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公开(公告)号：CN114905139A
公开(公告)日：2022-08-16
申请号：CN202110181566.9
申请日：2021-02-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B23K26/00 , B23K26/082 , B23K26/08 , B23K26/064
Abstract: 本发明公开了一种采用激光清除光盘数据的清洗装置和方法，装置包括：激光器，用于发出激光；一维振镜，用于偏转激光至待处理的光盘上，并控制激光在光盘上的轨迹呈线状；夹具，用于夹持固定待处理的光盘；电机，电机的输出轴与夹具连接，电机的输出轴与夹具同轴，以带动夹具及夹具上夹持的光盘转动；场镜，设置在一维振镜和夹具之间，用于将一维振镜偏转后的激光聚焦到待处理的光盘上；采用本发明提供的清洗装置，通过一维振镜将激光器发出的激光变成直线运动，配合电机带动夹具及光盘转动，完成激光对光盘整个面的扫描，在扫描过程中，高能激光破坏了光盘表面数据储存结构，完成数据的清除，数据清除后，光盘完整，有利于回收，对环境无影响。
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公开(公告)号：CN107442521B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201710716390.6
申请日：2017-08-18
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种激光清洗头，包括：脉冲激光源，用于输出脉冲激光光束；传能光纤，其一端与脉冲激光源连接，用于传输脉冲激光光束；准直器，与传能光纤的另一端连接，用于准直脉冲激光光束；反射镜，用于将准直后的脉冲激光光束反射至清洗样件的表面。本发明通过采用传能光纤和反射镜，使脉冲激光光束射入至清洗样件的表面，因此，激光清洗头的结构简单，操作便捷。反射镜采用可调谐聚焦光束反射镜，在反射激光光束的同时能够对光束聚焦整形，可使得射出的光束为高功率矩形光束，从而射到清洗物件表面的光束为线光束，形成线斑面，因此清洗范围大，且避免了传统清洗方式中点斑衔接时存在的微小缝隙，提高了整体的清洗效果。
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公开(公告)号：CN111893480A
公开(公告)日：2020-11-06
申请号：CN201910369694.9
申请日：2019-05-05
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: C23C24/10
Abstract: 一种用于薄板激光熔覆的工装装置及熔覆方法，包括设计制造带有热交换通道的工装底板，工装底板可以是一体或者分体装配的。将待激光熔覆薄板置于工装底板上，将压板压在薄板上，压板通过螺栓与工装底板相连，对薄板实施夹紧。激光熔覆过程为：将粉末通过送粉器送出，经送粉管连接到工装底板的进口，在出口处通过送粉管连接到激光熔覆头的粉末喷嘴上。激光熔覆过程中，激光作用于粉末与薄板基体上，形成熔覆层。薄板温度上升，并将热量传递给工装底板，工装底板上热交换通道中有载粉气体与粉末快速流动，与工装底板热交换，对工装底板起到冷却作用，从而降低了薄板熔覆过程的热量积累，减小变形量。
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公开(公告)号：CN107185916B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201710323559.1
申请日：2017-05-09
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种用于管道内壁清洗的激光清洗系统，包括：一激光清洗机；一传能光纤，其输入端与激光清洗机连接；一光纤锁紧头，用于锁紧和保护传能光纤的另一端的端头，该光纤锁紧头的另一端连接一激光清洗头；一移动平台，用于前后移动，该移动平台位于激光清洗头的下方；一空心马达，该马达位于激光清洗头的前端；一镜筒连接，一端用于连接马达并旋转，该镜筒连接筒的另一端连接有一角度可调谐镜筒；一反射镜，该反射镜位于镜筒连接筒与角度可调谐镜筒之间；一聚焦镜，其位于角度可调谐镜筒的出光端。本发明可以完成大角度的清洗工作，操作灵活方便，可以有效地解决管道内壁激光清洗工作。
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公开(公告)号：CN106654825B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201611232775.7
申请日：2016-12-27
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种同时输出纳秒和皮秒脉冲的光纤激光器，包括：一第一信号源、一第二信号源、一泵浦源、一第一激光脉冲选择器、一第二激光脉冲选择器、一控制器、一2×1光纤合束器、一光纤隔离器、一包层光剥离器、一增益光纤、一耦合输出镜和一聚焦镜；其中该增益光纤，用于放大输入的种子信号源，实现脉冲激光的放大输出，该增益光纤将第一激光脉冲选择器、第二激光脉冲选择器、2×1光纤合束器、光纤隔离器和包层光剥离器串接在一起；该聚焦镜位于耦合输出镜和泵浦源之间。本发明为输出时域上可控的纳秒和皮秒的脉冲序列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108889728A
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：CN201810832094.7
申请日：2018-07-25
Applicant: 中国科学院半导体研究所
Abstract: 一种激光清洗用、具有返回光监测功能的光纤输出端头，包括：石英端帽；主输出光纤，一端与石英端帽熔接；辅助探测光纤，与主输出光纤一起熔接在石英端帽的同一端或与主输出光纤包层熔接在一起；聚焦透镜，安装于辅助探测光纤的另一端，用于聚集待加工件返射的并沿辅助探测光纤传输的激光；光电探测器，安装于所述聚焦透镜的一侧焦点处，用于探测沿辅助探测光纤返回并被聚焦透镜聚集的激光量，并将返回激光转换成电信号进行监测，以缓解现有技术中进行激光加工时返回的激光束烧坏光纤激光器泵浦源，光电探测器误报警等技术问题。
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公开(公告)号：CN107147001A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201710559791.5
申请日：2017-07-11
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01S3/0941 , H01S3/042 , H01S3/16
CPC classification number: H01S3/09415 , H01S3/042 , H01S3/1643
Abstract: 本公开提供了一种旋转半导体侧泵光泵浦棒状晶体的激光模块，包括晶体棒；及泵源组，包括九个半导体激光一维线阵泵源，每个半导体激光一维线阵泵源包括多个芭条，相邻芭条之间具有一间距；九个半导体激光一维线阵泵源根据芭条排布类型的不同分为三类泵源，即第一类、第二类以及第三类半导体激光一维线阵泵源；该九个半导体激光一维线阵泵源按照第一类‑第二类‑第三类‑第一类‑第二类‑第三类‑第一类‑第二类‑第三类的顺序均匀环绕所述晶体棒以进行泵浦。本公开还提供了一种激光器。本公开激光模块及激光器降低了全固态激光模块在高维度泵浦时激光晶体棒的热效应，消除了晶体棒轴向上的泵浦暗区，提高了半导体泵源与激光晶体棒的利用率。
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公开(公告)号：CN105215007A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510628659.6
申请日：2015-09-28
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: B08B7/00
Abstract: 一种物体表面污染物清洗用的光路系统，包括：一激光器，其发出圆形光斑；一方形光斑整形器，该方形光斑整形器将圆形光斑变换成发散的方形光斑；一第一、第二透镜，其依序位于激光器的输出光路上，该第一柱透镜用于将方形光斑的一边长a方向进行准直，该第二透镜用于将方形光斑另一边长b方向进行准直；一第一、第二扫描镜，其依序位于激光器的输出光路上，该第一、第二扫描振镜用于控制清洗用扫描光斑摆动位置，控制清洗；一聚焦场镜，其位于第二扫描镜的光路上，该聚焦场镜用于将平行长方形光斑聚焦形成尺寸为百微米级的清洗用长方形光斑。本发明可实现聚焦方形光斑两边长方向不同尺寸调节，长方形聚焦光斑清洗可在减少重叠率的基础上，消除清洗盲区，提高清洗质量及清洗效率。
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公开(公告)号：CN117976582A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410177664.9
申请日：2024-02-08
Applicant: 中国科学院半导体研究所
IPC: H01L21/67 , H01S3/00 , H01S5/00 , H01L21/268
Abstract: 本申请提供了一种脉宽可调的多脉冲激光退火系统及其控制方法，该激光退火系统包括激光器组件和调制组件。激光器组件用于输出调制脉冲激光，以对半导体晶体进行退火，调制组件与激光器组件连接，用于向激光器组件输出射频信号，以对激光器组件产生的激光进行调制。其中，射频信号被配置为一个周期内设有多个功率自第一功率向第二功率下降的射频台阶，激光器组件基于射频信号的每个射频台阶控制激光器组件输出多个不连续的子脉冲激光，多个不连续的子脉冲激光共同组成调制脉冲激光，对半导体晶体表面的退火温度和退火时间进行调整，提高了半导体晶体激光退火工艺的生产效率。
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