公开(公告)号：CN101030524A

公开(公告)日：2007-09-05

申请号：CN200610064446.6

申请日：2006-10-20

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 中野瑞 ,  塜谷敏彦 ,  前田孝雄

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/31 ,  H01L21/311 ,  H01L21/205 ,  H01L21/67 ,  C23F4/00 ,  C23C16/00 ,  H01J37/32 ,  H01J37/00 ,  H05H1/00 ,  B32B9/00 ,  B32B33/00

CPC classification number: C23C4/18 ,  C23C4/02 ,  C23C4/11 ,  C23C4/134 ,  C23C24/04 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32559

Abstract: 本发明涉及一种待暴露于含有卤素的气体气氛中或含有卤素的气体等离子体气氛中的耐腐蚀构件，该构件包括基体和在基体上沉积的多层，该多层包括提供最外表面的稀土氟化物层和在稀土氟化物层下面的具有小于5％的孔隙率的稀土氧化物层。

公开(公告)号：CN1201030C

公开(公告)日：2005-05-11

申请号：CN01125941.8

申请日：2001-06-29

Applicant: 信越化学工业株式会社

Inventor： 前田孝雄 ,  塚谷敏彦 ,  高井康

IPC: C23C4/00 ,  C23C4/10

CPC classification number: C23C4/11 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/26 ,  Y10T428/2982

Abstract: 本发明涉及形成高度防腐蚀或防腐蚀的稀土元素氧化物或稀土元素基复合氧化物热喷涂层的有效方法，该涂层是通过使用由氧化物颗粒组成的独特热喷涂粉末采用等离子体热喷涂方法形成的。该热喷涂颗粒的特征在于，特定的分布指数为0.1-0.7，特定的平均颗粒直径为5-80μm，特定的BET比表面积为1-5m2/g，以及以氧化物重量计算的非常低含量的杂质铁不超过5ppm。本文使用的火焰喷涂粉末的特征在于几个其它颗粒参数，包括球粒构型、颗粒直径D90，堆积密度和累积孔体积。