公开(公告)号：CN101213491A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200680024028.2

申请日：2006-04-18

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 弓场智之 ,  藤田阳二 ,  富川真佐夫

IPC: G03F7/085 ,  G03F7/075 ,  C08K5/544

CPC classification number: G03F7/0751 ,  C08K5/0025 ,  C08K5/544 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0226 ,  G03F7/0755 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/117

Abstract: 本发明的感光性树脂组合物，其含有(a)碱可溶性树脂、(b)具有芳香族仲氨基和烷氧基的硅化合物、以及(c)选自光聚合引发剂、光酸发生剂和光碱发生剂中的至少1种。根据本发明，可以得到不损害溶液的保存稳定性、显著提高固化后的与基板的粘合性的同时，显影时不剥离微细图案的感光性树脂组合物。

公开(公告)号：CN1971418A

公开(公告)日：2007-05-30

申请号：CN200610114895.7

申请日：2000-05-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 富川真佐夫 ,  諏访充史 ,  藤田阳二

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/022

Abstract: 本发明提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物，且满足条件(b)相对于100重量份的聚合物，含有通式(8)所示的酚化合物1～50重量份与萘醌二叠氮基磺酸酯1～50重量份。

公开(公告)号：CN1275094C

公开(公告)日：2006-09-13

申请号：CN00800643.1

申请日：2000-05-30

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 富川真佐夫 ,  諏访充史 ,  藤田阳二

IPC: G03F7/022 ,  G03F7/037 ,  C08L77/06 ,  C08L79/08

Abstract: 提供一种与正型感光性树脂母体组合物有关的、能够碱性显影的感光性组合物，其特征在于，含有以下述通式(1)所示结构单元作为主要成分的聚合物，且满足下述条件(a)和/或(b)。(a)含有偶极矩在0.1德拜以上、1.6德拜以下的通式(6)或(7)所示的酚化合物与萘醌二叠氮基磺酸的酯1～50重量份。(b)含有通式(8)所示的酚化合物的萘醌二叠氮基磺酸酯相对于100重量份的聚合物，萘醌二叠氮基磺酸酯的添加量为1-50重量份。

公开(公告)号：CN1480491A

公开(公告)日：2004-03-10

申请号：CN03152545.8

申请日：2003-08-01

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 藤田阳二 ,  诹访充史 ,  富川真佐夫

IPC: C08L79/08

CPC classification number: G03F7/0233 ,  G03F7/0048 ,  Y10S430/108

Abstract: 本发明公开了一种涂布均匀性好的感光性树脂前体组合物，含有(a)耐热性树脂前体聚合物，(b)辐射敏感性化合物，(c)通式(1)表示的溶剂。(式中，R1表示C1－C3的烷基，R2、R3、R4、R5分别表示氢或C1－C3的烷基。l表示0－3的整数)。