.9
申请日：2024-02-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种电子封装外壳引脚双面同步检测系统，包括支撑机构、传送装置、治具、视觉检测模块、图像处理系统，所述传送装置与视觉检测模块安装于所述支撑机构，所述治具用于承载待测样品，所述传送装置用于传送所述治具承载的待测样品至视觉检测模块检测，所述视觉检测模块包括以所述治具传送平面为中心对称布置的正面视觉检测模块和背面视觉检测模块，所述正面视觉检测模块与所述背面视觉检测模块均分别包括至少二组视觉检测机构，所述至少二组视觉检测机构分别对应检测待测样品的一列引脚，所述图像处理系统用于对视觉检测机构采集的引脚进行尺寸和缺陷检测。
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公开(公告)号：CN114754705B
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202210374730.2
申请日：2022-04-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了垂直扫描白光干涉谱辅助穆勒矩阵椭偏测量系统和方法，垂直扫描白光干涉模块既可以辅助穆勒矩阵椭偏仪高精度调平，又可以实现衬底表面粗糙度的纳米级测量。穆勒矩阵椭偏测量模块实现衬底光学特性高精度、快速测量；数据处理模块包括表面形貌参数提取单元和光学特性参数提取单元；表面形貌参数提取单元包括所属垂直扫描白光干涉模块所采集的单帧图像和层析图像；基于单帧图像对样品台进行高精度调平，以保证椭偏测量数据精度，基于层析图像对表面形貌进行恢复和参数提取，提供对应测量点椭偏光学模型中粗糙层的初值，为椭偏参数解耦提供基础。
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公开(公告)号：CN114260815A
公开(公告)日：2022-04-01
申请号：CN202111675176.3
申请日：2021-12-31
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了基于机器人的高世代线玻璃基板抛光系统及其抛光方法，抛光系统包括机械手、公转模块、自转模块和加工台模块；公转模块包括大电机和装夹盘，该大电机装接在机械手，该装夹盘装接在大电机且通过大电机带动装夹盘转动；若干自转模块周向间隔装设在装夹盘，该自转模块包括小电机和抛光盘，该小电机装接在装夹盘上，该抛光盘装接在小电机且通过小电机带动抛光盘转动；加工台模块包括能装夹高世代线玻璃基板的加工台，通过抛光盘抛光高世代线玻璃基板。它具有如下优点：抛光盘通过小电机实现自转，通过大电机实现公转，再通过机械手带动实现抛光加工，此多抛光头机构可以提升单次加工面积，从而大幅提升抛光效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112362593A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN202011296394.1
申请日：2020-11-18
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了金刚石衬底随温度变化的测量方法，包括：测量室温下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψ0，Δ0)；S1，控制加热系统温度以加热金刚石衬底，预设i个加热系统温度，测量每一Ti下的金刚石衬底的椭偏光谱曲线(ψi，Δi)；S2，建立色散光学模型对光谱曲线进行分析，记录为(n0，k0)及(ni，ki)，当满足石墨化条件后，记录光学常数(ni，ki，di)；S3，绘制所有温度下的光学常数，分析变化趋势；S4，在满足石墨化条件后，结合色散光学模型，分析金刚石杂化类型的变化以及比例分布情况。它具有如下优点：测量精度高，温度变化范围宽，对折射率和温度变化灵敏，且不仅能获得光学特性的变化而且能获取金刚石衬底杂化类型。
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公开(公告)号：CN109001228A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201811087515.4
申请日：2018-09-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明提供了一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，定位装置包括针对不同大小衬底的圆环托盘，圆环托盘上带有刻度，实现对不同规格的圆形衬底的定位；圆柱形连接支架用于连接衬底定位装置和背光照明装置，实现对光源的密封；背光照明装置，提供多种形式的光源，同时保证均匀照明；圆环形转接板，实现照明装置和旋转台的固定；旋转台可带动背光照明装置以及衬底定位装置实现回转运动；具有可拆卸功能的底座，用于固定衬底定位装置以及与检测平台的连接。本发明与现有的装置相比，不仅可实现对多种规格的衬底晶片精确定位和回转运动用于全场扫描测试，又可以提供多种均匀照明的背光光源，满足不同缺陷检测时的照明需求。
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公开(公告)号：CN109001207A
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201810426578.1
申请日：2018-05-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，检测系统包括：光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序。光学测量系统用于光的输出并接收被测透明材料表面及内部缺陷的反射光，将其输出到光学分析系统；光学分析系统，用于接收透明材料表面及内部缺陷的反射光；彩色共焦数据处理程序，用于对光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对此波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。本发明还提供了基于上述检测系统的透明材料表面及内部缺陷的检测方法。本发明的透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统，能够快速、无损、准确的对透明材料表面及内部缺陷进行定性定量地测量。
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公开(公告)号：CN221926149U
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202420286812.6
申请日：2024-02-07
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种电子封装外壳引脚双面同步检测系统，包括支撑机构、传送装置、治具、视觉检测模块、图像处理系统，所述传送装置与视觉检测模块安装于所述支撑机构，所述治具用于承载待测样品，所述传送装置用于传送所述治具承载的待测样品至视觉检测模块检测，所述视觉检测模块包括以所述治具传送平面为中心对称布置的正面视觉检测模块和背面视觉检测模块，所述正面视觉检测模块与所述背面视觉检测模块均分别包括至少二组视觉检测机构，所述至少二组视觉检测机构分别对应检测待测样品的一列引脚，所述图像处理系统用于对视觉检测机构采集的引脚进行尺寸和缺陷检测。
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公开(公告)号：CN210136184U
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201821524246.9
申请日：2018-09-18
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型提供了一种带背光照明的衬底缺陷检测用回转工作台，定位装置包括针对不同大小衬底的圆环托盘，圆环托盘上带有刻度，实现对不同规格的圆形衬底的定位；圆柱形连接支架用于连接衬底定位装置和背光照明装置，实现对光源的密封；背光照明装置，提供多种形式的光源，同时保证均匀照明；圆环形转接板，实现照明装置和旋转台的固定；旋转台可带动背光照明装置以及衬底定位装置实现回转运动；具有可拆卸功能的底座，用于固定衬底定位装置以及与检测平台的连接。本实用新型与现有的装置相比，不仅可实现对多种规格的衬底晶片精确定位和回转运动用于全场扫描测试，又可以提供多种均匀照明的背光光源，满足不同缺陷检测时的照明需求。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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