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公开(公告)号：CN104359547A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410626399.4
申请日：2014-11-10
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明为一种具有差动效应的MEMS矢量水听器敏感结构，解决了现有的弹性隔振结构的声散射问题、只能针对特定频带的噪声进行降幅处理以及结构稳定性、可靠性不足等问题。该敏感结构包括硅基座框架、悬臂梁、中心连接体、上下对称粘结的微型柱状体，十字形悬臂梁上设置有八个应变压敏电阻。工作时，平台的振动以惯性力的形式作用于微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生等值、反向的力矩，声信号通过封装结构产生差模信号并作用于上下微型柱状体，上下对称的微型柱状体产生差模力矩。通过该结构的共模抑制，差模输出的特性来达到减振的效果。本发明结构简单、可靠，减振效果明显，不受振动来源、振动频带的影响。
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公开(公告)号：CN105606201B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610058566.9
申请日：2016-01-28
Applicant: 中北大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明为一种复合式MEMS仿生水听器，解决现有MEMS矢量水听器只能测声场矢量信息、灵敏度和频率响应带宽均不理想以及左右舷模糊等问题。本发明水听器包括由底层硅、氧化绝缘层和顶层硅，在顶层硅上均布四组四梁纤毛式声电换能结构，四组四梁纤毛式声电换能结构正下方的氧化绝缘层被刻蚀掉；氧化绝缘层上均布有四个空腔，顶层硅及底层硅上正对每个空腔的位置溅射有上、下电极，顶层硅上围绕每个上电极均布四个与空腔相通的注油孔。本发明水听器结构简单，极大的拓宽了有效频带范围，单片集成便于安装和测试，提高了安装精度，最终以单个传感器实现了小体积内的传感器组阵，克服了在传统的组阵中的各个水听器的不一致性。
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公开(公告)号：CN105232080B
公开(公告)日：2017-10-31
申请号：CN201510589217.5
申请日：2015-09-17
Applicant: 中北大学
IPC: A61B7/04
Abstract: 本发明提供了一种全新的电子听诊器，具体是一种基于MEMS声传感器的可视化电子式听诊器，其包括聚氨酯透声帽、壳体和盖体，壳体内灌满绝缘硅油，壳体内固定有MEMS声传感器微结构及充满绝缘硅油，壳体的壳底外表面上设有信号处理电路板仓和锂电池仓，盖体上设有液晶显示屏和若干功能选择按键，信号处理电路板仓内安装有信号处理电路板，信号处理电路板上设有各控制模块，信号处理电路板与液晶显示屏及MEMS声传感器微结构连接。本发明听诊器具有体积小、可视化、检测灵敏、低成本、可批量加工，无线传输到电脑端显示波形的优点，比传统听诊器检测心率更准确、更直观、更方便。
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公开(公告)号：CN104216111B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201410532691.X
申请日：2014-10-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。
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公开(公告)号：CN104216111A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410532691.X
申请日：2014-10-11
Applicant: 中北大学
IPC: G02B26/08
Abstract: 本发明涉及微角锥反射镜，具体是一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构及其制造方法。本发明解决了现有微角锥反射镜的制造方法因组装工艺限制而无法确保微角锥反射镜的成品率和工作性能的问题。一种角度可调的微角锥反射镜阵列结构，包括正方形硅基片、正方形二氧化硅层、铂钛下电极层、正方形铂钛底镜、PZT压电驱动悬臂梁、PZT平衡梁、铂钛上电极层、十字形侧镜、金层；正方形硅基片的正面与背面之间贯通开设有正方形通孔；正方形二氧化硅层层叠于正方形硅基片的正面；正方形二氧化硅层的正面与背面之间贯通开设有四组通孔。本发明适用于无线激光通信。
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公开(公告)号：CN103557926A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201310512040.X
申请日：2013-10-26
Applicant: 中北大学
IPC: G01H3/04
Abstract: 本发明为一种基于丁腈橡胶帽封装的高灵敏度宽量程仿生水听器，解决了现有封装结构对水听器灵敏度损失严重的问题。本发明包括内置信号处理电路板金属管壳，金属管壳顶部延设有缩径管壳，缩径管壳顶部接待注油孔的支撑圆盘，支撑圆盘上安装有硬支架，硬支架上固定带敏感柱体的四梁敏感微结构，支撑圆盘上设有由丁腈橡胶制作而成的透声帽。本发明针对现有MEMS矢量水听器的封装结构，从透声帽材料、水听器尺寸等方面进行了改进。选用丁腈橡胶材料，在不影响矢量水听器指向性的情况下，提高了水听器的灵敏度，拓宽了水听器频带，并使水听器的封装进一步小型化，具有良好应用前景。
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公开(公告)号：CN103424770A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310362765.5
申请日：2013-08-20
Applicant: 中北大学
IPC: G01V1/00
Abstract: 本发明涉及管道内检测器的定位技术，具体是一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列。本发明解决了现有管道内检测器的定位技术定位精确性低的问题。一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列包括两个四梁臂硅微结构、两个微型柱状体、两个中心连接体、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构和两个中心连接体均位于同一平面；两个微型柱状体的上端各自垂直固定于两个中心连接体的下表面中央。本发明适用于油气管道的内检测器的声定位，也适用于各类管道的泄漏检测定位。
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公开(公告)号：CN106153243A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201610488805.4
申请日：2016-06-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01L19/06
CPC classification number: G01L19/06 , G01L19/0645
Abstract: 本发明涉及海洋湍流探测，具体是一种MEMS湍流传感器封装方法。本发明针对MEMS湍流传感器在海中应用可靠性封装的技术瓶颈问题，提出Parylene薄膜淀积、保护罩、保护杆和中空壳体结合的保护方式，解决电绝缘、防腐蚀、耐高静水压、防碰撞、防泥沙堵塞等问题。本发明适用于MEMS湍流传感器的封装。
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公开(公告)号：CN103424770B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310362765.5
申请日：2013-08-20
Applicant: 中北大学
IPC: G01V1/00
Abstract: 本发明涉及管道内检测器的定位技术，具体是一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列。本发明解决了现有管道内检测器的定位技术定位精确性低的问题。一种用于管道内检测器声定位的单片集成敏感阵列包括两个四梁臂硅微结构、两个微型柱状体、两个中心连接体、以及检测电路；两个四梁臂硅微结构和两个中心连接体均位于同一平面；两个微型柱状体的上端各自垂直固定于两个中心连接体的下表面中央。本发明适用于油气管道的内检测器的声定位，也适用于各类管道的泄漏检测定位。
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