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公开(公告)号:CN108857689B
公开(公告)日:2019-08-30
申请号:CN201810738698.5
申请日:2018-07-06
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: B24B9/06
Abstract: 本发明实施例提供一种精密石英晶体谐振器的倒边倒弧加工的装置,包括:加工平台;设于所述加工平台上的承载晶片的研磨盘;驱动所述研磨盘转动的驱动机构;扣压固定在所述晶片上的晶片扣,所述晶片扣包括沉孔;以及按压在所述晶片扣上的按压机构;其中,所述按压机构包括可插入所述沉孔与所述晶片扣插接固定的顶针以及驱动所述顶针转动的第一转动机构。本发明提供一种精密石英晶体谐振器的倒边倒弧加工的装置,能够保证晶片研磨曲面稳定,保证设计符合性及外形对称性。并且可调节控制支撑杆、顶针以及晶片水平面等三者之间的相互垂直及固定关系,实现了晶片在研磨过程中始终保持研磨重心不变。
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公开(公告)号:CN105978525B
公开(公告)日:2018-09-25
申请号:CN201610268746.X
申请日:2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本申请公开了一种石英谐振器,包括:通过石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离;和/或,石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离,使得石英谐振器中石英晶片与上下电极上的金属膜分离,有效地解决了由于石英谐振器中上、下电极对应的金属膜被附着在石英晶片表面使得金属膜内表面和石英晶体外表面形成内应力进而该内应力引发石英谐振器的振荡频率发生漂移的问题,提升石英谐振器输出振荡频率的稳定性。
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公开(公告)号:CN107860463A
公开(公告)日:2018-03-30
申请号:CN201710873939.2
申请日:2017-09-25
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: G01H11/00
CPC classification number: G01H11/00
Abstract: 本发明提供了一种晶体振荡器相位噪声振动监测装置和方法,解决传统振动试验考核方法中无法真实反映产品在振动环境下的工作状态的问题。本申请实施例的监测装置包括:底座、监测板、固定板、盖板;监测板夹装在所述底座和所述固定板之间;固定板上包含开孔、电极;盖板覆盖于开孔上表面,用于固定晶体振荡器;监测板上包含个活动连接器和印刷电路线;活动连接器用于安放晶体振荡器,包含电源端、振荡信号输出端;印刷电路线用于连接振荡信号输出端和电极。本申请的实施例还提供一种监测方法。本发明的方案实现批量监测动态工作状态下的晶体振荡器相位噪声。
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公开(公告)号:CN105958961A
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201610269557.4
申请日:2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种石英谐振器的制作方法,包括:通过将上下电极与石英晶片悬离,消除金属膜附着在石英晶片表面所产生的内应力,同时也排除了由于蒸镀或溅镀时使用的真空油泵散发的油气对石英晶片产生污染引起的石英谐振器输出频率不稳定。同时在封装是采用真空技术,将石英晶片内部的水、氧化物等杂质排出,有效降低外界环境对石英晶片的影响,提高石英谐振器输出频率的稳定性。
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公开(公告)号:CN114497349A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111659811.9
申请日:2021-12-30
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: H01L41/332
Abstract: 本发明公开了一种用于石英晶体的等离子体刻蚀方法。该刻蚀方法包括:对衬底和掩蔽块进行选择,并将所述衬底设置于所述刻蚀腔内;将待刻蚀的石英晶体放置于所述衬底上,并根据需要将所述掩蔽块放置于所述石英晶体上;根据所述石英晶体的刻蚀深度需求,在所述刻蚀机上对刻蚀气体的种类、反应气体的体积混合比、刻蚀气体的流速、刻蚀腔的压强以及等离子体的功率进行控制,此后,开启所述刻蚀机以对所述石英晶体进行刻蚀。本发明不仅能够对石英晶体进行整体或者局部刻蚀,还能够保证刻蚀得到的石英晶体的精度和强度。
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公开(公告)号:CN106849900B
公开(公告)日:2020-10-02
申请号:CN201611161924.5
申请日:2016-12-15
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: H03H9/05
Abstract: 本申请公开了一种用于安装石英晶片的基座,解决传统石英晶片在高冲击环境下易与基座脱离的问题。所述用于安装石英晶片的基座包括缓冲结构,为L形,内侧环绕晶片点胶胶点90度弧长,外侧与所述台阶衔接。本申请还公开一种石英晶片安装方法,用于本发明用于安装石英晶片的基座中带有四个缓冲结构的实施例,包含以下步骤:在基座内部四个角区域中,两个电极位置和两个非电极区域进行点胶;将石英晶片压置于导电胶上;在四个导电胶位置隔着晶片再次点胶。本发明在出现高冲击环境时,若晶片在冲击方向出现微位移,缓冲装置发生作用,对导电胶与晶片进行限定,阻止微位移继续增大,防止晶片与导电胶脱离,达到缓冲高冲击的作用。
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公开(公告)号:CN107991561A
公开(公告)日:2018-05-04
申请号:CN201711226436.2
申请日:2017-11-29
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: G01R31/00
Abstract: 本发明公开了一种用于石英晶体谐振器的老化性能测试装置及方法;所述用于石英晶体谐振器的老化性能测试装置包括底端开口的壳体;位于所述壳体底端的输出转接基座;位于所述壳体内且与所述输出转接基座结合固定的信号处理及调试功能通用底板;及位于所述壳体内且位于所述信号处理及调试功能通用底板上方的振荡及加热控温功能适配插板。所述老化性能测试方法包括将石英晶体谐振器插接在振荡及加热控温功能适配插板上;将振荡及加热控温功能适配插板插接在信号处理及调试功能通用底板上;将插装完成的老化性能测试装置装入老化测试系统中并加电调试;进行老化性能测试;卸载石英晶体谐振器。本发明解决了现有方法破坏产品形貌、产品适配性差等问题。
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公开(公告)号:CN107508570A
公开(公告)日:2017-12-22
申请号:CN201710778642.8
申请日:2017-09-01
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
CPC classification number: H03H3/02 , H03H9/0542 , H03H9/10 , H03H9/13 , H03H9/19
Abstract: 本发明公开一种用于石英晶片的粘接方法,该方法包括以下步骤:准备粘接剂、清洗待粘接物以及粘接。本发明通过对2个电极位置和2个非电极区域的预设位置进行点胶,增加了点胶位置,使其具有粘接强度大、结构固定紧密、承受环境冲击量级大等特点,能够满足石英晶片在高操作环境下的使用要求。并且通过两次点胶工艺,节约了单面石英晶片上的空间的同时加强了石英晶片粘接的牢固性,便于后期的工艺封装。
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公开(公告)号:CN105978525A
公开(公告)日:2016-09-28
申请号:CN201610268746.X
申请日:2016-04-27
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
Abstract: 本申请公开了一种石英谐振器,包括:通过石英晶片与镀有金属膜的下电极之间悬离;和/或,石英晶片与镀有金属膜的上电极之间悬离,使得石英谐振器中石英晶片与上下电极上的金属膜分离,有效地解决了由于石英谐振器中上、下电极对应的金属膜被附着在石英晶片表面使得金属膜内表面和石英晶体外表面形成内应力进而该内应力引发石英谐振器的振荡频率发生漂移的问题,提升石英谐振器输出振荡频率的稳定性。
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公开(公告)号:CN105522281A
公开(公告)日:2016-04-27
申请号:CN201610018285.0
申请日:2016-01-12
Applicant: 北京无线电计量测试研究所
IPC: B23K26/362 , B23K26/0622 , B23K26/046 , B23K26/402 , B23K26/70
CPC classification number: B23K26/046
Abstract: 本发明公开一种石英晶体的激光刻蚀加工方法,具体包括如下步骤:选择激光、准备控制软件、设计加工图纸、激光刻蚀、加工后处理和检测,同时,结合对各步骤条件的限定,设计出了一种加工石英晶体的方法,该加工方法可有效的将石英晶体加工成各种形状,且可对石英晶体进行减薄加工,减薄后的石英晶体厚度薄,对应的基频频率高,且加工后的石英晶体强度好,该加工方法简单,加工精度高,对石英晶体加工的尺寸精度可控制在±5μm内。
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