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公开(公告)号：CN108183082A
公开(公告)日：2018-06-19
申请号：CN201810159865.0
申请日：2018-02-26
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
IPC分类号： H01L21/673
摘要： 本发明公开了一种硅片承载机构，属于硅片清洗技术领域。该硅片承载机构包括底座、第一硅片承载架和第二硅片承载架，第一硅片承载架和第二硅片承载架对称设置在底座的上表面上，第一硅片承载架的顶部设有多道第一硅片卡槽，相邻两个第一硅片卡槽之间的距离相等，第二硅片承载架的顶部设有多道第二硅片卡槽，相邻两个第二硅片卡槽之间的距离相等，第一硅片卡槽和第二硅片卡槽一一对应，第一硅片卡槽的槽底和第二硅片卡槽的槽底均处于同一弧面上，弧面的半径与该承载机构所承载的硅片的半径相等，第一硅片卡槽和第二硅片卡槽之间的圆心角α小于180°。该承载机构用于将硅片承载花篮内的硅片顶起，便于后续的硅片清洗工作。
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公开(公告)号：CN110203683A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910440298.0
申请日：2019-05-24
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
IPC分类号： B65G47/90
摘要： 本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
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公开(公告)号：CN109719071A
公开(公告)日：2019-05-07
申请号：CN201910060208.5
申请日：2019-01-22
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本发明的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。
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公开(公告)号：CN108389813A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810159849.1
申请日：2018-02-26
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种硅片清洗干燥一体化装置，该装置包括可移动框架，在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽，所述升降装置设置在箱体中，在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块。本发明能够实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率；通过鼓泡口向内槽体中通入氮气，增加内槽体内清洗液的流动性和湍动性，增强清洗液对硅片表面的清洗效果和干燥效果。
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公开(公告)号：CN108380583A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810162782.7
申请日：2018-02-26
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。
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公开(公告)号：CN108372963A
公开(公告)日：2018-08-07
申请号：CN201810159640.5
申请日：2018-02-26
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种硅片与片盒脱离机构，属于硅片清洗技术领域。该脱离机构包括底板、竖向固定支架、竖向移动支架、水平移动平台、硅片承载机构、驱动水平移动平台产生水平移动的第一驱动机构和驱动竖向移动支架产生竖向移动的第二驱动机构，所述竖向固定支架垂直设置在底板的上表面，所述竖向移动支架与固定支架滑动连接，所述水平移动平台与竖向移动支架滑动连接，所述水平移动平台上设有供硅片承载机构通过的通过空间，所述硅片承载机构设在底板的上方，且硅片承载机构与水平移动平台上的通过空间相对应。该机构自动化程度高，可以快速准确的将硅片和片盒进行分离，为后续硅片清洗做好准备，提高了硅片清洗的效率。
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公开(公告)号：CN105489538A
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201510974353.6
申请日：2015-12-21
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
发明人： 葛林新
IPC分类号： H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67326
摘要： 本发明公开了一种改良型芯片腐蚀提篮，包括前面板、后面板和一对侧面板围成的篮体，一对平行间隔设置在篮体底部的水平支撑柱，水平支撑柱的两端分别固定在一对侧面板的底部内表面，水平支撑柱上沿长度方向间隔设置有若干第一芯片卡槽；一设置在篮体中部的横压柱，一对侧面板的中部设置有一弧形孔，横压柱的两端分别滑动设置在弧形孔上，横压柱沿长度方向间隔设置有若干与第一芯片卡槽配合的第二芯片卡槽；设置在一对侧面板外侧的转动臂，转动臂的一端通过转轴旋转地设置在侧面板外侧上，转动臂的另一端与横压柱延伸出弧形孔的端部连接；设置在一对侧面板外侧的转动定位钩，当横压柱转动到上止点时，转动定位钩限制横压柱运动。
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公开(公告)号：CN110203683B
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN201910440298.0
申请日：2019-05-24
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
IPC分类号： B65G47/90
摘要： 本发明公开了一种方形件的夹持装置及搬运系统，用于在晶圆清洗生产线中夹持竖直状态的方形件，所述夹持装置包括：框架，所述框架中固定设置有水平状态的第一滑轨、第二滑轨；第一气缸，所述第一气缸的主体滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第一气缸的活塞位于所述第一气缸的主体的左侧；第二气缸，所述第二气缸的主体滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二气缸的活塞固定连接在所述框架上，所述第二气缸的活塞位于所述第二气缸的主体的右侧；左臂；以及右臂。本发明的利用两反向动力产生第一水平臂和第二水平臂的平行反向运动，再带动竖直夹具精密稳固夹持方形件。
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公开(公告)号：CN108380583B
公开(公告)日：2020-12-18
申请号：CN201810162782.7
申请日：2018-02-26
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。
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公开(公告)号：CN110206958A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910439599.1
申请日：2019-05-24
申请人： 上海提牛机电设备有限公司
摘要： 本发明公开了一种双层防漏的管与板的结合结构及晶圆清洗设备，所述结合结构包括：底板；内管，所述内管焊接在所述底板上，所述内管的上表面与所述底板的上表面焊接，所述底板的下表面与所述内管的外侧壁焊接，所述内管包括在上的排水段和在下的柔性段，所述柔性段与排水段的内侧壁光滑连接，所述柔性段的外径小于所述排水段的外径；以及外管，所述外管固定在所述底板下部且套设在所述内管外部，所述外管包括在上的接头段和在下的导水段，所述导水段的顶端与所述接头段的底端连接，所述接头段的内径大于所述排水段的外径。本发明的有益效果为能够有效防止泄漏，从而不会因为泄漏造成设备的暂停维修而造成损失。
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