公开(公告)号：CN1296210C

公开(公告)日：2007-01-24

申请号：CN01124891.2

申请日：2001-06-21

Applicant: 和佐清孝 ,  佳能株式会社

Inventor： 和佐清孝 ,  海野章 ,  福井哲朗 ,  松田坚义

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16 ,  H01L41/083 ,  H01L41/187

CPC classification number: B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B41J2002/14258 ,  H01L41/0805 ,  H01L41/1876 ,  H01L41/316 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49155

Abstract: 一种压电元件结构，包括一个支承衬底。和一个支承在所述支承衬底上压电膜，其中压电膜包含第一层、和具有锆的第二层，每一层具有钙钛矿结构，并且彼此接触形成或通过中间层层压，薄膜形成时的温度为500℃或更高以提供所述压电膜，为了形成薄膜，以30℃/min或更快的冷却速度从薄膜形成温度到至少450℃快速冷却。与现有压电膜相比，如此形成的压电膜厚度小，而且表现出很大的压电常数，从而能够可靠地执行其有效微处理。

公开(公告)号：CN114123847A

公开(公告)日：2022-03-01

申请号：CN202111338028.2

申请日：2017-12-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 古田达雄 ,  渡边隆之 ,  上田未纪 ,  小山信也 ,  久保田纯 ,  松田坚义 ,  上林彰 ,  林润平 ,  西谷仁志

IPC: H02N2/00

Abstract: 本发明公开了一种由非铅基压电材料制成的振动器，其能够以低功耗在足够的速度下被驱动，尤其用于振动波电机，所述振动器包括：压电元件(101)，所述压电元件包括具有电极(1、2)的压电材料(3)；以及弹性体(5)，其中，在所述压电材料中包含的Pb组分小于1000ppm，并且振动模式A和B具有谐振频率fA和fB，其在所述弹性体中产生波前彼此相交的振动波，满足|fB‑fA|>2kHz，优选地(Ba,Ca)(Ti,Zr)O3基的矩形振动器具有两种具有垂直节线的面外弯曲模式。

公开(公告)号：CN103650186B

公开(公告)日：2017-02-08

申请号：CN201280033162.4

申请日：2012-06-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  古田达雄 ,  清水康志 ,  松田坚义 ,  斋藤宏 ,  久保田纯

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: H01L41/1871 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/49 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3239 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/72 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79

Abstract: 本发明提供无铅压电材料，其在宽运行温度范围内具有稳定、优异的压电常数和机械品质因数。该压电材料包括由(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(其中1.00≤a≤1.01，0.155≤x≤0.300，0.041≤y≤0.069)表示的钙钛矿型金属氧化物作为主要成分，和在该钙钛矿型金属氧化物中引入的锰。相对于100重量份的该钙钛矿型金属氧化物，锰含量为0.12重量份-0.40重量份，基于金属。

公开(公告)号：CN103237774B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201180056871.X

申请日：2011-11-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  斋藤宏 ,  古田达雄 ,  林润平 ,  渡边隆之 ,  伊福俊博

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: C04B35/4682 ,  B08B7/02 ,  B08B7/028 ,  B41J2/14209 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  C04B35/62655 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3249 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3268 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/549 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6565 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/661 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/782 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/96 ,  H01L41/09 ,  H01L41/0973 ,  H01L41/1871 ,  H01L41/43 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  H03H9/176

Abstract: 本发明提供具有良好的压电性能和机械强度的钛酸钡压电陶瓷和包括该陶瓷的压电元件。压电陶瓷的制造方法包括：形成含有钛酸钡颗粒的氧化物粉末组成的成型体；烧结该成型体；和烧结后使该成型体的温度降低。烧结包括(A)将该成型体的温度升高到该成型体的收缩过程的温度范围内的第一温度；(B)在(A)后将该成型体的温度升高到该成型体的液相烧结过程的温度范围内的第二温度；(C)在(B)后将该成型体的温度降低到该成型体的收缩过程的温度范围内的第三温度；和(D)在(C)后保持该第三温度。

公开(公告)号：CN103261119B

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201180060904.8

申请日：2011-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 铃木达哉 ,  塚本雅美 ,  岛田干夫 ,  伊福俊博 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  林润平

IPC: H01L41/187 ,  C04B35/468

CPC classification number: H01L41/43 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/443 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/85 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 本发明提供具有令人满意的压电性能和令人满意的机械品质因数（Qm）的钛酸钡基压电陶瓷和使用其的压电元件。具体地，提供压电陶瓷，包括：晶体颗粒；和晶体颗粒之间的晶界，其中晶体颗粒均包含具有钙钛矿型结构的钛酸钡和相对于钛酸钡、以金属计为0.04质量%-0.20质量%的锰，和晶界包含从Ba4Ti12O27和Ba6Ti17O40中选择的至少一种化合物，和使用其的压电元件。

公开(公告)号：CN102549790B

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201080043224.0

申请日：2010-09-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  渡边隆之 ,  松田坚义 ,  三浦薰 ,  久保田纯

IPC: H01L41/18 ,  C04B35/495

CPC classification number: H01L41/187 ,  C01G33/006 ,  C01G35/006 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/787

Abstract: 本发明提供压电材料，其包括具有高居里温度和压电性优异的氧化铋钡铌基钨青铜结构的金属氧化物。该压电材料包括由下述通式(1)表示的具有钨青铜结构金属氧化物，其中该具有钨青铜结构的金属氧化物包括Li，并且Li的含量为0.015重量％-0.600重量％，以金属计，相对于100重量份的该金属氧化物：AXB10O30 (1)其中A表示Ba和Bi，或者Ba和Bi和选自Na、Sr和Ca中的至少一种元素；B表示Nb，或者Nb和Ta；并且x表示4.5＜x＜5.5的数值。

公开(公告)号：CN102934247B

公开(公告)日：2015-02-25

申请号：CN201180027712.7

申请日：2011-06-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 松田坚义 ,  渡边隆之 ,  林润平

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B08B7/02 ,  B41J2/14 ,  C04B35/495

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B08B7/026 ,  B41J2/14233 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3215 ,  C04B2235/3251 ,  C04B2235/3258 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/444 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/76 ,  H01L41/43 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 提供包含具有高取向度的基于铌酸钡铋钙的钨青铜结构金属氧化物的压电材料。还提供包括压电材料的压电元件、液体排放头、超声波电机、以及灰尘清洁设备。压电材料包括：钨青铜结构金属氧化物，包括金属元素钡、铋、钙和铌；以及钨。金属元素以摩尔计量满足以下条件：当Ba/Nb＝a时，0.37≤a≤0.40，当Bi/Nb＝b时，0.020≤b≤0.065，以及当Ca/Nb＝c时，0.007≤c≤0.10。以金属计量的钨含量相对于钨青铜结构金属氧化物的100重量份是0.4至2.0重量份。钨青铜结构金属氧化物具有c轴取向。

公开(公告)号：CN102934249B

公开(公告)日：2015-02-18

申请号：CN201180027720.1

申请日：2011-06-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 林润平 ,  松田坚义 ,  渡边隆之

IPC: H01L41/09 ,  H01L41/18 ,  B08B7/02 ,  B41J2/14 ,  C04B35/495

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B08B7/026 ,  B41J2/14233 ,  C01F11/00 ,  C01G33/006 ,  C01P2002/72 ,  C04B35/495 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3258 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/6027 ,  C04B2235/605 ,  C04B2235/76 ,  C04B2235/787 ,  C04B2235/79 ,  C04B2235/81 ,  H01L41/04 ,  H01L41/43 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 提供包含具有高取向度的基于铌酸锶钙钠的钨青铜结构金属氧化物的压电材料。还提供包括压电材料的压电元件、液体排放头、超声波电机、以及灰尘清洁设备。压电材料包括：钨青铜结构金属氧化物，包括金属元素锶、钙、钠和铌；以及钨。金属元素以摩尔计量满足以下条件：当Sr/Nb＝a时，0.320≤a≤0.430，当Ca/Nb＝b时，0.008≤b≤0.086，以及当Na/Nb＝c时，0.180≤c≤0.200。以金属计量的钨含量相对于钨青铜结构金属氧化物的100重量份是0.40至3.20重量份。钨青铜结构金属氧化物具有c轴取向。

公开(公告)号：CN104271533A

公开(公告)日：2015-01-07

申请号：CN201380024609.6

申请日：2013-03-21

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 斋藤宏 ,  村上俊介 ,  上田未纪 ,  田中秀典 ,  松田坚义 ,  渡边隆之 ,  久保田纯

IPC: C04B35/468 ,  C04B35/49 ,  H01L41/187 ,  H02N2/00

CPC classification number: H01L41/1871 ,  B06B1/06 ,  B08B7/028 ,  B41J2/14209 ,  B41J2/14233 ,  B41J2002/14217 ,  B41J2202/03 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/6261 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3248 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3281 ,  C04B2235/3409 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/785 ,  C04B2235/786 ,  C04B2235/79 ,  G02B7/04 ,  G02B27/0006 ,  H01L21/64 ,  H01L41/0471 ,  H01L41/0477 ,  H01L41/083 ,  H01L41/0973 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163 ,  H04N5/2171 ,  H04N5/23209

Abstract: 一种压电陶瓷包含主要组分、作为第一辅助组分的Mn和第二辅助组分，所述第二辅助组分包含选自由Cu、B和Si组成的组中的至少一种元素。主要组分包含钙钛矿型金属氧化物，其具有以下通式(1)：(Ba1-xCax)a(Ti1-yZry)O3(0.100≤x≤0.145，0.010≤y≤0.039)(1)。每摩尔金属氧化物中的Mn的量b(mol)处于0.0048≤b≤0.0400的范围内，第二辅助组分含量按金属计为每100重量份金属氧化物中占0.001重量份以上且4.000重量份以下，并且通式(1)的值a处于0.9925+b≤a≤1.0025+b的范围内。

公开(公告)号：CN103261119A

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201180060904.8

申请日：2011-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 铃木达哉 ,  塚本雅美 ,  岛田干夫 ,  伊福俊博 ,  松田坚义 ,  久保田纯 ,  林润平

IPC: C04B35/468 ,  H01L41/187

CPC classification number: H01L41/43 ,  B41J2/161 ,  B41J2/1623 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1642 ,  B41J2/1646 ,  B82Y30/00 ,  C04B35/4682 ,  C04B35/62655 ,  C04B35/62695 ,  C04B35/64 ,  C04B2235/3201 ,  C04B2235/3203 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3213 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3227 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3236 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3262 ,  C04B2235/3267 ,  C04B2235/3287 ,  C04B2235/3293 ,  C04B2235/3298 ,  C04B2235/3418 ,  C04B2235/441 ,  C04B2235/442 ,  C04B2235/443 ,  C04B2235/449 ,  C04B2235/5445 ,  C04B2235/5454 ,  C04B2235/6562 ,  C04B2235/6567 ,  C04B2235/761 ,  C04B2235/85 ,  H01L41/1871 ,  H02N2/106 ,  H02N2/163

Abstract: 本发明提供具有令人满意的压电性能和令人满意的机械品质因数（Qm）的钛酸钡基压电陶瓷和使用其的压电元件。具体地，提供压电陶瓷，包括：晶体颗粒；和晶体颗粒之间的晶界，其中晶体颗粒均包含具有钙钛矿型结构的钛酸钡和相对于钛酸钡、以金属计为0.04质量%-0.20质量%的锰，和晶界包含从Ba4Ti12O27和Ba6Ti17O40中选择的至少一种化合物，和使用其的压电元件。