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公开(公告)号：CN1541779A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN200410032967.4
申请日：2004-04-14
Applicant: 东京応化工业株式会社
Abstract: 本发明提供可以简单地加工狭缝喷嘴、且不引起毛细管现象的狭缝喷嘴及使用该狭缝喷嘴的处理液供给装置。本发明涉及按设定宽度在被处理物表面供给处理液的狭缝喷嘴，前述狭缝喷嘴1采用左右半体(2)、(3)合并构成，其中一边的材质为金属材料、另一边的材质为树脂材料，另外具有该狭缝喷嘴的处理液供给装置，在调温的处理液的循环回路(8)的设定部位设置前述狭缝喷嘴。
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