公开(公告)号：CN1381768A

公开(公告)日：2002-11-27

申请号：CN02119045.3

申请日：1997-05-12

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 平野孝 ,  番场敏夫 ,  真壁裕明 ,  竹田直滋 ,  竹田敏郎

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/016

CPC classification number: G03F7/0226 ,  G03F7/0755 ,  G03F7/0757 ,  Y10S430/107

Abstract: 公开了一种正型光敏树脂组合物,它包括(A)100重量份的式(1)聚酰胺,(B)1－100重量份光敏重氮醌化合物以及(C)1－50重量份具有特定结构的酚化合物和/或(D)0.1－20重量份具有特定结构式的有机硅化合物,其中各取代基如说明书中所述。还公开了一种半导体装置,其中在半导体元件上形成了厚度0.1－20μm的用上述光敏树脂组合物得到的聚苯并噁唑树脂图案。

公开(公告)号：CN1187637A

公开(公告)日：1998-07-15

申请号：CN97102015.9

申请日：1997-01-06

Applicant: 住友电木株式会社

Inventor： 番场敏夫 ,  竹田敏郎

IPC: G03F7/022

Abstract: 公开了一种光敏性树脂组合物成像过程的方法,它包括涂覆包含聚酰胺和重氮醌化合物的正性光敏树脂组合物于一基板上,将它预烘后用光照射,之后在含有阴离子表面活性剂的碱性水溶液中溶解曝光部分以除去光敏性树脂,从而得到图像。当采用本发明的含有阴离子表面活性剂的碱性水溶液进行显影时,可以得到无浮渣、高分辨率的图像。