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公开(公告)号：CN102976263B
公开(公告)日：2015-04-15
申请号：CN201210533530.3
申请日：2012-12-11
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式多轴力传感器的制备方法。本发明采用倾斜角度注入的方法，在悬臂梁的垂直的侧面上加工压敏电阻，在垂直的侧面和水平的正面上形成一体的压敏电阻，从而能够同时测量垂直方向和水平方向的压力。本发明的方法制备的压力传感器，在系统体积比较小的情况下可以测量较精确的多方向的微作用力，提高了使用过程中传感器的测量信号的稳定性及测量的可靠性；是一种体积相对较小、灵敏度高的传感器，在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN102963864A
公开(公告)日：2013-03-13
申请号：CN201210532250.0
申请日：2012-12-11
Applicant: 北京大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种基于BCB胶的晶片级微空腔的密封方法。本发明采用先在半导体晶片上旋涂BCB胶及软烘，然后旋涂一定厚度的光刻胶，之后利用光刻胶作为掩膜分别刻蚀BCB胶和微空腔，最后将具有微空腔的半导体晶片与MEMS器件的器件晶片进行对准键合。本发明采用BCB胶作粘附剂，平整高、键合温度低，工艺实现方便，具有与集成电路兼容的特性；并采用光刻胶作为刻蚀BCB胶和微空腔的软掩膜，使得BCB胶平整性好，在键合过程中受力均匀，从而能有效降低BCB胶的形变，避免BCB胶流入腔体和粘附在MEMS器件上，提高了MEMS器件可靠性。
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公开(公告)号：CN118039415A
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202410169559.0
申请日：2024-01-30
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种小尺寸微冲击阵列阈值开关及其制备方法。本发明的微冲击阵列阈值开关包括：衬底层、结构层和顶帽层，其中结构层设计了多个不同量程的开关，且每种开关的动电极结构相互独立，闭合状态互不影响，多个开关动电极通过结构层的边框连在一起，因此可共用一个接口进行动电极引出，同时，在开关纵、横方向上都设计了限位结构，软限位和硬限位结构会先后起到过载保护的作用。阵列阈值开关结构中分别设计了纵向和横向限位，防止了因加速度过大造成结构破坏而失效。与传统的微冲击开关相比，含有多个不同量程的开关，对应多个触发阈值，且制作工艺简单，使制作出的阵列阈值开关具有多阈值触发、尺寸小、抗过载能力强等特点。
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公开(公告)号：CN110021497B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201910411167.X
申请日：2019-05-17
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种万向导通微冲击开关及其制备方法。本发明的微冲击开关包括：可动电极，水平固定电极和竖直固定电极；可动电极进一步包括质量块、质量块弹簧、触点弹簧和触点；水平固定电极包括悬臂梁，锚点和衬底，竖直固定电极上镀有金属电极和引线。可动电极通过水平触点和竖直触点可使开关可以在水平和竖直方向均能导通。可动电极上的两个质量块分别被质量块弹簧环绕，以便最大限度地提高空间利用率，减小器件的结构尺寸。水平固定电极的悬臂梁与可动电极上的悬臂梁都可以增加质量块在冲击作用下的位移，减小反弹效应，延长开关的接触时间，提高器件的可靠性。本发明在汽车，家电，机电行业具有广泛的应用前景。
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