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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113944615A
公开(公告)日：2022-01-18
申请号：CN202111249966.5
申请日：2021-10-26
Applicant: 上海应用技术大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明涉及一种一体化微压电液体泵送装置及其制造和驱动方法，泵送装置包括微压电驱动器(1)、弹性板(2)、一体化腔体(3)和止回阀(4)；所述的微压电驱动器(1)包括压电陶瓷(11)、基板(12)、电极(13)和驱动块(14)，一体化腔体(3)包括进出口流道(31)和储存室(32)；所述的弹性板(2)设置在储存室(32)上，驱动块(14)连接弹性板(2)，止回阀(4)设置在进出口流道(31)上；所述的电极(13)包括上电极(131)和下电极(132)，上电极(131)连接压电陶瓷(11)，下电极(132)连接基板(12)。与现有技术相比，本发明具有加工步骤少、结构简单、驱动力大、防漏效果好等优点。
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公开(公告)号：CN111707350A
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN202010479886.8
申请日：2020-05-30
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种测定MEMS压电执行器谐振频率的系统，包括一个或多个压电执行器、用于安装压电执行器的基座、用于驱动压电执行器的驱动电源装置、激光指针以及用于显示激光的荧光屏幕；所述压电执行器为悬臂梁结构，包括端部固定于所述基座上的铜片、键合于铜片的悬空部上的待测压电陶瓷片、以及键合于所述压电陶瓷片上并且位于悬臂梁结构的自由端处的反射镜；所述激光指针产生的激光依次经过压电执行器的反射镜反射后在所述荧光屏幕显示图形；所述驱动电源装置在所述压电陶瓷片上施加不同频率的电压。与现有技术相比，本发明可快速准确地评价MEMS压电执行器在实际使用中的性能，具有可操作性强、成本低廉、安装和测量过程简便快捷等优点。
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公开(公告)号：CN110971140A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201911194701.2
申请日：2019-11-28
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS的压电装置，包括PZT基板和支撑基板，PZT基板上设有布置于内圈的驱动部、布置于外圈的固定部、以及与所述驱动部和固定部连接的引线线路；所述固定部和驱动部均为PZT材料，所述支撑基板上覆盖于驱动部和固定部上，支撑基板上与所述固定部对应的位置处设有连接凸起，支撑基板上与所述驱动部对应的位置设有驱动凸起，所述连接凸起与固定部固定连接，所述驱动凸起与驱动部固定连接。与现有技术相比，本发明具有形状可变、生产成本低、容易大批量生产等优点。
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公开(公告)号：CN215072198U
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202023116443.7
申请日：2020-12-22
Applicant: 上海应用技术大学
Abstract: 本实用新型涉及一种设有镂空部的压电能量采集器，包括自下而上依次设置的硅基板、金属层和PZT压电层，硅基板和PZT压电层通过金属层共晶键合连接，硅基板的中部下侧设有凹槽，该凹槽区域设有贯穿硅基板、金属层和PZT压电层的镂空部，硅基板在凹槽的两侧分别形成有固定端和自由端，自由端的上侧连接有上部质量块、下侧连接有下部质量块。与现有技术相比，本实用新型具有便于加工、产品固有频率低、功率输出高等优点。
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