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公开(公告)号:CN111261474A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN202010077416.9
申请日:2020-01-29
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
摘要: 本发明涉及光电倍增管技术领域,提出一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置,包括主机台;底板;可移除地安装到底板上的钟罩;设置在底板上的升降机构;设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置,被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台的光电倍增管玻璃球壳从侧部、顶部以及中间间隙位置进行加热;控制单元,被设置用于控制所述加热装置的功率。本发明提供的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置与加热方法,可同时进行三只或者更多光电倍增管的制作,解决了光电倍增管管壳在排气装置中由于位置分布不均匀导致的温度均匀性差的问题,提高加热和工作效率。
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公开(公告)号:CN109321887A
公开(公告)日:2019-02-12
申请号:CN201811375130.8
申请日:2018-11-19
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
CPC分类号: C23C14/24 , C23C14/547
摘要: 本发明提供一种利用多点反射率监控制备大尺寸均匀薄膜的装置和方法,适用于在大尺寸基底上利用多点反射率监控的方法制备大尺寸均匀薄膜,通过对多个监测位点的反射率的实时监控,确定反射率的实时的变化率,在通过各个位点的对比来控制蒸镀源对薄弱的位置进行补充,结合最初设定的预设值以完成整个膜层的均匀性蒸镀。相比于传统的采取厚度监控的方式进行镀膜,本发明的采用多点反射率监控制备大尺寸均匀薄的装置和方法在镀膜过程中更直接的监控了大尺寸产品各个位置的反射率变化,可解决单点测量无法在制造过程中评估大尺寸产品均匀性的问题,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN106449333A
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:CN201611126855.4
申请日:2016-12-09
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
IPC分类号: H01J9/26
CPC分类号: H01J9/263
摘要: 本发明提出一种基于阴极转移设备的大尺寸铟封盘封接方法,包括以下步骤:步骤1:合理设计上可伐盘和下可伐盘结构;步骤2:合理设计下可伐盘厚度;步骤3:对上可伐盘进行镀膜处理;步骤4:合理设计铟丝尺寸;步骤5:化铟;步骤6:基于阴极转移设备进行上可伐盘和下可伐盘封接。20吋光电倍增管铟封盘直径达到145mm,铟封槽直径120mm,属于大尺寸铟封技术,利用本发明方法可有效解决大尺寸铟封盘铟封出现封接不牢、封接漏气、微漏、慢漏等问题以及改进铟封盘的平整度、光洁度、上铟封盘镀膜工艺、上下铟封盘对接精度等,提高光电倍增管阴极坪曲线、前后脉冲比例以及寿命等关键性能参数。
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公开(公告)号:CN109321887B
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN201811375130.8
申请日:2018-11-19
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
摘要: 本发明提供一种利用多点反射率监控制备大尺寸均匀薄膜的装置和方法,适用于在大尺寸基底上利用多点反射率监控的方法制备大尺寸均匀薄膜,通过对多个监测位点的反射率的实时监控,确定反射率的实时的变化率,在通过各个位点的对比来控制蒸镀源对薄弱的位置进行补充,结合最初设定的预设值以完成整个膜层的均匀性蒸镀。相比于传统的采取厚度监控的方式进行镀膜,本发明的采用多点反射率监控制备大尺寸均匀薄的装置和方法在镀膜过程中更直接的监控了大尺寸产品各个位置的反射率变化,可解决单点测量无法在制造过程中评估大尺寸产品均匀性的问题,提高生产效率。
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公开(公告)号:CN111463090A
公开(公告)日:2020-07-28
申请号:CN202010388694.6
申请日:2020-05-09
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
摘要: 本发明提供一种用于大尺寸细口径光电倍增管精准封接的装置,包括:可公转的旋转台,石英支撑环,一对半圆形夹具,每个半圆形夹具的底部设置有沿着圆弧形方向的导轨,光电倍增管腔室,设置有MCP组件支撑筒、传动丝杠、导向杆和MCP底座,MCP组件,位于光电倍增管腔室的上部并通过连接杆和下可伐盘安装到MCP底座上,传动丝杠通过步进电机带动而旋转并驱动MCP组件升降运动进入玻璃壳体内部,通过导向杆进行导向,两个传动丝杠和导向杆成四等分地分布在光电倍增管腔室内,使其传动上升至旋转台底部的半圆形夹具位置,并进入半圆形夹具底部的导轨内,通过导轨作用下弹簧预顶组件,向进行微调偏移,使其顺利进入半圆形夹具,最后完成上下可伐盘封接。
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公开(公告)号:CN109755081B
公开(公告)日:2020-07-17
申请号:CN201910011850.4
申请日:2019-01-07
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
IPC分类号: H01J9/12
摘要: 本发明提供一种用于高性能碱金属锑化物光电阴极制作的锑电流自动调控方法,包括:碱金属蒸镀、锑蒸镀、光电流曲线拟合与预测、光电流曲线斜率判断和锑蒸发电流调整。适于碱金属和锑同时蒸镀阶段,首先对光电流曲线进行拟合,然后预测未来固定时间范围内的光电流曲线斜率是否达到期望值,再判断实际光电流曲线斜率是否达到期望值,如果两者任一个达到期望值,则对实际光电流曲线斜率是否达到指定值进行判断,最终根据判断条件进行锑蒸发电流调整,重复上述过程直到光电流曲线斜率达到指定角度结束。利用本发明可解决碱金属锑化物光电阴极制作过程中由于锑出量不可控导致的碱金属与锑比例失调的问题,提高碱金属锑化物光电阴极光电发射性能。
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公开(公告)号:CN111389798A
公开(公告)日:2020-07-10
申请号:CN202010246691.9
申请日:2020-03-31
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
摘要: 本发明提供一种用于大尺寸光电倍增管异形玻璃壳的自动清洗装置,包括外壳以及由外壳限定的清洗腔体。外壳的顶面设置有储液箱,储液箱具有至少三个箱体。清洗腔体中设置有用于对玻璃壳的内外表面进行清洗的喷淋机构,与储液箱内部的箱体连通,并可进行切换连通。外壳的至少一个侧壁上设置有出风口,与外壳上设置的加热装置连通,用于向清洗腔体通入加热后的保护气体。清洗腔体的底部还设置有从底部向顶部伸展的、用于支撑玻璃壳的支撑机构,支撑机构被设置成可在竖直方向上进行高度调节,并可改变支撑半径以适应不同的尺寸的玻璃壳。利用本发明的自动清洗装置可实现对不同玻璃壳的适应并实现全方位、角度的无死角清洗。
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公开(公告)号:CN107560830B
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201710743688.6
申请日:2017-08-25
申请人: 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
摘要: 本发明提供本一种大面积微通道板型光电倍增管测试装置,该装置包括光源系统、电子学系统、暗室和计算机。光源系统通过积分球和一分多路光纤,将一个光源发出的光,均匀输送到多个光源转化装置,光源转化装置接收光纤的点光源,输出均匀的面光源,面光源照亮大尺寸光电倍增的全部阴极面;结合电子学系统和计算机测试软件实现同时测试多个大尺寸光电倍增管的整管性能。本发明能很好的完成大尺寸光电倍增管整管性能的批量测试工作,提高大尺寸光电倍增管测试环境与使用环境的符合性,以及批量测试效率,弥补点光源测试系统的局限性和基于点光源的扫描测试系统的效率低。
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公开(公告)号:CN106571283B
公开(公告)日:2018-10-26
申请号:CN201610857529.4
申请日:2016-09-28
申请人: 北方夜视技术股份有限公司
摘要: 本发明提供一种用于光电倍增管阴极制备的大面积均匀镀膜方法、装置、系统以及光电倍增管的光电阴极及其制备方法。该装置包括:蒸发源、扩张机构、蒸发电极、液压机构和基底。蒸发源为固体金属材料,扩张机构可以在收缩时可以伸入开口较小的特殊形状的大面积待镀膜样品,伸入待镀开口后张开,将蒸发源均匀分散到各个位置,液压机构负责给扩张机构提供打开或收缩的动力,蒸发电极与蒸发源相连,提供蒸发电流。整个镀膜在真空系统提供的真空环境下进行。利用本发明可解决大尺寸不规则的内表面镀膜时均匀性较差的问题,提出了一种在玻壳内表面镀膜时采用多点蒸发的方法,解决镀膜均匀性问题。
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公开(公告)号:CN107560830A
公开(公告)日:2018-01-09
申请号:CN201710743688.6
申请日:2017-08-25
申请人: 北方夜视技术股份有限公司 , 中国科学院高能物理研究所
摘要: 本发明提供本一种大面积微通道板型光电倍增管测试装置,该装置包括光源系统、电子学系统、暗室和计算机。光源系统通过积分球和一分多路光纤,将一个光源发出的光,均匀输送到多个光源转化装置,光源转化装置接收光纤的点光源,输出均匀的面光源,面光源照亮大尺寸光电倍增的全部阴极面;结合电子学系统和计算机测试软件实现同时测试多个大尺寸光电倍增管的整管性能。本发明能很好的完成大尺寸光电倍增管整管性能的批量测试工作,提高大尺寸光电倍增管测试环境与使用环境的符合性,以及批量测试效率,弥补点光源测试系统的局限性和基于点光源的扫描测试系统的效率低。
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