-
公开(公告)号：CN111751012B
公开(公告)日：2021-12-14
申请号：CN202010494800.9
申请日：2020-06-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 为了解决现有的动态光学波前相位测量装置精度不高、分辨率不高的技术问题，本发明提出了一种动态高分辨光学波前相位测量方法，利用激光器、准直镜、平面反射镜、分光镜、吸收体、混合调制光栅、探测器、计算机、不同F#标准镜头和校准镜，能够实现对光学元件面形和光学系统波像差的主动式光学测试。本发明的分辨率由探测器像元尺寸大小决定，可实现高分辨率的光学波前相位测量，分辨率可小于0.01mm。本发明在系统本底误差标定一次后，即作为系统数据，实际面形测量时只需采集一次图像就可计算得到被测表面形貌信息，故相对传统相移干涉法，本发明不受环境影响。
-
公开(公告)号：CN111650163B
公开(公告)日：2021-06-22
申请号：CN202010574555.2
申请日：2020-06-22
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01N21/59
Abstract: 本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法，以解决现有的增透膜透过率测量精确度低的问题。本发明所采用的技术方案为；一种高功率激光增透膜透过率测量方法，首先，控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；其次，通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；再次，样品台将待测透射元件切入干涉光路中，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；最后，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理并计算增透膜透过率；本发明还提供了一种高功率激光增透膜透过率测量装置。
-
公开(公告)号：CN111650163A
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN202010574555.2
申请日：2020-06-22
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01N21/59
Abstract: 本发明涉及高功率激光增透膜透过率测量技术，具体涉及一种高功率激光增透膜透过率测量方法，以解决现有的增透膜透过率测量精确度低的问题。本发明所采用的技术方案为；一种高功率激光增透膜透过率测量方法，首先，控制计算机控制激光光源设备输出准直光束；其次，通过干涉光路将准直光束分为两束光，并调节干涉光路，使两束光在探测系统中形成第一干涉条纹图像；再次，样品台将待测透射元件切入干涉光路中，在探测系统中形成第二干涉条纹图像；最后，控制计算机对第一干涉条纹图像和第二干涉条纹图像进行滤波去噪处理并计算增透膜透过率；本发明还提供了一种高功率激光增透膜透过率测量装置。
-
公开(公告)号：CN110017791B
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201910266676.8
申请日：2019-04-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B11/06
Abstract: 为解决现有光纤连接器端面参数测量方法易受环境影响、测试精度不高、测量效率低、动态范围小的技术问题，本发明提出了一种光纤连接器端面参数测量装置及测量方法。其中，测量装置包括沿同一光路依次设置的光源、会聚镜、靶板、准直镜、一号分束镜和吸收体；定义一号分束镜面向准直镜的面为第一镜面，在准直镜的出射光束经第一镜面反射后的反射光路上，设置有一号显微物镜；一号显微物镜的出射光束经第一镜面透射后的透射光路上依次设置有二号分束镜、扩束系统和夏克‑哈特曼波前传感器；二号分束镜的反射光路上依次设置有二号显微物镜和成像探测器；成像探测器设置在一维电控平移台上，一维电控平移台通过驱动器与控制及数据分析计算机相连。
-
公开(公告)号：CN110142503B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201910412047.1
申请日：2019-05-17
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: B23K26/04 , B23K26/064 , B23K26/38 , B23K26/70
Abstract: 本发明属于能够自动进行离焦补偿的激光切割系统，具体涉及一种激光切割离焦补偿系统及其补偿方法，解决现有技术中工件高频振动下离焦补偿误差大的问题。由加工激光源和半导体激光器分别发射不同波长的加工激光和探测激光，探测激光经像散透镜系统产生一定的像散畸变，然后在待加工面上被部分反射，最终监视光学系统收集其反射后的像散光斑图像，经控制器的一系列计算和处理，向变形镜输入波前调制信号使其面形发生变化，从而达到对加工激光的实时调节。能够实时监测加工激光的离焦量并快速进行离焦补偿，从而实现较高的离焦校正频率。另外，由于两束激光同轴，离焦量的测量位置与实际加工点位置距离极小，减小了离焦量的测量误差，提高了离焦补偿精度。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111751012A
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN202010494800.9
申请日：2020-06-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 为了解决现有的动态光学波前相位测量装置精度不高、分辨率不高的技术问题，本发明提出了一种动态高分辨光学波前相位测量装置及测量方法，利用激光器、准直镜、平面反射镜、分光镜、吸收体、混合调制光栅、探测器、计算机、不同F#标准镜头和校准镜，能够实现对光学元件面形和光学系统波像差的主动式光学测试。本发明的分辨率由探测器像元尺寸大小决定，可实现高分辨率的光学波前相位测量，分辨率可小于0.01mm。本发明在系统本底误差标定一次后，即作为系统数据，实际面形测量时只需采集一次图像就可计算得到被测表面形貌信息，故相对传统相移干涉法，本发明不受环境影响。
-
公开(公告)号：CN111664802A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010495564.2
申请日：2020-06-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 为解决传统光学测量方法在半导体晶圆表面形貌测量中存在测量精度、速度和实时性方面的局限性的技术问题，本发明提出了一种基于动态定量相位成像技术的半导体晶圆表面形貌测量装置，包括光源及从下自上依次设置的载物台、显微物镜、半透半反镜、目镜、定量相位成像模块和图像数据处理单元；半透半反镜同时位于光源的出射光路上；载物台用于放置被测半导体晶圆，且在水平面内可二维平移；定量相位成像模块由二元光学器件和探测器组成；被测半导体晶圆被测面与二元光学器件迎光面满足物像共轭关系；探测器用于探测经二元光学器件调制后的光场图像；图像数据处理单元用于对探测器获取的图像进行处理，得到被测半导体晶圆表面三维形貌。
-
公开(公告)号：CN111220283A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010113732.7
申请日：2020-02-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J9/00
Abstract: 本发明涉及相位恢复技术，提供了一种基于多步相位调制的光场复振幅测量装置及方法，解决现有相位恢复技术需要复杂扫描过程以获得多个衍射强度，在扫描过程中引入的位移误差和光路倾斜，影响相位恢复收敛速度和精度的问题。其中装置包括调制系统、探测器及数据处理单元；调制系统用于加载n个调制相位，对待测光场进行调制，获得待测光场的n个衍射光强，n为大于等于4的整数；n个调制相位与待测光场不同频段的相位相适配；探测器用于接收调制后的n个衍射光强；数据处理单元包括存储器和处理器，存储器上存储有用于处理n个调制相位和n个衍射光强的计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现相位恢复方法计算待测光场复振幅。
-
公开(公告)号：CN110017791A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201910266676.8
申请日：2019-04-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/24 , G01B11/255 , G01B11/06
Abstract: 为解决现有光纤连接器端面参数测量方法易受环境影响、测试精度不高、测量效率低、动态范围小的技术问题，本发明提出了一种光纤连接器端面参数测量装置及测量方法。其中，测量装置包括沿同一光路依次设置的光源、会聚镜、靶板、准直镜、一号分束镜和吸收体；定义一号分束镜面向准直镜的面为第一镜面，在准直镜的出射光束经第一镜面反射后的反射光路上，设置有一号显微物镜；一号显微物镜的出射光束经第一镜面透射后的透射光路上依次设置有二号分束镜、扩束系统和夏克-哈特曼波前传感器；二号分束镜的反射光路上依次设置有二号显微物镜和成像探测器；成像探测器设置在一维电控平移台上，一维电控平移台通过驱动器与控制及数据分析计算机相连。
-
公开(公告)号：CN216118248U
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN202122122084.4
申请日：2021-09-03
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本实用新型提供一种基准小孔板的高精度快速复位装置，解决现有基准小孔板尺寸较大，不易拆装；拆卸后安装不易重新定位；复位过程占用空间大，耗时长；复位精度不高的问题。该装置包括小孔板座、转动板、定位组件、定位横梁和驱动机构；转动板下端与小孔板座铰接，上部开设有通光孔；定位组件包括设在转动板上的第一定位块和第二定位块，第一定位块和第二定位块之间形成基准小孔板的安装空间，第一定位块与基准小孔板下底面为面接触，第二定位块与基准小孔板侧面为线接触，基准小孔板中心孔与通光孔同轴；驱动机构用于驱动转动板转动；定位横梁设在小孔板座上，用于转动板转动过程中的止靠定位，实现基准小孔板进入光学系统的调试光路中。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
23
records
(took 0.033 seconds)
