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公开(公告)号:CN116612051A
公开(公告)日:2023-08-18
申请号:CN202310493296.4
申请日:2023-05-05
IPC: G06T5/10 , G06T5/00 , G06T3/40 , G06N3/0464
Abstract: 一种基于频谱域滤波的干涉散射图像弱信号的实时恢复方法和系统,通过拍摄一幅无样品图像或初始化一个全一矩阵,并结合系统特征的干涉点扩散函数在频谱域进行信号的增强,实现对弱信号的恢复,和动态背景的重构。本发明针对干涉散射成像系统的拍摄图像,对图像微弱信号进行实时恢复。传统干涉散射图像恢复方法大多采用多帧平均方式消除噪声,对图像数量要求大,无法做到实时恢复;现有单帧恢复方式,恢复结果噪声大,且对信背比较小图像无法恢复。本发明通过根据系统特性仿真得到的干涉点扩散函数图像,对实验拍摄的干涉散射图像进行频谱增强,实现对观测信号的实时恢复,同时可以大大提高系统的时间分辨率,且适用于动态、静态样品。
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公开(公告)号:CN116540504A
公开(公告)日:2023-08-04
申请号:CN202310807886.X
申请日:2023-07-04
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于连续谱光源的可变波长超分辨激光直写光刻系统,属于超精密光学成像与刻写技术领域,包括光源与刻写模块,其中光源为连续谱光源;光源与刻写模块之间还设有用于形成多个分光路的分光模块、设于相应分光路上的光束调节组件,以及用于将多个分光路汇合为刻写光束组合的合束模块;光束调节组件包括滤波模块,和能量调节模块或波相差调节模块中的一种或串联设置的两种组合。与现有技术相比,本发明提供一种多路单独滤波及调制的光源调制光路,可同时实现多通道不同波长的光束调制,多光束可互相配合,通过不同轴汇合或同轴重合方式,实现多通道超分辨光刻或基于边缘抑制的超分辨光刻。
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公开(公告)号:CN116481983A
公开(公告)日:2023-07-25
申请号:CN202310461722.6
申请日:2023-04-26
Abstract: 一种基于偏振照明的同轴干涉散射显微成像装置,包括连续激光器、多个透镜、空间滤波器、波片、一个偏振分束镜、功率计、物镜、样品台、和多个反射镜,连续激光器的激光经一组透镜扩束准直并空间滤波后进入1/2波片,进行偏振方向调节。调节后的偏振光进入偏振分束棱镜将激光分为P光与S光,S光经物镜后宽场照明样品,颗粒散射光与反射光经物镜收集后进入偏振分束棱镜,该S光在偏振分束棱镜出射口形成部分正交偏振。本发明还提供一种基于偏振照明的同轴干涉散射显微成像装置的成像方法。本发明通过S光偏振照明并结合正交偏振原理,有效抑制背景反射光,提高了信号对比度;同时,结合干涉散射显微成像信号增强的优势,实现对样品表面小尺寸颗粒极弱信号的高信噪比检测。
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公开(公告)号:CN115839936B
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202211589202.5
申请日:2022-12-12
Abstract: 本发明公开了一种基于锁相探测的结构光照明超分辨显微成像重构方法,包括:1)获取不同相位、不同方向的结构光照明原始图像;2)估算出条纹的调制频率和相位参数;3)进行锁相解调提取出样品的在焦信息并滤除离焦信息;4)将锁相探测得到的结果作为原始输入进行传统超分辨重构,重建出具有层切能力、高信背比的超分辨图片,本发明在保证重构的图片具有较高分辨率的同时,能有效去除离焦的背景信息干扰。
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公开(公告)号:CN116382044A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202310467150.2
申请日:2023-04-25
Abstract: 本申请涉及一种基于转镜的并行三维灰度激光直写光刻方法,其中,该方法包括:通过刻写激光器,生成刻写激光;根据光学衍射器件和刻写激光,生成多路刻写光束;根据待刻写结构的二维灰度图产生三维灰度刻写数据;基于转镜并行刻写算法和多路刻写光束的光束数,将三维灰度刻写数据拆分并写入到波形发生器的不同输出通道;在位移台移动到目标位置时,利用波形发生器的不同输出通道的三维灰度刻写数据,控制多通道声光调制器各个对应的通道的开关或振幅调制,完成对待刻写结构进行并行刻写。通过本申请,解决了相关技术中存在三维激光刻写时容易出现明显的台阶现象问题,提高了三维激光刻写速度,消除了三维激光刻写时明显的台阶现象。
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公开(公告)号:CN116337829A
公开(公告)日:2023-06-27
申请号:CN202310175875.4
申请日:2023-02-16
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种高通道荧光辐射差分显微成像方法和装置,包括激光器、分束器、光纤模式选择模块、光场调整模块、显微成像模块、探测模块和控制单元,通过光纤模式选择模块分时选通空间位置重叠的N个空心激发光斑和N个实心激发光斑,N个激发光斑、光场调整模块、显微成像模块与探测模块包含的N根探测光纤一一对应构成N个独立的FED显微成像通道,可以并行获取待测样品的结构信息,提升FED的成像速度。
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公开(公告)号:CN116312652A
公开(公告)日:2023-06-23
申请号:CN202310133694.5
申请日:2023-02-07
Abstract: 一种基于转镜的光存储信息的高速读取方法,包括:使转镜在固定转速下沿着X方向匀速转动;计算采集卡接收到转镜行脉冲后每次采集的延迟时间;控制大行程气浮位移台在Y方向执行一次匀速运动,并在经过采集区域的起始位置时,产生位置触发信号,使能采集卡采集光强信号;采集卡使能后,每接收到一个行脉冲,采集卡采集一行的光强信号,经处理后转换为图像中的一行数据;采集到该区域的图像数据后,经过一系列处理得到该采集区域的二值化数据信息;大行程气浮位移台移动到下一个采集区域,重复执行上述步骤,得到整个采集区域的二值化数据;Z轴位移台移动到采集区域的下一层,重复上述过程,直至采集完整个三维区域内的所有二值化数据,并根据存储时已知的算法进行解码,得到该整个三维区域内的原始存储数据。
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公开(公告)号:CN115841423A
公开(公告)日:2023-03-24
申请号:CN202211589185.5
申请日:2022-12-12
IPC: G06T3/40 , G06N3/0464 , G06N3/045 , G06N3/0475
Abstract: 本发明公开了一种基于深度学习的宽场照明荧光超分辨显微成像方法,包括训练集原始图像获取,训练数据集制作,网络训练、损失函数构建,超分辨图像重建等步骤,本发明仅通过一张宽场图片即可实现超分辨SIM重构,成像速度快,降低了光毒性,提升了时间分辨率;训练集需要使用SIM系统采集,一旦训练完成之后即可基于普通的宽场显微镜系统完成超分辨成像,光路简单,样品要求低,普适性强。
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公开(公告)号:CN115826364A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202211493606.4
申请日:2022-11-25
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开一种基于双步双光子效应的高通量超分辨纳米刻写方法与装置,将存在延时的一个激发光和一个促进光合束,入射到数字微镜器件,随后成像到三维样品台的基板上涂覆的具有双步双光子效应的光刻胶上;根据所需刻写结构控制数字微镜器件,完成基板所在焦面处的曝光,同时控制三维样品台,以及激发光和促进光的延时,使延时大于光刻胶分子的单重态的激发态S1到多重态T1,进而实现双步双光子效应,实现任意三维纳米结构的刻写;激发光和促进光为同一波长且重复频率相同的激光束,且激发光的脉宽为飞秒,促进光的脉宽为皮秒或者纳秒。本发明实现超分辨激光刻写,并且结合数字微镜器件,进而实现高通量刻写能力。
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公开(公告)号:CN115826214A
公开(公告)日:2023-03-21
申请号:CN202211480569.3
申请日:2022-11-23
Abstract: 本发明公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测方法,该方法基于分别放置在共焦差分光路中的焦前和焦后位置上的两路图像传感器,通过将两路图像传感器获取的离焦光斑形状进行差分,结合后期图像处理,实现了焦面的实时探测跟踪与补偿。还公开了一种基于共焦光路像素差分的焦面检测装置,包括位于光学系统中心光轴上依次排布的光源、滤波准直装置、二分之一波片、偏振分光棱镜、四分之一波片、物镜、样品,以及与偏振分光棱镜共轴依次布置的会聚透镜、分光棱镜和两路图像传感器。本发明与现有的其他焦面检测方法相比,具有装置简单,抗干扰能力强的优点,能实现高精度焦面跟踪定位与补偿。
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