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公开(公告)号：CN116255910B
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202211612933.7
申请日：2022-12-15
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级衍射光，并调整角度使一级衍射光沿原路返回；位移发生器，用于使自溯源光栅产生位移；光电探测器，用于探测自混合激光光源中自混合干涉光场的自混合信号；信号处理器，用于对自混合信号进行滤波和信号归一化的预处理，并通过相位解包裹方法获得相位值，根据相位值和自溯源光栅的节距值反演得到位移值。与现有技术相比，本发明具有可直接溯源、无需外部校准、测量精确等优点。
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公开(公告)号：CN116255910A
公开(公告)日：2023-06-13
申请号：CN202211612933.7
申请日：2022-12-15
Applicant: 同济大学
Abstract: 本发明涉及一种基于自溯源光栅的自混合计量型位移测量装置和方法，所述的装置包括：激光光源，用于发出单纵模的激光；光学元件，用于调节发出激光的会聚程度；光衰减器，用于对激光进行光强的衰减；自溯源光栅，根据衰减后的激光产生一级衍射光，并调整角度使一级衍射光沿原路返回；位移发生器，用于使自溯源光栅产生位移；光电探测器，用于探测自混合激光光源中自混合干涉光场的自混合信号；信号处理器，用于对自混合信号进行滤波和信号归一化的预处理，并通过相位解包裹方法获得相位值，根据相位值和自溯源光栅的节距值反演得到位移值。与现有技术相比，本发明具有可直接溯源、无需外部校准、测量精确等优点。
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