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公开(公告)号：CN105698684A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610172575.0
申请日：2016-03-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
CPC classification number: G01B11/00
Abstract: 本发明提供了一种基于多线阵CCD平行拼接的二维位置光学测量系统，包括光源合作目标、共用物镜、分光镜组和线阵CCD组；分光镜组包括依次设置在共用物镜输出光路上的多个分光镜；线阵CCD组包括与分光镜一一对应的多个线阵CCD，且每个线阵CCD通过各自光路分别与光源合作目标共轭；每个线阵CCD的光敏面位于直角坐标系的YOZ平面，光敏长度方向与OZ轴平行。测量时，将待测物体与在光源合作目标固连；光源合作目标经共用物镜、分光镜组后成像于线阵CCD组上，由第一线阵CCD、第二线阵CCD，第三线阵CCD，……，第N线阵CCD共同完成光源合作目标的二维位置测量。本发明具有成本低、精度高的优点。
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公开(公告)号：CN102865835A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210380004.8
申请日：2012-09-29
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明了提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪，包括在主光路上依次设置的单色光源（1）、多狭缝（2）、分光镜（3）、准直物镜（4）、可转动的平面反射镜（5）以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD（6），多狭缝（2）与线阵CCD（6）共轭；所述多狭缝（2）由多个平行单狭缝组成，各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等；以线阵CCD作为主尺，多狭缝（2）的像作为游标尺，游标尺与主尺满足游标细分原理。本发明可广泛应用于高精度小角度精度测试，反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。
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公开(公告)号：CN110986830A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911064430.9
申请日：2019-11-04
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明涉及一种双光谱三维姿态角测量装置及测量方法，解决现有三维姿态角测量系统复杂、体积大以及测量精度较低，不符合航天领域测量要求的问题。该装置包括双光谱光源、二维自准直仪、图像传感器电路板、五棱分光棱镜、折转棱镜和数据处理模块；双光谱光源发射红绿光谱光束，该光谱光束经二维自准直仪的同一狭缝出射后入射至五棱分光棱镜，五棱分光棱镜将双光谱光束分成两路，第一光路光束穿过五棱分光棱镜直接入射至被测立方镜前表面，第二光路光束通过折转棱镜折转入射至被测立方镜的侧表面，两路光束原路反射，二维自准直仪的图像传感器对返回的光束进行分时成像，图像传感器电路板对图像进行采集，并传输给数据处理模块。
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公开(公告)号：CN108007445B
公开(公告)日：2019-06-28
申请号：CN201711464920.9
申请日：2017-12-28
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01C15/00
Abstract: 本发明属于激光技术加工领域，涉及一种应用于激光加工头反射摆镜的调试方法，通过自准直测量原理调试反射摆镜，可测量出反射光线与光轴正交夹角，方法原理简单，实施方便，测量精度分辨率可达到0.5″。反射光线与光轴正交夹角误差取决于AC轴正交精度与A轴回转精度，AC轴正交精度一般最高可调试到3″，A轴回转精度取决于电机主轴自身，最高可达到为1″。
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公开(公告)号：CN107328477B
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201710325624.4
申请日：2017-05-10
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J4/00
Abstract: 本发明属于精密测试计量技术领域，具体涉及一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法。该检测系统包括检测装置、经纬仪和基准平面镜；经纬仪用于准直检测装置和基准平面镜；检测装置包括固定机构、旋转机构、检测机构和调平机构；检测机构通过旋转机构安装于固定机构上，固定机构通过调平机构安装于一个分度台上；检测机构包括检测直角棱镜和光电接收组件；检测直角棱镜用于引出被检测偏振光光轴方位，光电接收组件用于检测偏振光方位并将光信号转换为电信号。采用本发明提供的扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法可以对经过扩束后线偏振光光轴的一致性和稳定性进行准确量度，提高了线偏振光技术的测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105674883B
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201610173197.8
申请日：2016-03-24
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及一种伽利略望远镜组与柱面镜组合式二维位置测量光学系统，以解决现有光学系统在二维测量时长度尺寸易受限制的问题。本发明包括光源合作目标、伽利略望远镜组、分光镜组、柱面镜组、线阵CCD组；测量时，将被测物体与在光源合作目标固连；光源合作目标在测量范围内的不同工作区域运动时所发出的光线经伽利略望远镜组、分光镜组和第一柱面镜组变换为正交于第一线阵CCD的线像，完成X向的测量；光源合作目标在测量范围内的不同工作区域运动时所发出的光线经伽利略望远镜组、分光镜组和第二柱面镜组变换为正交于第二线阵CCD的线像，完成Y向的测量。本发明所提供的光学系统接近无焦，有效缩短了系统长度，使用方便。
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公开(公告)号：CN107328477A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710325624.4
申请日：2017-05-10
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01J4/00
CPC classification number: G01J4/00 , G01J2004/001
Abstract: 本发明属于精密测试计量技术领域，具体涉及一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法。该检测系统包括检测装置、经纬仪和基准平面镜；经纬仪用于准直检测装置和基准平面镜；检测装置包括固定机构、旋转机构、检测机构和调平机构；检测机构通过旋转机构安装于固定机构上，固定机构通过调平机构安装于一个分度台上；检测机构包括检测直角棱镜和光电接收组件；检测直角棱镜用于引出被检测偏振光光轴方位，光电接收组件用于检测偏振光方位并将光信号转换为电信号。采用本发明提供的扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法可以对经过扩束后线偏振光光轴的一致性和稳定性进行准确量度，提高了线偏振光技术的测量精度。
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公开(公告)号：CN102865835B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201210380004.8
申请日：2012-09-29
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
Abstract: 本发明了提供一种精度高、可靠性好的游标狭缝式光电自准直仪。该游标狭缝式光电自准直仪，包括在主光路上依次设置的单色光源（1）、多狭缝（2）、分光镜（3）、准直物镜（4）、可转动的平面反射镜（5）以及在分光镜分光光路上设置的线阵CCD（6），多狭缝（2）与线阵CCD（6）共轭；所述多狭缝（2）由多个平行单狭缝组成，各平行单狭缝缝宽与缝间距均相等；以线阵CCD作为主尺，多狭缝（2）的像作为游标尺，游标尺与主尺满足游标细分原理。本发明可广泛应用于高精度小角度精度测试，反射镜动静态小角度误差高精度测量、角位移传感器角度标校、光学平面冷加工件的小角度测量等。
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公开(公告)号：CN102607472B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201210056004.2
申请日：2012-03-06
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明提供一种大范围平面度的测量装置及其测量方法，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。
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公开(公告)号：CN102607472A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210056004.2
申请日：2012-03-06
Applicant: 中国科学院西安光学精密机械研究所
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明提供一种大范围平面度的测量装置及其测量方法，从而方便、快速地对大范围平面度进行有效测量。该大范围平面度的测量装置包括高精度自准直仪、斜方棱镜组以及可转动连接装置。测量时，斜方棱镜的测量头部瞄准待测平面，通过高精度自准直仪测量待测平面的平面度，其中高精度自准直仪所发出的平行光路，经过两个斜方棱镜，在每个斜方棱镜的两次反射作用后，其出射光矢量和原入射光矢量相同，即每个斜方棱镜经过两次反射所折转的光路不影响出射光矢量，待测平面反射后的光路又经过斜方棱镜至高精度自准直仪，便可以实现对被测平面的平面度测量。
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