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公开(公告)号：CN112904479A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN202110114732.3
申请日：2021-01-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种基于反向Fano耦合微环结构的光开关器件，属于集成光子器件领域。本发明提出的光开关是由两个环形波导和两个直波导组成，介于两个环中间的直波导的两端分别作为第一输入端和第一输出端，底部直波导的两端分别作为第二输出端和第二输入端。利用两个环形波导耦合产生的反向Fano谱线，同时具备带边陡峭和大带宽的优点。并且通过改变直波导的宽度可以实现左右两种反向Fano谱线，通过改变第二环形波导的折射率或者改变两个环形波导的折射率，在第一输出端和第二输出端都可以实现开和关状态的切换，适用于不同的应用场景，具有大宽带、低插损、低功耗的优势。
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公开(公告)号：CN117092868A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202311105273.8
申请日：2023-08-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02F1/313
Abstract: 本发明涉及集成光子器件领域，公开了一种相变材料辅助的光开关、光开关阵列。该相变材料辅助的光开关包括两条相互平行设置的耦合波导和相变材料；将两条耦合波导形成的整体结构沿着两条耦合波导的平行方向划分为第一对称耦合区域，移相区域和第二对称耦合区域，其中第一对称耦合区域与第二对称耦合区域基于移相区域左右镜像对称设置；且，相变材料沉积在其中一条耦合波导中对应移相区域的波导段。本发明首次采用相变材料辅助的具有移相区域的非对称定向耦合结构的设计，并通过改变相变材料相变态来改变中心移相区域的相移量，使得非对称定向耦合结构整体耦合系数发生改变，以此实现开关路由的效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116500857A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310477875.X
申请日：2023-04-28
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明涉及一种薄膜铌酸锂光子器件的制备方法，涉及微纳加工领域。包括：在薄膜铌酸锂表面旋涂光刻胶，使用光刻机进行曝光并显影；通过电子束蒸发或磁控溅射工艺先后沉积形成一层钛膜和一层铬膜；湿法去除光刻胶，剥离得到由钛与铬构成的金属硬掩模；借助干法刻蚀，去除掩模未遮蔽区域的铌酸锂材料；湿法腐蚀金属掩模。本发明的硬掩模采用了钛与铬的双层薄膜结构，可以有效避免铬掩模碎裂的情况，同时，在器件图形密集区可以实现更好的剥离效果，有效避免剥离过程中掩模碎屑对掩模结构的损伤，提升刻蚀掩模的质量，改善光子器件性能。
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公开(公告)号：CN112859247B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202110072095.8
申请日：2021-01-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02B6/293
Abstract: 本发明公开了一种耦合双环谐振器及快慢光调节方法，属于光通信领域。耦合双环谐振器包括有两个微环谐振腔及两条直波导。其中两个微环谐振腔相互耦合，两条直波导耦合在同一个第一微环上，且不与第二微环发生耦合。本发明能够使输入光在系统内传输时通过改变一个谐振腔的折射率来操纵另外一个谐振腔内的谐振模式，使得相位和群速度发生改变，从而实现快慢光的连续调节。同时第二微环内光的谐振波长保持不变，谐振模式的光带宽会展宽或压缩。通过调节折射率移动第一微环的谐振波长，使得两个微环之间的耦合增大或者减小，不需要严格控制光程的变化，增大了容差。
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公开(公告)号：CN113866881B
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202111101225.2
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种模斑转换器，采用基于超表面结构的菲涅尔微透镜，其中第一超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度相同、宽度不同的亚波长凹槽，第二超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度不同、宽度相同的亚波长凹槽；两种超表面结构组合使用能减小器件尺寸，同时也避免刻蚀极小线宽的步骤，从而降低了工艺要求；能够使单模输入光在维持其模式阶次的情况下改变其模场宽度。可以把宽模斑基模光束变成柱面波实现聚束的功能或者把柱面波变成宽模斑的基模光束实现扩束的功能。宽模斑基模的模场可以通过增加菲涅尔微透镜的周期数而加宽，可以满足多种应用场景的实际需要。本发明可以实现分束器，准直器等功能，适用于不同的应用场景。
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公开(公告)号：CN113866881A
公开(公告)日：2021-12-31
申请号：CN202111101225.2
申请日：2021-09-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种模斑转换器，采用基于超表面结构的菲涅尔微透镜，其中第一超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度相同、宽度不同的亚波长凹槽，第二超表面结构包括在波导材料上刻蚀的多个长度不同、宽度相同的亚波长凹槽；两种超表面结构组合使用能减小器件尺寸，同时也避免刻蚀极小线宽的步骤，从而降低了工艺要求；能够使单模输入光在维持其模式阶次的情况下改变其模场宽度。可以把宽模斑基模光束变成柱面波实现聚束的功能或者把柱面波变成宽模斑的基模光束实现扩束的功能。宽模斑基模的模场可以通过增加菲涅尔微透镜的周期数而加宽，可以满足多种应用场景的实际需要。本发明可以实现分束器，准直器等功能，适用于不同的应用场景。
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公开(公告)号：CN113534564A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202110796705.9
申请日：2021-07-14
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种提升光学相控阵扫描角度的方法及器件，该方法包括：分束步骤：将输入光束分为等功率的两路光束；纵向方向光束扫描步骤：首先控制这两路光束在输出端干涉相长，从其中一路输出；然后对等功率的多路光束进行光程补偿，使得各路光束在衍射输出前的初始相位相同；最后通过改变相邻光路间的相位差，实现出射光束在某一纵向角度下的横向扫描；纵向反方向光束扫描步骤：控制这两路光束在同一个输出端干涉相消，从另一路输出；重复上述步骤，实现出射光束在纵向反方向下的扫描。通过本发明的方法及系统，可以实现二维大角度扫描，将纵向扫描角度增加了一倍；同时器件控制系统简单，体积小，易于片上系统集成，适合大规模生产和应用。
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