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公开(公告)号：CN1648662A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510023894.7
申请日：2005-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种玻璃微流控芯片的低温键合方法，其特征在于具体包括(1)在腐蚀出相应图形和完成储液池打孔加工后基片进行表面清洗；(2)基片预键合，清洗后的基片和盖片用去离子水冲洗后，直接在去离子水中将基片和盖片的键合面贴合在一起，转移到培养皿中，然后放置到真空干燥箱中，干燥温度为90－110℃，抽真空使真空度达60－90Pa并保持真空2 h完成基片预键合；(3)基片预键合后退火，提高键合强度，在预键合好的基片上面施加0.2－0.4MPa的压力，同时将真空干燥箱的温度设定为180－210℃，抽真空真空度为60－90Pa保持6h后关闭电源，自然冷却至室温。键合过程在非净化条件下完成，基片预键合仅需真空干燥箱中施加一定压力实现高温键合与退火。
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公开(公告)号：CN101037185B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200710036417.3
申请日：2007-01-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种石英玻璃上纳米沟道的制作方法。其特征在于制作的关键技术包括光刻、湿法腐蚀和键合三个关键步骤，其中湿法腐蚀液配置，这是MEMS加工技术中的关键之一，它直接影响纳米沟道的图形结构。本发明采用的基底材料为石英玻璃，工艺简单不需要反应离子刻蚀等设备，根据配制的腐蚀液调节腐蚀时间和温度可精确控制纳米沟道的深度误差在±1nm左右。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1648663B
公开(公告)日：2011-04-20
申请号：CN200510023895.1
申请日：2005-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法，更确切地说是一种基于SU-8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU-8做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU-8层实现先光刻显影制得微管道，再与玻璃盖片直接键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显影时间不均一，管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料，利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。
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公开(公告)号：CN100342028C
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200510023584.5
申请日：2005-01-26
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: C12Q1/25 , G01N27/447
Abstract: 本发明涉及一种微流体芯片电泳分离检测同工酶活性的方法，其特征在于首先通过微加工工艺制作石英介质的微流体芯片，然后在芯片微管道中加入同工酶反应所需要的辅酶、底物、缓冲液及筛分介质等各种成分，并在加样池中加入待检测样品，最后将加样后的微流体芯片，置于光学检测平台上，各池中插入相应电极，施加适当时序和幅值的电压进行分离、反应及检测。与常规同工酶分离检测技术相比，本发明具有样品和试剂消耗量少，检测速度快，成本低等优点。
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公开(公告)号：CN1295508C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200510023894.7
申请日：2005-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种玻璃微流控芯片的低温键合方法，其特征在于具体包括(1)在腐蚀出相应图形和完成储液池打孔加工后基片进行表面清洗；(2)基片预键合，清洗后的基片和盖片用去离子水冲洗后，直接在去离子水中将基片和盖片的键合面贴合在一起，转移到培养皿中，然后放置到真空干燥箱中，干燥温度为90-110℃，抽真空使真空度达60-90Pa并保持真空2h完成基片预键合；(3)基片预键合后退火，提高键合强度，在预键合好的基片上面施加0.2-0.4MPa的压力，同时将真空干燥箱的温度设定为180-210℃，抽真空真空度为60-90Pa保持6h后关闭电源，自然冷却至室温。键合过程在非净化条件下完成，基片预键合仅需真空干燥箱中施加一定压力实现高温键合与退火。
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公开(公告)号：CN1648663A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN200510023895.1
申请日：2005-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法，更确切地说是一种基于SU－8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU－8做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU－8层实现先光刻显影制得微管道，再与玻璃盖片直接键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显影时间不均一，管道不平整的缺点。选用紫外高透过率的石英作衬底材料，利用本法可以方便制备用于紫外吸收检测的微流控芯片。因此本发明建立了一种低成本、高成功率的微流控芯片制作方法。
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公开(公告)号：CN2859534Y
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200520039587.3
申请日：2005-02-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本实用新型的同工酶生化检测微系统包括微流控制芯片和温控装置及电泳电极模块。本实用新型的分析仪器包括：光源和光学元件模块、信号采集处理及仪器自动控制模块和用户工作界面模块等组成。本实用新型采用微流控芯片电泳作为一种新型的技术平台具有快速高效、成本低和操作简单等优点。应用Bio－MEMS技术不仅可以对现有的生物医疗器械进行改进和完善，而且可以创造出新的分析操作手段，极大地推动医疗事业和生物工程技术的发展。
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