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公开(公告)号：CN104568756A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510028916.2
申请日：2015-01-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01N21/01 , G01N21/3504
Abstract: 本发明公开了一种中波红外光谱可识别探测器，由具备空间和光谱分光能力的中波红外窄带滤光片阵列与相应的中波红外探测器单片集成的分光与探测一体化探测器，被探测光通过不同波长窄带滤光片单元进入探测器相应像元，就可以实现不同探测器像元只对不同波长光响应的功能，同时获取波段内不同波长的光响应信号。它结构简单，能同时实现各个通道的信号探测，无需进行光谱扫描，大幅节省了探测时间；避免了由于独立滤光片的衬底厚度以及使用粘合剂粘合探测器与分光器件导致探测器与分光器件间接接触引起的信号串扰；探测器像元与滤光片阵列采用光刻套刻技术对准，对准精度提高，解决了传统分光与探测分立的配准难题。
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公开(公告)号：CN104032278A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201410258898.2
申请日：2014-06-12
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种二氧化钒薄膜的制备方法。通过对金属钒或低价态钒氧化物薄膜进行真空条件下通氧退火得到有相变二氧化钒薄膜。根据低价钒氧化物的类型和厚度选择最合适的氧气分压、退火温度和退火时间可以得到性能优异的二氧化钒薄膜，2400nm处红外调节率可达58％，可见光透过率43％。通过对已经掺杂的低价态钒氧化物薄膜氧化得到掺杂的二氧化钒薄膜，该掺杂可以调节二氧化钒相变温度以适应不同需求。该种二氧化钒薄膜可以应用到光信息存储、光电开关和智能窗以及非制冷红外焦平面成像上。本发明与大规模镀膜玻璃生产线工艺兼容，可以在非晶玻璃上生长性能良好的二氧化钒薄膜。
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公开(公告)号：CN103165723A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310100439.7
申请日：2013-03-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海中科高等研究院
IPC: H01L31/101 , G01J11/00 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明公开了一种汇聚增强光响应的超导单光子探测器及其制作方法，包括MgO衬底、超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层、金属阻挡环和金属光栅层。超导单光子探测器、透明介质隔离层、金属反射层、透明介质层和金属光栅层依次按照从下向上的顺序生长在MgO衬底上；金属阻挡环位于透明介质层的外围，并连接金属反射层和金属光栅层；金属光栅层为同心的金属多环结构；金属反射层为一个金属环与一个透明介质环组合而成，且两环同心。本发明通过将大面积范围内入射的信号光汇聚到很小面积的超导单光子探测器光敏面上来显著提升其响应，最大可提升30倍。
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公开(公告)号：CN102910837A
公开(公告)日：2013-02-06
申请号：CN201210393059.2
申请日：2012-10-16
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
IPC: C03C17/36
Abstract: 本发明公开了一种离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃及其制备方法。该离线可钢化智能低辐射镀膜玻璃包括玻璃衬底、低辐射功能膜系、二氧化钒红外辐射智能调节膜系和可离线钢化的氮化硅保护膜，使镀膜玻璃同时具备随温度智能调节效果、低辐射节能效果和离线可钢化性能。本发明的复合膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积玻璃衬底上镀制，还可按照实际需求对镀膜玻璃进行切割后再离线钢化处理，是一类灵活性高、可实现大规模生产的新型智能建筑节能镀膜玻璃产品。
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公开(公告)号：CN105157585B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201510606559.3
申请日：2015-09-22
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种同时获取薄膜折射率与厚度的双标准干涉片拟合法，它只需将待测薄膜镀制在两种镀有一层已经形成干涉但不同折射率薄膜的标准干涉片上，即可通过同时拟合两种标准干涉片镀膜前后的透(或反)射光谱，同时精确地获取待测薄膜的厚度与折射率，膜厚测量极限高达1nm，相对于传统方法30nm测量极限具有很大提高。另外，该方法由于同时对两种标准干涉片进行拟合，可以极大地减小测试系统的误差，显著降低对测试系统性能的要求和成本。而且，本发明方法适用于镀膜系统的在线检测与监控，可以在工业生产或者科学研究中推广使用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105157585A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510606559.3
申请日：2015-09-22
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种同时获取薄膜折射率与厚度的双标准干涉片拟合法，它只需将待测薄膜镀制在两种镀有一层已经形成干涉但不同折射率薄膜的标准干涉片上，即可通过同时拟合两种标准干涉片镀膜前后的透(或反)射光谱，同时精确地获取待测薄膜的厚度与折射率，膜厚测量极限高达1nm，相对于传统方法30nm测量极限具有很大提高。另外，该方法由于同时对两种标准干涉片进行拟合，可以极大地减小测试系统的误差，显著降低对测试系统性能的要求和成本。而且，本发明方法适用于镀膜系统的在线检测与监控，可以在工业生产或者科学研究中推广使用。
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公开(公告)号：CN103105011B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201310040103.6
申请日：2013-01-31
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所 , 上海德福光电技术有限公司
CPC classification number: Y02E10/40
Abstract: 本发明公开了一种适于中高温热利用的太阳能选择性吸收膜系及其制备方法。该太阳能选择性吸收膜系自下而上依次包括镀制在金属基底上的红外高反射银薄膜、铜薄膜、钛铝氮氧薄膜、氧化锌锡锑薄膜以及二氧化硅薄膜。本发明的吸收膜系太阳能吸收率大于96%，发射率小于2%，具有超低发射率，光热转换效率高的特点，同时膜系中的氧化锌锡锑材料镀膜速率高，利于提高生产效率。该膜系可广泛应用于太阳能光热转换的集热器，适合于太阳能热利用在建筑一体化产品方面的应用，尤其适合于中高温太阳能热利用产品的广泛使用。本发明的吸收膜系可通过工业化磁控溅射制备方法在大面积基底上连续镀制，实现低成本大规模高效生产。
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公开(公告)号：CN104359555A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410546472.7
申请日：2014-10-16
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种基于数字微反射镜的便携式高光谱重构器，包括：分光器，所述的分光器将进入系统的光按不同波长分光并输出；通道选择器，所述的通道选择器不同空间通道控制着不同波长汇聚光斑的传输，并可自由选择哪些通道的光斑能够进入后续系统；光汇聚器，所述的光汇聚器将不同通道的光斑汇聚成一个极小的光斑并输出。该重构器可预先利用标准光源和大型高精度谱仪对每个通道进行高精度光谱定标，然后结合实际测得的样品光谱曲线重构出突破系统自身光谱分辨极限的光谱数据，从而提升便携式光谱系统的光谱分辨能力。
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公开(公告)号：CN103383155A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：CN201310251610.4
申请日：2013-06-21
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种Ti合金氮化物选择性吸收膜系。该吸收膜系包括：金属衬底、在衬底上依次沉积的Ti合金氮化物选择性吸收膜层、减反射介质膜层、SiO2保护膜层。本发明的吸收膜系对太阳能的吸收率大于97%，发射率小于3%，具有光热转换效率高和集热效率好的特点。本发明的吸收膜系在保持高吸收率和低发射率的前提下，通过调节Ti合金成份可以满足太阳能热水器、太阳能空调等光热产品的多样化和个性化需求。由于本发明Ti合金氮化物选择性吸收膜系结构简单，不涉及氧元素沉积问题，具有制备工艺简单、使用靶材数量少的特点，因此可以极大提高生产效率，降低工业大规模生产的成本，对太阳能选择性吸热膜领域的发展有着十分重要的意义。
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公开(公告)号：CN103243885A
公开(公告)日：2013-08-14
申请号：CN201310148800.3
申请日：2013-04-26
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: E04F13/077 , B32B33/00 , B32B9/04 , B32B15/04 , B32B37/02
Abstract: 本发明公开了一种低成本颜色可调的低辐射窗槛墙膜系及其制备方法。该膜系自透明基底向上依次包括镀制在透明基底上的下层氮化硅薄膜、可见光吸收薄膜、金属薄膜以及上层氮化硅保护膜。本发明的膜系在可见光范围对太阳光的平均反射率在5%～30%，而辐射率小于10%。同时本发明的膜系在保持对可见光低反射、红外低辐射率前提下，还具有外观颜色可按需求进行调节的特点，丰富多彩的外观颜色可更好地实现了窗槛墙对建筑的美化效果。由于采用了上、下层氮化硅保护膜夹心结构，本发明的膜系还具备可钢化特性。本发明的颜色可调的低辐射窗槛墙膜系可直接通过工业化磁控溅射制备方法在大面积透明基底上连续镀制，易于实现低成本、大规模工业化生产。
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