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公开(公告)号：CN112063949A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011091354.3
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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公开(公告)号：CN1336856A
公开(公告)日：2002-02-20
申请号：CN00802663.7
申请日：2000-11-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: H01M8/065 , B01J20/00 , B01J20/0203 , B01J20/20 , B01J20/262 , B01J20/30 , B01J2220/46 , C01B3/0078 , C08K3/08 , Y02E60/327 , Y02P70/56 , C08L83/04
Abstract: 一种储氢复合成型体包含,储氢材料和含硅树脂,含硅树脂的含量优选为0.5－50wt%;一种制备所述成型体的方法,包括通过加压成型储氢材料,将所获得的成型体用溶液浸渍,所述溶液含有一种溶剂以及溶解或分散其中的含硅树脂,以及对浸渍的成型体进行固化处理;以及一种制备所述成型体的方法,包括将储氢合金与选自于含硅树脂,含硅树脂溶液和含硅树脂的分散液中之任何一种混合,之后将所获得的混合物成型,之后进行固化处理。所述储氢复合成型体即使长期重复进行吸附和脱附也不会发生破碎或损坏,并且具有优异的耐热性,成型性和加工性。
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公开(公告)号：CN115354269A
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202211112737.3
申请日：2018-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/134 , C23C4/10 , C01F17/265 , C01F17/10
Abstract: 提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示呈L*为25～64、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。
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公开(公告)号：CN114829667A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202080088163.3
申请日：2020-12-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 通过对包含斜方晶系的YF3晶相、不含斜方晶系以外的YF3晶相的喷涂粉进行等离子体喷涂，制造包含斜方晶系的YF3晶相、不含斜方晶系以外的YF3晶相、维氏硬度为350以上的氟化钇系喷涂被膜。能够提供被膜硬度高、暴露于卤素系气体等离子体时产生的粒子量少的氟化钇系喷涂被膜，这样的喷涂被膜作为半导体制造工序中使用的半导体制造装置用构件中所形成的喷涂被膜优异。另外，根据本发明，能够高效率地制造这样的氟化钇系喷涂被膜。
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公开(公告)号：CN112063950A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011092525.4
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111826601A
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN202010277350.8
申请日：2020-04-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供喷涂材料及制备方法、喷涂浆料、喷涂涂层及形成方法、和喷涂构件。包含稀土(R)、铝和氧的喷涂材料，该喷涂材料为粉末且包含单斜稀土(R)铝(R4Al2O9)结晶相和稀土氧化物(R2O3)结晶相，关于通过X射线衍射法使用Cu–Kα的特征X射线在10°至70°的衍射角2θ范围之内检测的衍射峰，该喷涂材料具有归属于稀土氧化物(R2O3)的衍射峰和归属于单斜稀土(R)铝(R4Al2O9)的衍射峰，归属于稀土氧化物(R2O3)的最大衍射峰的积分强度I(R)与归属于单斜稀土铝(R4Al2O9)的最大衍射峰的积分强度I(RAL)的强度比例I(R)/I(RAL)为至少1。
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公开(公告)号：CN110382730A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880014710.6
申请日：2018-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/04 , C01F17/00 , H01L21/302
Abstract: 提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示呈L*为25～64、a*为-3.0～+5.0、b*为-4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为-3.0～+5.0、b*为-6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。
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公开(公告)号：CN106609347A
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201610918492.1
申请日：2016-10-21
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: C23C4/11 , C08K3/16 , C09D1/00 , C09D7/69 , C23C4/134 , H01J37/32495 , H01L21/67069 , C23C4/04
Abstract: 氟化钇喷涂材料包含Y5O4F7和YF3并具有10‑60μm的平均粒度和1.2‑2.5g/cm3的堆积密度。所述氟化钇喷涂材料中的Y5O4F7和YF3由30至90重量％的Y5O4F7和余量的YF3组成。通过大气等离子体喷涂所述喷涂材料获得氧氟化钇的喷涂的涂层。
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公开(公告)号：CN115354269B
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202211112737.3
申请日：2018-02-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C23C4/134 , C23C4/10 , C01F17/265 , C01F17/10
Abstract: 提供喷镀被膜，是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜，含有0.01～2质量％的碳或者1～1000ppm的钛或钼，并且在不含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示呈L*为25～64、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑4.0～+8.0的灰色乃至黑色，在包含氧氟化物的情况下，用L*a*b*色度表示，呈L*为25以上且不到91、a*为‑3.0～+5.0、b*为‑6.0～+8.0的白色或者灰色乃至黑色。如果将该被膜形成于耐等离子体构件，则部分的颜色的变化少，取出清洗时也不必再部分地实施难以进行的清洗，成为能够确实实现原本的长寿命的构件。
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公开(公告)号：CN116445844A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310423299.0
申请日：2019-08-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层，其包含下层和表层，所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成，所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成，该多层的喷涂涂层具有23℃下的体积电阻率和200℃下的体积电阻率，23℃下的体积电阻率为1×109Ω·cm至1×1012Ω·cm，由200℃下的体积电阻率与23℃下的体积电阻率之比限定的体积电阻率的温度指数为0.1至10。
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