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公开(公告)号：CN1920094A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610125620.3
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: B05D1/02 , C23C24/04 , H01L41/314
Abstract: 一种膜形成装置，具有：成膜室，用于进行成膜；喷射机构，通过在该成膜室内向基板喷射含材料粒子的气溶胶，在该基板上形成由前述材料粒子构成的膜；测量室，与前述成膜室连通；测量机构，测量前述测量室内的前述膜的厚度；压力调整机构，与前述成膜室及前述测量室连接，控制该成膜室及测量室的内压；传送带，在前述成膜室和前述测量室之间传送前述基板；以及隔断部，隔断前述成膜室和前述测量室。由此可保持测量室的内部清洁，不受气溶胶的污染，维持测量精度，在成膜工艺过程中，简单而又精确地测量膜厚，并向成膜条件反馈。
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公开(公告)号：CN1721184A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510083165.0
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , H01L41/0478 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种制造工序简单，并可降低成本，同时实现动作的稳定化的压电致动器和喷墨头以及其制造方法。在金属板(2)和压电层(4)之间设置有兼扩散防止层的内侧电极(3)。采用这种结构，因为可以在一个工序中形成电极兼扩散防止层的层，因此制造工序简单，可以降低制造成本。此外，若形成电极和扩散防止层为二个层的结构，则这些层的物理特性对金属板的弯曲特性存在较大影响。由于只使用电极兼扩散防止层的一个层，所以能够使压电致动器的动作稳定。
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公开(公告)号：CN1919607B
公开(公告)日：2012-06-13
申请号：CN200610125618.6
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B41J2/16
CPC classification number: C23C24/04 , B41J2/161 , B41J2/164 , C04B35/111 , C04B35/491 , C04B35/6262 , C04B35/62645 , C04B2235/3203 , C04B2235/3217 , C04B2235/3249 , C04B2235/3409 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6567 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/43
Abstract: 本发明提供一种膜的制造方法，具有：加热处理工序，对陶瓷粒子进行加热处理；膜形成工序，在基板上喷涂含有上述加热处理工序后的上述陶瓷粒子的气溶胶，使该陶瓷粒子附着在上述基板上，从而形成膜；和退火处理工序，对上述膜进行退火处理，所以可预先使在退火处理工序中作为气化原因的水分或添加物气化而去除，从而能够避免退火处理工序中的膜的缺陷、破坏，而能够提供一种具有良好的压电特性的喷墨头用的压电致动器板。
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公开(公告)号：CN1920095B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200610125622.2
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
CPC classification number: B05D1/02 , B05B7/0012 , B05B12/36
Abstract: 本发明的成膜装置包括：成膜室，用于进行成膜；排气装置，与所述成膜室连接并将该成膜室内的气体排到外部；支架，设在所述成膜室内并保持被处理材料；喷嘴，设在所述成膜室内，具有形成狭缝状的喷出口，并且从所述喷出口向所述被处理材料喷射包含材料颗粒的气溶胶，从而在所述被处理材料上形成由所述材料颗粒构成的膜；和遮蔽部件，设在所述喷出口的长度方向的侧方并覆盖从该喷出口向所述被处理材料喷射的所述气溶胶的喷射流的侧方，因此，可抑制排气流引起的气溶胶流的紊乱，可均匀地形成膜。
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公开(公告)号：CN101041292B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200710088143.2
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , B41J2002/14459 , H01L41/0973 , H01L41/314
Abstract: 在生产用于喷墨头的压电促动器的方法中，在薄膜层中所包括的压电材料层是通过在与喷墨头的扫描方向相垂直的方向上相对于振动板移动成膜喷嘴的同时从成膜喷嘴向振动板喷射包含有压电材料颗粒和载气的气溶胶的AD方法在振动板上形成的。因此，即使当在通过AD方法所形成的薄膜层中发生厚度分布时，也可以尽可能地抑制因厚度分布引起的任何打印质量退化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100402293C
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200510083165.0
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1642 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , H01L41/0478 , H01L41/0973 , H01L41/29 , H01L41/314
Abstract: 本发明提供一种制造工序简单，并可降低成本，同时实现动作的稳定化的压电致动器和喷墨头以及其制造方法。在金属板(2)和压电层(4)之间设置有兼扩散防止层的内侧电极(3)。采用这种结构，因为可以在一个工序中形成电极兼扩散防止层的层，因此制造工序简单，可以降低制造成本。此外，若形成电极和扩散防止层为二个层的结构，则这些层的物理特性对金属板的弯曲特性存在较大影响。由于只使用电极兼扩散防止层的一个层，所以能够使压电致动器的动作稳定。
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公开(公告)号：CN101041292A
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200710088143.2
申请日：2007-03-20
Applicant: 兄弟工业株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1626 , B41J2/1646 , B41J2002/14266 , B41J2002/14419 , B41J2002/14459 , H01L41/0973 , H01L41/314
Abstract: 在生产用于喷墨头的压电促动器的方法中，在薄膜层中所包括的压电材料层是通过在与喷墨头的扫描方向相垂直的方向上相对于振动板移动成膜喷嘴的同时从成膜喷嘴向振动板喷射包含有压电材料颗粒和载气的气胶的AD方法在振动板上形成的。因此，即使当在通过AD方法所形成的薄膜层中发生厚度分布时，也可以尽可能地抑制因厚度分布引起的任何打印质量退化。
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公开(公告)号：CN1920096A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610125621.8
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C23C24/04
CPC classification number: B05B7/1486 , B05B7/0012 , B05B7/025 , B05B7/1404 , B05B7/1472 , C23C4/00 , C23C4/02 , C23C4/04 , C23C4/073 , C23C4/18 , C23C30/00
Abstract: 本发明的成膜装置包括：气溶胶产生部，将材料颗粒分散在载气中以产生气溶胶；喷嘴，内部设有供所述气溶胶流过的内部通路，该内部通路的一端构成用于接受所述气溶胶从所述气溶胶产生部的供给的供给口，另一端构成用于向被处理材料喷出所述气溶胶的喷出口；窄路，设在所述内部通路中且流路面积比其上游侧的流路面积窄；和冲撞部，设在所述窄路的下游侧且受到通过所述窄路的所述气溶胶流的冲撞，因此，凝集颗粒被粉碎，以微粒化的状态从喷嘴供给，可在被处理材料上形成薄的均匀的膜。
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公开(公告)号：CN1919607A
公开(公告)日：2007-02-28
申请号：CN200610125618.6
申请日：2006-08-24
Applicant: 兄弟工业株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: B41J2/16
CPC classification number: C23C24/04 , B41J2/161 , B41J2/164 , C04B35/111 , C04B35/491 , C04B35/6262 , C04B35/62645 , C04B2235/3203 , C04B2235/3217 , C04B2235/3249 , C04B2235/3409 , C04B2235/5436 , C04B2235/5445 , C04B2235/656 , C04B2235/6567 , H01L41/1876 , H01L41/314 , H01L41/43
Abstract: 本发明提供一种膜的制造方法，具有：加热处理工序，对陶瓷粒子进行加热处理；膜形成工序，在基板上喷涂含有上述加热处理工序后的上述陶瓷粒子的气溶胶，使该陶瓷粉末附着，从而形成膜；和退火处理工序，对上述膜进行退火处理，所以可预先使在退火处理工序中作为气化原因的水分或添加物气化而去除，从而能够避免退火处理工序中的膜的缺陷、破坏，而能够提供一种具有良好的压电特性的喷墨头用的压电致动器板。
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公开(公告)号：CN1721573A
公开(公告)日：2006-01-18
申请号：CN200510083164.6
申请日：2005-07-13
Applicant: 兄弟工业株式会社
Inventor： 安井基博
CPC classification number: H01L41/314 , Y10T29/49401
Abstract: 本发明的压电膜形成方法，具有第一移动工序、计测工序、计算工序、移位工序和第二移动工序。第一移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第一压电带。计测工序计测第一压电带的宽度方向的厚度分布。计算工序，根据由计测工序所计测的厚度分布，来计算移位距离。移位工序，沿着第二方向将喷嘴和基板相对移动计算的移位距离。第二移动工序，通过沿着第一方向相对移动吹出混合物的喷嘴和基板，形成一定宽度的沿着第一方向延伸的第二压电带。利用该方法，形成第一压电带的宽度方向的端部与第二压电带的宽度方向的端部重合、连续的压电膜。
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