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公开(公告)号:CN112981327A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN201911275234.6
申请日:2019-12-12
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀用一体化蒸发源,属于真空蒸镀技术领域,解决了一般热蒸发中加热不均匀性和热惯性大的问题,极大的简化了加热机构。本发明的真空蒸镀用坩埚组件主要包括坩埚和电极座两部分。其中坩埚两端为纯银电极涂层,电极间均为加热部分,镀有电热涂层。此坩埚组件结构简单,发热快速,发热体是坩埚本身,坩埚受热均匀,且热惯性小,能实现快速升温和降温,能实现蒸发速率的快速调控,达到蒸镀速率的稳定性。
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公开(公告)号:CN109904327B
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN201711282358.8
申请日:2017-12-07
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L51/48
Abstract: 本发明涉及太阳能电池制造技术领域,特别涉及一种用于制备钙钛矿太阳能电池的团簇式真空沉积系统。包括进/出样腔室、中央腔室、机械传输装置及多个沉积腔室,其中进/出样腔室及多个沉积腔室沿周向设置于中央腔室的周围、且均与中央腔室连通,进/出样腔室及多个沉积腔室与中央腔室之间均设有闸板阀,机械传输装置设置于中央腔室内,且用于将装有样品基底的托架在各腔室之间传输,多个沉积腔室内沉积制备钙钛矿太阳能电池的各层结构。本发明全部使用真空沉积法机械化自动制备各层薄膜,有助于提高钛矿太阳能电池的稳定性和均匀性,也能在大规模生产中提高产品的良率。
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公开(公告)号:CN109427923B
公开(公告)日:2020-06-16
申请号:CN201710740273.3
申请日:2017-08-25
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L31/028 , H01L31/0296 , H01L31/0304 , H01L31/032 , H01L31/108 , H01L31/18 , H01L51/42 , H01L51/46 , H01L51/48
Abstract: 本发明提供一种半导体薄膜四象限光照传感器及其制备方法。该传感器具有多层结构,从光入射面由表及里依次为光阑、衬底、顶电极、半导体薄膜光电转化层、背电极和保护层;所述传感器顶电极、半导体薄膜光电转化层、背电极具有阵列结构,其中每个单元所包含的顶电极、半导体薄膜光电转化层、背电极相互连通,单元之间的半导体薄膜光电转化层、背电极彼此不连通。本发明所述传感器的光电转化层为半导体薄膜材料,使器件阻抗显著增加,提高了测量稳定性。本发明所述制备方法,使器件加工精度显著增加,提高了测量精确度。
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公开(公告)号:CN111261745A
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201811450984.8
申请日:2018-11-30
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L31/18 , H01L31/032
Abstract: 本发明提供了一种无机钙钛矿电池及其制备方法。本发明采用无机钙钛矿材料制备钙钛矿电池,并采用镧系金属卤化物对钙钛矿层/电子传输层进行界面修饰以制备高质量无机钙钛矿电池。本发明中的无机钙钛矿电池优势在于无机钙钛矿材料热稳定性良好,具有优良的抗紫外能力,同时其吸光范围可控,有利于调控电池的光响应范围。本发明提出的界面修饰方法区别于常规的掺杂方法,可以更加明显提高器件光电性能。
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公开(公告)号:CN108110070B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201611042334.0
申请日:2016-11-24
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L31/0445 , H01L31/06 , H01L31/18
Abstract: 本发明公开了一种新型结构的透明硅基薄膜太阳能电池结构及其制备方法,属于太阳能电池技术领域。技术方案是:①在TCO玻璃上沉积本征硅薄膜层;②在本征硅薄膜层上沉积p型硅薄膜掺杂层;③在p型硅薄膜掺杂层上沉积TCO薄膜导电层,通过p型硅薄膜掺杂层与TCO玻璃形成内建电场,从而形成一种新型结构的透明薄膜太阳能电池。本发明具备以下优点:1)本发明的透明硅基薄膜太阳能电池没有n型掺杂层,节约了电池制备所用的原材料,降低了生产成本;2)本发明的透明硅基薄膜太阳能电池没有制备n型掺杂层这一工艺环节,减少了生产时间,提高了生产产能;3)本发明的透明硅基薄膜太阳能电池没有n型掺杂层,提高了电池的透光度。
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公开(公告)号:CN109920919A
公开(公告)日:2019-06-21
申请号:CN201711314201.9
申请日:2017-12-12
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L51/48
Abstract: 本发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体地说是一种柔刚两用型钙钛矿太阳能电池一体化沉积系统,包括前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置,所述前溅射装置、蒸发装置和后溅射装置内均设有柔性沉积轨道系统、刚性沉积轨道系统和多个腔室,柔性衬底通过所述柔性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动,刚性衬底通过所述刚性沉积轨道系统带动在各个腔室间移动;所述前溅射装置用于ITO溅射沉积和TiO2溅射沉积,所述蒸发装置用于CH3NH3PbI热蒸发沉积和PbCl3热蒸发沉积,所述后溅射装置用于NiO电极溅射沉积和Au电极溅射沉积。本发明根据钙钛矿的基本结构,将系统设计为溅射沉积-蒸发沉积-溅射沉积的真空法沉积模式,极大改善了钙钛矿太阳能电池的稳定性。
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公开(公告)号:CN109888110A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201711272715.2
申请日:2017-12-06
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明提供了一种压合式钙钛矿太阳能电池的制备方法,其第一块半电池由基底,导电层,电子传输层和钙钛矿前驱体层组成,第二块半电池由基底,导电层,空穴传输层和钙钛矿前驱体层组成。将两块半电池通过物理或化学方法加热压合形成压合式钙钛矿太阳能电池。本发明的压合式钙钛矿太阳能电池优势在于可以在制备钙钛矿层之前预先制备所有的导电层和电荷(包括电子和空穴)传输层,不仅消除传统制备方法中导电层和电荷传输层制备过程对钙钛矿层的负面影响,还保证导电层和电荷传输层的良好光电性能,有利于灵活设计导电层和电荷传输层的制备方法及材料结构,达到制备高效稳定钙钛矿太阳能电池的目的。
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公开(公告)号:CN109216476A
公开(公告)日:2019-01-15
申请号:CN201710549410.5
申请日:2017-07-07
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L31/0224
Abstract: 本发明公开了一种新型结构的硅基薄膜太阳能电池结构及其制备方法,属于太阳能电池技术领域。技术方案是:①在柔性衬底上沉积高温银膜(Ag);②在Ag上制备掺铝氧化锌膜(AZO),③在AZO上制备n型硅薄膜层;④在n型硅薄膜层上沉积本征型i层硅薄膜层;⑤在本征层硅薄膜上沉积p型薄膜掺杂层;⑥在P型薄膜掺杂层上采用喷枪喷涂导电金属膜,然后放进烘箱,将导电液体膜中的有机试剂蒸发掉,使导电油墨代替传统电池结构的TCO薄膜电极。通过p型硅薄膜掺杂层与导电膜之间形成内建电场,从而形成一种新型结构的薄膜太阳能电池。
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公开(公告)号:CN106493380B
公开(公告)日:2018-06-08
申请号:CN201610959921.X
申请日:2016-10-27
Applicant: 陕西师范大学 , 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明一种用于分解水制氢的非晶态金属粉末催化剂及其制备方法,其包括如下步骤,步骤1,按照1:1:(0.01‑1)的金属离子摩尔比例,称取水滑石类化合物、含钼的化合物和含钨的化合物混合得到混合粉末;步骤2,按水滑石类化合物中每1mol金属离子,取35‑60L的混合溶液备用;步骤3,将混合粉末加入到混合溶液中均匀混合,并在150℃~200℃下回流加热,搅拌反应20~30小时得到沉淀物;步骤4,将沉淀物清洗后,在120℃~150℃中加热烘干3‑5小时,然后在300℃~400℃中焙烧2‑4小时得到催化剂先驱体;步骤5,将催化剂先驱体在600℃~700℃下保温1.5h~10h,然后自然降温至室温。
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公开(公告)号:CN104979421B
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201410145563.X
申请日:2014-04-11
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
IPC: H01L31/078 , H01L31/0352
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明涉及一种叠层太阳能电池。该电池由非晶硅薄膜顶电池和钙钛矿中电池和纳米晶硅底电池构成,或者由非晶硅薄膜电池作为顶电池,钙钛矿电池作为底电池的双叠层结构。非晶硅,钙钛矿,纳米晶硅(晶体硅)三种材料的光学带隙非常匹配(1.75eV,1.5eV,1.12eV),可以分段吸收不同波段的光。非晶硅薄膜顶电池和纳米晶硅薄膜底(或者晶体硅,纳米晶硅锗,非晶硅锗)把钙钛矿夹在中间可以保护钙钛矿电池,减少其对大气和水对钙钛矿电池的影响。同时非晶硅顶电池可以吸收紫外光,对钙钛矿子电池起到保护作用。另外,顶层的非晶硅层比钙钛矿电池有更好的紫外和蓝光响应。弥补了钙钛矿中电池的不足。
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