用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置
摘要:
本发明涉及光电倍增管技术领域,提出一种用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置,包括主机台;底板;可移除地安装到底板上的钟罩;设置在底板上的升降机构;设置在所述钟罩形成的密闭腔体内的加热装置,被设置成用于对夹持在三工位旋转工作台的光电倍增管玻璃球壳从侧部、顶部以及中间间隙位置进行加热;控制单元,被设置用于控制所述加热装置的功率。本发明提供的用于微通道板型光电倍增管制造的高温度均匀性的排气装置与加热方法,可同时进行三只或者更多光电倍增管的制作,解决了光电倍增管管壳在排气装置中由于位置分布不均匀导致的温度均匀性差的问题,提高加热和工作效率。
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