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公开(公告)号:CN114376580A
公开(公告)日:2022-04-22
申请号:CN202210002988.X
申请日:2022-01-04
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请涉及一种柔性神经电极及其制备方法、脑机接口,该方法包括:获取硅衬底;于硅衬底上形成牺牲层;在第一旋涂工艺条件下,于牺牲层上形成第一聚酰亚胺层;于第一聚酰亚胺层上形成探测电极阵列;在第二旋涂工艺条件下,于探测电极阵列上形成第二聚酰亚胺层;第二聚酰亚胺层的厚度大于各探测电极的厚度;于第二聚酰亚胺层上形成硬掩膜层;对硬掩膜层和第二聚酰亚胺层进行刻蚀,以露出各探测电极的部分表面;去除硬掩膜层,并释放牺牲层,使得硅衬底脱落,得到柔性神经电极。本申请可以降低柔性神经电极的整体厚度,进而可以提高器件柔性水平,减少神经电极植入大脑后对大脑的损伤,并进一步提升神经电极长期在体植入的可行性、可靠性。
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公开(公告)号:CN112244850B
公开(公告)日:2022-03-25
申请号:CN202011054647.4
申请日:2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/293
Abstract: 本申请公开了一种颅内深部电极记录器件及其制备方法、系统,其包括柔性衬底,位于柔性衬底上第一金属层,其依次包括后端布线部、金属互连部以及多个间隔设置的电极监测布线部;覆盖在第一金属层上的柔性封装层;位于柔性封装层上的第二金属层,其中的每个电极监测位点的一端通过柔性封装层开设的通孔与电极监测布线部中对应的金属接触点连接,另一端暴露在外以用于监测颅内生物信号。本申请的颅内深部电极记录器件实现了器件体积最小、灵活性最大化,且大大降低了器件的有效弯曲刚度和组织位移,显著提高了其长期生物相容性。
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公开(公告)号:CN112099160B
公开(公告)日:2021-06-22
申请号:CN202010819615.2
申请日:2020-08-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明公开了一种植入式神经光电极的后端连接结构及其制备方法,其结构包括:柔性轻质塑料基板;光纤支架,内设有光纤,光纤支架以预设角度固定在柔性轻质塑料基板上;光电极探针后端,包括后端硅衬底以及设在后端硅衬底上的输入光栅,后端硅衬底与柔性轻质塑料基板粘接连接,输入光栅与光纤的输出端耦合连接,后端硅衬底上还设有第一焊盘;PCB板,设有第二焊盘,第二焊盘与第一焊盘一一对应,PCB板与后端硅衬底焊接连接。本发明提供的后端连接结构基于光栅耦合引入光信号,能降低对准精度的要求且简化对准操作流程;基于倒装焊接PCB电路板和探针后端焊盘,减少了焊盘间引线长度,从而减小连接电阻和寄生电容,提高了采集的电生理信号的信噪比。
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公开(公告)号:CN112931493A
公开(公告)日:2021-06-11
申请号:CN202110152762.3
申请日:2021-02-03
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A01N3/00
Abstract: 本申请涉及一种用于中小型中药材的保鲜方法,该方法包括:制备浓度为0.1%~10%的蚕丝蛋白溶液;对待保鲜的中药材进行预处理;将中药材浸泡于蚕丝蛋白溶液中,使中药材的表面与蚕丝蛋白溶液充分接触;从蚕丝蛋白溶液中取出中药材,进行干燥处理;对干燥后表面覆有均匀蛋白薄膜的中药材进行交联处理。如此,可以达到长期保鲜的效果,同时用于最终形成的用于中药材保鲜的蛋白薄膜具有生物相容性、生物可降解性、抗菌性和安全性。
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公开(公告)号:CN112244839A
公开(公告)日:2021-01-22
申请号:CN202011053904.2
申请日:2020-09-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请公开了一种用于长期植入的柔性电极探针及其制备方法、设备,所述方法至少包括:获取初始柔性电极探针;至少在初始柔性电极探针中第二电极层的外露部表面形成导电修饰层;所述导电修饰层的材料包括生物相容性的导电聚合物;至少在所述导电修饰层表面和所述弹性绝缘层表面形成包药的生物材料保护层,得到用于长期植入的柔性电极探针。本申请提供的技术方案能够实现兼具高效率记录和/或刺激与长期稳定在体的特点,有效抑制了术中感染和术后炎症反应。
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公开(公告)号:CN112099160A
公开(公告)日:2020-12-18
申请号:CN202010819615.2
申请日:2020-08-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B6/42 , A61B5/00 , A61B5/0478 , A61B5/0482
Abstract: 本发明公开了一种植入式神经光电极的后端连接结构及其制备方法,其结构包括:柔性轻质塑料基板;光纤支架,内设有光纤,光纤支架以预设角度固定在柔性轻质塑料基板上;光电极探针后端,包括后端硅衬底以及设在后端硅衬底上的输入光栅,后端硅衬底与柔性轻质塑料基板粘接连接,输入光栅与光纤的输出端耦合连接,后端硅衬底上还设有第一焊盘;PCB板,设有第二焊盘,第二焊盘与第一焊盘一一对应,PCB板与后端硅衬底焊接连接。本发明提供的后端连接结构基于光栅耦合引入光信号,能降低对准精度的要求且简化对准操作流程;基于倒装焊接PCB电路板和探针后端焊盘,减少了焊盘间引线长度,从而减小连接电阻和寄生电容,提高了采集的电生理信号的信噪比。
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公开(公告)号:CN111956220A
公开(公告)日:2020-11-20
申请号:CN202010857959.2
申请日:2020-08-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/0478 , G03F7/20 , G03F1/00
Abstract: 本发明公开了一种双向皮层脑电极制备方法及其制备的双向皮层脑电极。该双向皮层脑电极制备方法包括以下步骤:S1:制备聚合物基底层;S2:制备聚合物封装层;S3:制备蚕丝蛋白功能层;S4:制备铝掩膜层;S5:制备网格结构;S6:制备电极位点和连接位点;S7:制备蚕丝蛋白药物释放载体;S8:制备双向皮层脑电极。本发明可以避免蚕丝蛋白药物释放载体和电极位点的位置重叠,使得药物刺激作用不会干扰到皮层脑电信号的采集;本发明有利于研究药物作用于脑皮质连接网络的时空分布特点,也有利于原位评估药物的疾病干预治疗效果;本发明可以在动态采集皮层脑电信号的同时及时可控地进行相关脑疾病的药物干预治疗。
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公开(公告)号:CN111938635A
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN202010795040.5
申请日:2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/0478
Abstract: 本申请提供一种脑电极后端连接用凸点、测试板的制备方法及测试结构,该脑电极后端连接用凸点的制备方法包括以下步骤:在脑电极上制备凸点下金属层;凸点下金属层为镍金属层;在凸点下金属层上旋涂一层正性光刻胶;对正性光刻胶进行曝光、显影,暴露出凸点窗口区域;在凸点窗口区域电镀铜层;在铜层上电镀铅锡合金层,铅锡合金层能够覆盖凸点窗口区域;去除正性光刻胶,对凸点下金属层进行干法刻蚀处理,获得蘑菇状焊料柱;通过保护回流,获得球形凸点。本申请根据柔性脑电极的焊盘材质的特性提供的脑电极后端连接用凸点的制备方法,使脑电极可以在较低温度下实现热压互联,避免对器件的损坏。
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公开(公告)号:CN111938633A
公开(公告)日:2020-11-17
申请号:CN202010798232.1
申请日:2020-08-10
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/0476 , A61B5/0478
Abstract: 本申请实施例所公开的一种基于脑功能分区的柔性可拆分头皮脑电极的制备方法及其结构,根据大脑皮层的各功能区在头皮表面的位置映射以及各功能区在大脑颅骨上对应区域的弧度,确定头皮脑电极中电极区的数量和形状以划分和设计头皮脑电极,进而使得头皮脑电极可以按照不同信号探测部位的需求,进行电极区的拆分和组合使用,可以优化电极制造,覆盖大范围的头皮面积。此外,使用改性后的丝蛋白水凝胶作为电极的外部衬底,可以使得电极具有高柔性和高贴附性,具有良好的操作性,使得佩戴更加舒适,能够实现高空间采样率和高精度的脑电信号无创探测。
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公开(公告)号:CN111089839A
公开(公告)日:2020-05-01
申请号:CN201911369560.3
申请日:2019-12-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种分析人体表液的柔性无线集成皮肤视觉传感系统,包括:封装机构采用多层封装层结构,用于保存传感系统的稳定性,封装机构内部设有第一空腔,通过第一空腔将封装机构分为第一封装层和第二封装层,第二封装层的厚度大于第一封装层厚度,第二封装层设有第二空腔;感光机构包括刺激性感光层和柔性感光层,用于实时监测体表液体变化,刺激性感光层设置在空腔内,与第一封装层贴合,柔性感光层和电极机构均设置在第二空腔内,柔性感光层贴合在第二空腔顶端,电极机构贴合在第二空腔底端;蛋白粘性基底设置在封装机构底部,用于与人体表面贴合;本发明能够避免接触后的造成免疫反应和经常更换电池,且实时监测环境和体表液体的变化。
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