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公开(公告)号：CN102915819A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210377134.6
申请日：2012-10-08
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H01C17/242 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及一种激光有源微调承片台，其特征在于它包括一个底座（5），底座（5）上连接一个支撑筒（4），支撑筒上设有螺孔，其中设有相配合的紧定螺钉（6），设置一个面板（1），面板（1）下面连接有支柱（3），支柱（3）与支撑筒（4）的内孔间隙配合。激光微调承片台放进激光机腔内，把测试台PCB面板固定在面板（1）上，安装好待有源调阻电路。然后通过调整面板（1）中的支柱（3）高度，微调整个承片台的高度（Z轴方向），在符合激光焦距使用要求后，用紧固螺栓锁定支柱后即可开始调阻。本发明的优点：使批量调阻操作更可靠、更方便，聚焦准确，有源调阻参数更精确。
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