公开(公告)号：CN103105127A

公开(公告)日：2013-05-15

申请号：CN201210392532.5

申请日：2012-10-16

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 岩井俊树 ,  三岛和彦 ,  前田普教 ,  箕田贤

IPC: G01B11/00 ,  G03F7/00

CPC classification number: G01D5/38 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01D5/34715 ,  G03F7/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/7038

Abstract: 一种检测器、压印装置以及物品制造方法，该检测器用于检测由形成在第一和第二物体上的标记衍射的衍射光分量的干涉光，该检测器包括：照明光学系统，被配置为形成包括第一极和第二极的强度分布，第一极和第二极对布置在第一物体上的第一标记和布置在第二物体上的第二标记进行照明；以及检测光学系统，被配置为检测由被照明光学系统照明的第一标记和第二标记衍射的光分量的干涉光。检测光学系统检测当第一极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量的干涉光。检测光学系统不检测当第二极的光被照射在第一标记和第二标记上并被第一标记和第二标记衍射时生成的衍射光分量。