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公开(公告)号：CN109634060A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201710931323.6
申请日：2017-10-09
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种线缆支撑机构，所述线缆支撑机构包括固定模块、随动模块及支撑转接模块；所述固定模块固定在底部框架上；所述随动模块固定在线缆的可活动部分上；所述支撑转接模块分别连接所述固定模块和所述随动模块以支撑所述随动模块及所述线缆。实现了在工作台运动时，多层线缆垂向全程无摩擦跟随支撑，不占用垂向空间，为线缆本身预留出更多的空间；同时去掉了原始设计中不必要的机构，精简结构，提升了线缆支撑机构的可维护性以及可靠性。
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公开(公告)号：CN109848691B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201711244930.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
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公开(公告)号：CN112543575A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201910900876.4
申请日：2019-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
IPC: H05K7/20
Abstract: 本发明提供的一种板卡插接模组及电控盒，板卡插接模组包括固定组件、气流通道以及冷却液通道，所述相对设置的两个固定组件用以沿第一方向固定一板卡，所述气流通道沿所述第一方向形成于所述两个固定组件之间；所述冷却液通道形成于至少一个所述固定组件之中；在电控盒中所有所述板卡插接模组中的气流通道和冷却液通道依次连通。如此配置，冷却液和气体共同散热可使得所述卡插接模组与所述电控盒的冷却效率提高，所述电控盒装置简单，气流通道和冷却液通道几乎不占用额外的空间，扩展板卡时只需要将板卡插接模组进行组合，组装方便并且成本低，气流通道和冷却液通道构建方便，空间利用率高。
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公开(公告)号：CN110568728B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201810570888.0
申请日：2018-06-05
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种连接元件与光刻系统的运动机构，所述连接元件连接于承载台与电机动子之间，所述连接元件包括：柔性元件本体和贯穿所述柔性元件本体的顶端与底端的至少一个线型槽。本发明可避免或降低电机动子产生的形变对承载台运动的影响，降低热量向例如承载台的其他结构传递，以及提高运动机构可靠性。
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公开(公告)号：CN110028008A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201810031987.1
申请日：2018-01-12
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种升降机构、升降台装置、光刻机及光刻方法，所述升降机构包括箱体、蜗杆、蜗轮和丝杆；在所述蜗杆转动时驱使所述蜗轮转动，并通过所述蜗轮转动带动所述丝杆在竖直方向升降运动。本发明所提供的升降机构能够在有限的空间内同时满足高精度和大负载的垂向升降调节要求。以及，本发明还进一步的采用了防转限位机构，防止丝杆转动以使得蜗轮和蜗杆的出力被丝杆完全接收，同时限制了丝杆的运动范围，使得整个传动机构具有更高的效率及可靠性。此外，本发明提供的一种升降机构，弥补了现有技术中高精度、大负载及小尺寸升降机构的空缺，并且应用于例如光刻机领域中，也可相应提升其光刻效果。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109860072A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711243383.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种变轨迹悬空物支撑机构，包括线夹、滑动伸缩杆和架体连接块；所述滑动伸缩杆的两端分别与所述线夹铰接和所述架体连接块铰接，形成可转动连接；所述线夹夹设于变轨迹悬空物的重心处，所述架体连接块固定安装在加工设备的机架上。本发明具有结构简单、支撑力大且节省水平向空间等优点。同时，提供包括该变轨迹悬空物支撑机构的粗微动台。
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公开(公告)号：CN109860072B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201711243383.5
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H01L21/67
Abstract: 本发明公开了一种变轨迹悬空物支撑机构，包括线夹、滑动伸缩杆和架体连接块；所述滑动伸缩杆的两端分别与所述线夹铰接和所述架体连接块铰接，形成可转动连接；所述线夹夹设于变轨迹悬空物的重心处，所述架体连接块固定安装在加工设备的机架上。本发明具有结构简单、支撑力大且节省水平向空间等优点。同时，提供包括该变轨迹悬空物支撑机构的粗微动台。
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公开(公告)号：CN112539773A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201910900879.8
申请日：2019-09-23
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
Abstract: 本发明提供一种吸盘及运动系统，所述吸盘包括两个以上的真空气路与片叉凹槽，每个所述真空气路包括一个气路接口，且所有的所述气路接口以所述吸盘的圆心为中心均匀分布，且集中设置在以所述吸盘的圆心为中心，半径为r的第一区域内；所述片叉凹槽沿所述吸盘的直径方向设置于所述顶面上，所有的所述真空气路均避开所述片叉凹槽设置。如此配置，使得气路接口集中设置在圆心周边，保证气路接口方便接通真空源的气管，简化气管连接处的结构，设置的片叉凹槽的结构简单、加工方便且加工成本低，避免使用结构复杂的滑环结构和成本很高的pin结构，同时保证了较好的吸附效果。
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公开(公告)号：CN110095224A
公开(公告)日：2019-08-06
申请号：CN201810097358.9
申请日：2018-01-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G01L9/08
Abstract: 本发明属于运动状态测量技术领域，具体公开了一种测力组件，包括：上连接块和连接于上连接块下端的两个测力单元；每个测力单元均包括弹性伸缩元件、下连接块及压力传感器，弹性伸缩元件的上端与上连接块的下端铰接，下端与下连接块的上端铰接，下连接块的下端与压力传感器的上端连接；两个弹性伸缩元件的轴线处于同一平面且呈预设角度。本发明还公开了一种六自由度测力机构，包含静平台、与静平台平行的动平台及连接于静平台和动平台间的三个所述测力组件。本发明公开的测力组件和六自由度测力机构，可以简化测力系统的复杂性和提高六自由度测力机构使用灵活性。
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公开(公告)号：CN109874242A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201711249449.1
申请日：2017-12-01
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Inventor： 管博然
IPC: H05K5/02
Abstract: 本发明公开了一种线缆保护装置及光刻设备，该线缆保护装置包括挡板结构，挡板结构位于线缆与一阻挡物之间，将线缆与阻挡物隔离开，挡板结构与所述气控箱转动连接，当气控箱被推拉时，挡板结构以阻挡物为基点相对滑动。相应的光刻设备包括该线缆保护装置。本发明能有效地避免线缆与障碍物之间严重摩擦，防止卡住气控箱，保护线缆。
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