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公开(公告)号：CN102166685B
公开(公告)日：2013-12-25
申请号：CN201110106793.1
申请日：2011-04-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种三坐标振镜扫描式激光加工头，其包括XY两轴激光振镜系统、装夹机构、Z轴移动机构、激光位移传感器和控制系统，Z轴移动机构包括一固定部件和一运动部件，装夹机构固定安装在Z轴移动机构的固定部件上，XY两轴激光振镜系统和激光位移传感器均固定安装在Z轴移动机构的运动部件上，激光位移传感器、Z轴移动机构和XY两轴激光振镜系统均与控制系统电连接。该激光加工头具备动态焦距调节功能且结构独立、紧凑，其标准数控机床拉刀接口设计使其与三轴、五轴等商业化多轴联动数控机床的组合加工非常简易，大大提高了工艺柔性，可以方便的将常规的多轴联动数控机床改变成振镜扫描式激光加工机床，而功能兼容，因此具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN101786200B
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201010115968.0
申请日：2010-02-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/00
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面上的投影式激光刻蚀方法，该方法利用激光振镜和三轴坐标定位技术相结合，采用分块平行投影和高度映射原理，基于自由曲面零件的离散点云模型直接进行表面激光精密刻蚀加工。该方法利用激光加工在聚焦镜焦深范围内光斑形状尺寸、能量分布等加工特性保持不变的特点，将自由曲面转化为若干平面子块的加工，即便采用现有的激光刻蚀加工工艺也可以大幅度提高自由曲面高精度加工时的效率。激光束的聚焦光斑可达几个微米直径，比传统刀具加工部位的尺寸小很多，通过控制激光能量特性，可实现10微米左右的加工精度。该方法能够在满足自由曲面表面图案刻蚀加工的高精度、高效率要求前提下，实现自由曲面的高可靠性、柔性化加工。
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公开(公告)号：CN102151984A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110048935.3
申请日：2011-03-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/00
Abstract: 本发明提供了一种适用于复杂曲面的激光加工方法，通过采用对复杂曲面划分曲面片并建立各曲面片坐标系的处理步骤，使得在后续的划分子块和加工图形平行投影处理步骤中，可按照各曲面片坐标系分别处理，从而有效解决了现有技术只能采用单一坐标系进行整体投影而对背靠激光入射方向的加工型面或者与光轴方向平行的陡直面无法加工的局限，并且提高了加工效率、拓展了加工适用范围。本发明还提供了一种激光加工装置，采用具备两轴激光振镜和Z轴移动机构的“2+1轴”的激光加工头结构，解决了现有系统必须依赖三轴机床的问题，使得加工单元独立、紧凑、易拆装，可以将常规的五轴联动铣床改变成激光刻蚀加工机床，而功能兼容，具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN100405539C
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：CN200610019740.5
申请日：2006-07-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/00 , H01L21/768 , H01L21/288 , H01L21/3205
Abstract: 本发明公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔及由其构成的装置。微细笔的结构为：减压装置位于笔帽内，并与位于笔帽顶部的施压气管相连，笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔，储料腔用于储存需要沉积的物料，笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过两个并联的压力控制装置与气源连接，并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动，构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件，还可用于制作光电子元器件，如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性，可将聚合物材料置于微细笔内，在基板上直写出光波导。本发明装置布线速度快，线宽范围大，制造和运行成本低，布线速度范围为2mm/s～15mm/s，线宽范围为0.06mm～2mm。
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公开(公告)号：CN102166685A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110106793.1
申请日：2011-04-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明提供了一种三坐标振镜扫描式激光加工头，其包括XY两轴激光振镜系统、装夹机构、Z轴移动机构、激光位移传感器和控制系统，Z轴移动机构包括一固定部件和一运动部件，装夹机构固定安装在Z轴移动机构的固定部件上，XY两轴激光振镜系统和激光位移传感器均固定安装在Z轴移动机构的运动部件上，激光位移传感器、Z轴移动机构和XY两轴激光振镜系统均与控制系统电连接。该激光加工头具备动态焦距调节功能且结构独立、紧凑，其标准数控机床拉刀接口设计使其与三轴、五轴等商业化多轴联动数控机床的组合加工非常简易，大大提高了工艺柔性，可以方便的将常规的多轴联动数控机床改变成振镜扫描式激光加工机床，而功能兼容，因此具有重要的实用价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102151984B
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201110048935.3
申请日：2011-03-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/082
Abstract: 本发明提供了一种适用于复杂曲面的激光加工方法，通过采用对复杂曲面划分曲面片并建立各曲面片坐标系的处理步骤，使得在后续的划分子块和加工图形平行投影处理步骤中，可按照各曲面片坐标系分别处理，从而有效解决了现有技术只能采用单一坐标系进行整体投影而对背靠激光入射方向的加工型面或者与光轴方向平行的陡直面无法加工的局限，并且提高了加工效率、拓展了加工适用范围。本发明还提供了一种激光加工装置，采用具备两轴激光振镜和Z轴移动机构的“2+1轴”的激光加工头结构，解决了现有系统必须依赖三轴机床的问题，使得加工单元独立、紧凑、易拆装，可以将常规的五轴联动铣床改变成激光刻蚀加工机床，而功能兼容，具有重要的实用价值。
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公开(公告)号：CN101587074A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910062846.7
申请日：2009-06-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于激光探测技术领域，具体为一种激光探针微区成分分析仪。其结构为：激光器，扩束镜和第一全反射镜依次位于同一水平光路上；第一全反射镜的反射面与水平光路的夹角为45度；工业CCD位于第一全反射镜的上方，工业CCD和第一聚焦物镜自上而下依次放置且光轴重合；三维工作台的工作台面位于第一聚焦物镜的下方；全反射镜活动安装在样品的反射光路上，光纤探头位于全反射镜的反射光路上；工业CCD通过光纤与带有显示器的计算机连接，光纤探头与光栅光谱仪、增强型CCD和计算机连接。该激光探针仪能对物质微区元素进行无损探测，能满足各种材料及尺寸的器件的快速元素成分定性分析，还可以针对样品微区的微量甚至痕量元素进行高精度的定量分析。
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公开(公告)号：CN101394710A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810197225.5
申请日：2008-10-10
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种三维模塑互连器件导电线路制作和修复方法，步骤为：①按照导电线路的设计图形，将导电浆料在模塑结构件表面上沉积0.1～50微米厚度的预置浆料层；②烘干或晾干导电浆料预置层，去除其中的有机溶剂；③利用激光束辐照预置浆料层，使导电浆料中的金属导电颗粒和塑料基体表面5～500μm的薄层发生熔化和混合，导电浆料中的金属导电颗粒埋植在基体表面，得到导电图形；④在上述导电图形表面进行化学镀2～10μm的铜，然后再进行化学镀1～3μm的耐腐蚀金属。本发明能够在各种塑料基材的三维模塑结构件表面快速直接地制备或修复各种复杂的导电线路，对基体材料无可镀性要求，对模塑成型工艺无特殊要求，工艺简单，环境友好，成本低，柔性程度高。
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公开(公告)号：CN200950436Y
公开(公告)日：2007-09-19
申请号：CN200620098191.0
申请日：2006-07-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/00 , H01L21/768 , H01L21/288 , H01L21/3205
Abstract: 本实用新型公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔。其结构为：减压装置位于笔帽内，并与位于笔帽顶部的施压气管相连，笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔，储料腔用于储存需要沉积的物料，笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过二个并联的压力控制装置与气源连接，并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动，构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件，还可用于制作光电子元器件，如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性，可将聚合物材料置于微细笔内，在基板上直写出光波导。本实用新型装置布线速度快，线宽范围大，制造和运行成本低，布线速度范围为2mm/s～15mm/s，线宽范围为0.06mm～2mm。
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公开(公告)号：CN201881047U
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201020587674.3
申请日：2010-11-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本实用新型提供公开了一种多轴数控激光加工装置，结构为：直线导轨安装在固定框架基体的横梁上，悬臂安装在直线导轨上，伺服电机安装在悬臂中部，伺服电机通过传动机构带动悬臂在直线导轨上直线移动；多关节机器人倒挂安装在悬臂的末端，多关节机器人为三轴以上的工业机器人；多关节机器人的最后一个关节末端上安装有激光加工头；激光加工头通过光纤与激光器相连；激光加工头和激光器又通过冷却管分别与冷却机相连；工作台位于激光加工头的下方；控制器通过控制线分别与多关节机器人和悬臂连接。该装置简化了激光加工数控机床的结构，降低数控编程的难度，并更大程度地提高加工零件尺寸范围。
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