大口径倍频晶体o光e光与边缘平行度测量装置及方法

    公开(公告)号:CN110441035A

    公开(公告)日:2019-11-12

    申请号:CN201910772671.2

    申请日:2019-08-20

    Abstract: 本发明公开了大口径倍频晶体o光e光与边缘平行度测量装置及方法,属于光学测量领域,本发明包括:发射器组件,用于发出一束垂直偏振光;分光镜,用于将所述垂直偏振光分为第一光束、第二光束;第一探测器,用于记录第一光束的参量;第二光路,所述第二光路包括依次设置的起偏器、待测晶体、以及与所述起偏器正交布置的检偏器,还包括用于驱动所述起偏器和/或检偏器分别绕起偏器/或检偏器的轴线转动的旋转组件;第二探测器,用于记录第二光束通过第二光路后的参量;其中,所述第一光束与第二光束之间的参量变化限定所述垂直偏振光,本发明可极大地消除了用于发射激光的激光器功率随时间变化的影响。

Patent Agency Ranking