公开(公告)号：CN101079390A

公开(公告)日：2007-11-28

申请号：CN200710105051.0

申请日：2007-05-22

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 狩野正树 ,  山村和市

IPC: H01L21/683

CPC classification number: H01L21/6831

Abstract: 本发明是一种静电吸附装置，其用来吸附半导体晶圆、玻璃基板等被吸附物，其特征为：形成有一绝缘层，其覆盖形成于支持基板一面上的静电吸附用电极，且作为吸附上述被吸附物的吸附面，该绝缘层是由含有碳，且含有自硅、铝、钇以及钛选出1种或2种以上的元素，且维氏硬度在Hv50～1000的热分解氮化硼所构成。本发明之静电吸附装置，在将硅晶圆或玻璃基板等被吸附物，以静电吸附于静电吸附装置载置面上，并进行加热、冷却时，能够防止晶圆吸附面或静电吸附装置载置面产生损伤，且对氟系半导体清洗气的耐蚀性优异，使用寿命增长。

公开(公告)号：CN109896515A

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201811468226.9

申请日：2018-12-03

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 森力 ,  山村和市 ,  狩野正树 ,  平手晓大

IPC: C01B32/05 ,  C01B32/914

Abstract: 本发明涉及覆碳化钽的碳材料和其制造方法、半导体单晶制造装置用构件。[课题]提供制品寿命长的半导体单晶制造装置用构件和覆碳化钽的碳材料。[解决方案]本发明的覆碳化钽的碳材料的特征在于，其为用以碳化钽为主成分的碳化钽覆膜覆盖碳基材表面的至少一部分的覆碳化钽的碳材料，对于碳化钽覆膜，针对面外方向，与(200)面对应的X射线衍射线的强度大于与其他晶面对应的X射线衍射线的强度，其强度比相对于与全部晶面对应的X射线衍射线的强度之和为60％以上。

公开(公告)号：CN1934038B

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200580008547.5

申请日：2005-03-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 山村和市

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03B37/01486 ,  C03B37/01466

Abstract: 本发明涉及一种光纤母材的拉伸方法，即使是具有弯曲部的光纤母材，也可较容易地修正其弯曲，同时可对其进行拉伸缩径。即，该光纤母材的拉伸方法的特征在于，在用加热炉对光纤母材进行加热拉伸而使之成为较小直径的拉伸加工中，当从该光纤母材的一端开始进行拉伸时，预先使光纤母材的弯曲部在加热炉内加热软化并修正弯曲。此时，将光纤母材安装固定在悬吊机构上并悬吊于电炉内，使光纤母材的弯曲部加热软化，并在光纤母材或连接于其的虚设棒的前端与拉伸轴的偏差小于等于10mm之后，开始进行拉伸。再者，检测偏差，可使用非接触式位置检测装置，其中可列举激光测定器及图像处理装置。

公开(公告)号：CN1934039A

公开(公告)日：2007-03-21

申请号：CN200580009250.0

申请日：2005-03-07

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 飞坂优二 ,  山村和市

IPC: C03B37/012 ,  C03B37/018

CPC classification number: C03B23/045 ,  C03B37/0126 ,  C03B37/01486 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明提供一种玻璃母材的加工方法及加工装置，可使大型的玻璃母材芯不偏离地且容易地进行焊接加工及端部的纺锤形加工，且无落下事故可安心地操作。本发明是使用加工装置对玻璃母材(1)进行加工的方法，上述加工装置包括直接或间接地把持玻璃母材(1)的轴方向两端部、且可在所相向的方向相对移动的一对旋转自如的夹盘(3a)、(3b)，及可沿着所把持的玻璃母材(1)的轴方向移动的玻璃母材加热用的燃烧器(1)，且玻璃母材的加工方法的特征在于总是以两点或两点以上保持或支持玻璃母材(1)，一边防止悬臂一边进行加工；且加工装置中设置有至少一个保持或支持玻璃母材(1)的中间部的中间把持装置(8a)、(8b)。

公开(公告)号：CN1910120A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200580002429.3

申请日：2005-01-12

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 剱持惣一郎 ,  山村和市 ,  长尾贵章 ,  坂下光邦

IPC: C03B37/012

CPC classification number: C03B37/0126 ,  Y02P40/57

Abstract: 本发明有关于一种光纤母材的延伸方法，是在以电炉(3)等将母材铸块(1)加热软化，以一对挟滚轮(6)、(6)引出而延伸成为较小直径母材棒(7)的延伸方法中，在金属材质所构成的挟滚轮(6)的周面设置以较母材棒(7)的外径大的曲率半径构成的滚轮沟(11)、或是以直线构成的V字状的滚轮沟(11)，通过一对的该挟滚轮(6)、(6)的相对向滚轮沟(11)、(11)，将母材棒(7)挟持并引出。